16 C 21.358681197133890 21.059885403162095 20.941003407710582 C 22.664310824750572 22.314257295949034 22.488440649173398 Si 24.032777132345814 20.899719742214522 20.873661359524981 Si 25.460976737521101 22.282193072803469 22.487360727783674 Si 20.767160691478363 24.194102356536352 20.830964971965351 Si 22.382011970594089 25.433005925823434 22.220024819735865 Si 23.776964267043741 23.916615582216835 20.747418873881465 C 25.605573386247265 25.672623121865243 21.978276066737109 Si 21.157192268868073 20.777613557730305 24.182202042859078 Si 22.393628405779477 22.735738571974043 25.527241716115139 C 23.775381499092298 20.832645500447516 24.068678283706085 C 25.675442343244519 22.363129024515480 25.361612895951659 C 21.080195564528495 23.672632122153363 24.066147101941453 Si 22.625937752878546 25.613761691575771 25.460609163248872 C 24.432103668398632 23.982048753293366 23.954470665558365 C 25.181878829273234 25.399379314494158 25.471532903375874