500 Si 0.033386417571980 0.026405800437167 0.029122368385352 Si 2.100159708763776 2.152303358771428 0.016827708334465 Si 2.161648442298788 0.004140350085530 2.143385595114274 Si 0.011257212217470 2.144829346913959 2.170701446811797 Si 4.289031831301661 0.025261192375211 0.007602680579494 Si 6.441271290442121 2.127244020984647 0.021083546071369 Si 6.487737225201117 0.032284575589813 2.183857141268035 Si 4.331885072526782 2.216523487526215 2.134913925712555 Si 8.649460612244310 0.014285117152386 0.010565692615145 Si 10.721624896113294 2.138184208905324 0.034331865899754 Si 10.757088154275657 0.010464552549176 2.182977713434449 Si 8.568994680766302 2.143593764675845 2.140111563108761 Si 12.835302741726609 0.042837236831939 0.023526163843550 Si 14.998856616536237 2.160338314486365 0.013004091972336 Si 15.025803988436286 0.005157470807228 2.127606906295914 Si 12.890931113161866 2.175427675325932 2.186433944546458 Si 17.210374422692173 0.018520165639086 0.029686743041609 Si 19.359516428971098 2.181482129261743 0.035723070069544 Si 19.375867133087965 0.019098361439450 2.132485154582543 Si 17.163428928782572 2.171088169553164 2.159459995763767 Si 0.013616785517250 4.256368117014188 0.026250291704517 Si 2.158575304715618 6.478563679409686 0.022127997385943 Si 2.111916052595717 4.291063274600765 2.142712291061614 Si 0.028094843043951 6.467608409122580 2.132310018896624 Si 4.308756492869863 4.325681123961401 0.038688240286483 Si 6.409103228677334 6.470547418674091 0.028563257504515 Si 6.525894538565478 4.325165703961429 2.185461788538893 Si 4.314065706270631 6.462093688365536 2.147565099664276 Si 8.584621398750951 4.255578440397905 0.008574494656315 Si 10.711444398204838 6.473959614391735 0.030010962060393 Si 10.716100121325894 4.272961225853905 2.139937341832250 Si 8.622603783986412 6.489432488274982 2.125673602562021 Si 12.866095104586504 4.237167828632277 0.016317242801378 Si 15.000833145092244 6.437499773977676 0.030383617042897 Si 15.052008340838224 4.293684465747976 2.165876018959396 Si 12.896404688128746 6.475079290421769 2.105737924395934 Si 17.245213973467749 4.319342783818463 0.021893965245555 Si 19.361445044200263 6.413122978230187 0.006455166980411 Si 19.310195028198972 4.336191088341620 2.113119884118689 Si 17.184678910258295 6.469318051185218 2.175459430825286 Si 0.014884785184111 8.592823579714963 0.001492039058655 Si 2.140525511922544 10.700814780514268 0.038409407745754 Si 2.094419254303641 8.637442233022343 2.115339015855628 Si 0.018748069285919 10.724289260405399 2.108686413298549 Si 4.262333156588425 8.614272876960088 0.032906620871316 Si 6.503232616443597 10.780641396683368 0.022976679693649 Si 6.452484700295486 8.605637541329791 2.162411944727441 Si 4.300827779214674 10.740370586910865 2.110586665468464 Si 8.553843422630308 8.580092412059921 0.018326210233598 Si 10.745574160178965 10.755947156843934 0.032147144264218 Si 10.752901844104857 8.573354416426760 2.149405050712884 Si 8.539883281877437 10.770079192560699 2.167112548497386 Si 12.906851765715251 8.614746704946295 0.016405382277328 Si 15.071566787993946 10.774527059311202 0.042791743575203 Si 15.014737492690628 8.612043362736030 2.115032421604756 Si 12.900311771088617 10.783375555492965 2.128160221511632 Si 17.194734081434429 8.607357420925210 0.037059060119476 Si 19.351895680944374 10.708175663488985 0.016430900994631 Si 19.323269583074516 8.596240229878120 2.136063499007822 Si 17.222307982981480 10.734859837691420 2.146849275315844 Si 0.005849206330952 12.923976477133133 0.003252638538366 Si 2.126678842557370 14.998022363214165 0.022883454390285 Si 2.125217247187579 12.893401151221722 2.124255113890535 Si 0.014116245387760 14.980131733858833 2.111422221767560 Si 4.325396537885534 12.896413637122356 0.015499799345797 Si 6.410076921777301 15.083277171825415 0.040182769736694 Si 6.461764652205193 12.882360771810683 2.170279762801995 Si 4.308125239950790 15.062459754627669 2.186498500219181 Si 8.570964051112695 12.865902427272284 0.031427801013610 Si 10.741508913190794 15.035602294251667 0.018731917015304 Si 10.707117420722998 12.898877674349082 2.190889246835969 Si 8.563587617093278 15.083578648539023 2.176272635974424 Si 12.885869728444270 12.886143335988759 0.014303632708039 Si 15.012623887249781 15.075253639782812 0.024390136364904 Si 15.062863679436783 12.879650693768397 2.139629863970247 Si 12.860588490851462 15.021634117854063 2.187810967579612 Si 17.218191474302319 12.897319901763209 0.016737510525617 Si 19.345781653788215 15.066996737898965 0.008172352464426 Si 19.322097974217428 12.872238830305450 2.184213225497059 Si 17.200881434773098 15.053875747114528 2.115551136714318 Si 0.024496465239632 17.165862207139906 0.004750669160290 Si 2.141057744085170 19.316648989983978 0.010845614511773 Si 2.140667647254808 17.181459680245723 2.140950842370008 Si 0.034209017232023 19.355016461543894 2.143482460097700 Si 4.295614796845644 17.200967874937181 0.030574633346673 Si 6.437228023535813 19.340435581219850 0.012194116510638 Si 6.463821848501917 17.197148222297262 2.142236031324142 Si 4.264983521635584 19.329553005574141 2.141062860944703 Si 8.567380307723738 17.229420775299527 0.010787334809193 Si 10.713406468680931 19.312598755928558 0.040642277807328 Si 10.709392882747547 17.175979764261864 2.156021143282718 Si 8.564094171605010 19.361229749676003 2.117557410222582 Si 12.851438719189675 17.159575914852546 0.030213305924792 Si 15.061152268005214 19.310120362370093 0.006928145046972 Si 15.034108292648213 17.216979890075802 2.169535168014264 Si 12.894989685025916 19.352416811288716 2.107467896900669 Si 17.223804606366215 17.207912183256557 0.032719266802390 Si 19.368067264699469 19.360817718337284 0.009628082596924 Si 19.303315859442328 17.193068128813358 2.143490750647581 Si 17.198432924850724 19.368174427332900 2.161310411295509 Si 0.033053017304385 0.018128875254945 4.308720009576470 Si 2.149205497592805 2.112557490893813 4.310589939808864 Si 2.112026461964687 0.027134863339781 6.469632965429214 Si 0.009802145027732 2.108501949202132 6.377449862367586 Si 4.339463841819962 0.009563550360901 4.266640402153437 Si 6.444429723329429 2.105875096791141 4.274384118300836 Si 6.444487707339078 0.034065702910587 6.456886095585422 Si 4.323002532359672 2.161382994375697 6.447310423379721 Si 8.621599631676059 0.036714615585781 4.331493386964509 Si 10.759194488569504 2.183357622346830 4.261253761107420 Si 10.784484736756941 0.028081532966670 6.439986945348607 Si 8.633443322131955 2.185800521527448 6.442141681759828 Si 12.858642215507894 0.028317231870651 4.287273467189174 Si 15.064220299306713 2.139570538050084 4.262024758141925 Si 15.067507044175629 0.018009602515971 6.406753585486154 Si 12.881941094662468 2.115583117393325 6.473554687048311 Si 17.216554105882928 0.007692796674987 4.301756158078113 Si 19.366041758308256 2.124476477482421 4.283892694677460 Si 19.349623602780881 0.028585231112244 6.482959525281914 Si 17.223927621549091 2.172168694573432 6.452068574876106 Si 0.030991594038026 4.262495040520118 4.345106057711358 Si 2.159492123961466 6.428259606949986 4.310064968432082 Si 2.189247938634040 4.337758398794736 6.451190068288885 Si 0.012259119468489 6.433370021271268 6.428858412087482 Si 4.255102314934215 4.268515337504346 4.323907129006465 Si 6.452236328236071 6.475075093296097 4.270439937428034 Si 6.422384096329575 4.316532458461890 6.470739619979476 Si 4.292952442917507 6.442023863339629 6.460025311124814 Si 8.618167471018880 4.327693915304141 4.333031511356798 Si 10.707685146490293 6.459804938118308 4.261038918005287 Si 10.765869515800102 4.320998895255403 6.510752795183176 Si 8.576663881202286 6.431445290782205 6.457285811229027 Si 12.867379267476093 4.309206657831374 4.354800916073390 Si 15.056270491685895 6.409961588658242 4.261399894559435 Si 15.044785668399175 4.256446956886801 6.446602954218026 Si 12.885345309710489 6.422329939099663 6.456891923709902 Si 17.223865234922513 4.326570278946574 4.299023067234566 Si 19.311906081936613 6.434511704209016 4.324459699808476 Si 19.299717117957819 4.279679644205474 6.403334821165521 Si 17.150889935153561 6.460191220557690 6.451530321289725 Si 0.001538714799961 8.615681723636383 4.279072879757869 Si 2.184682606889596 10.719538922774436 4.329377073966253 Si 2.165618534838046 8.578951489593180 6.414003959935981 Si 0.017978307657534 10.725569846690593 6.471762460432246 Si 4.277489339570330 8.557911188675194 4.300811024421684 Si 6.474160255608750 10.694676462116677 4.284843057041387 Si 6.407259468293804 8.564171435507458 6.404080532016309 Si 4.270329097944003 10.753959105465045 6.410871691636330 Si 8.613887116010188 8.571031453933632 4.265607509109759 Si 10.717513973380433 10.720935429058013 4.277695042649009 Si 10.755538063840124 8.594738361396795 6.430721782768651 Si 8.631629385522089 10.746325989218821 6.398052408959522 Si 12.910012470625224 8.555733040882894 4.334568602948979 Si 14.988581482849160 10.748792653367822 4.333571677836987 Si 15.076700094494463 8.616624978658935 6.461051250577976 Si 12.864895915467836 10.735050500785881 6.477479888997358 Si 17.180273070946338 8.603333497781206 4.307500236133731 Si 19.337315418588016 10.766443365484109 4.287467583104201 Si 19.331065786659831 8.569693945130657 6.403430840713875 Si 17.178556665655584 10.726746399870525 6.431966159384434 Si 0.031697912246142 12.924189181899045 4.314768568405307 Si 2.187743059019358 15.052691766249053 4.262570325043355 Si 2.190784866861350 12.857066457527843 6.457834144037877 Si 0.016687542406559 15.056598240635612 6.486252522012176 Si 4.264782381400116 12.900055855730058 4.319544511926931 Si 6.456354317017827 15.026836052127015 4.298478150694866 Si 6.425351181971603 12.897585416165864 6.404522929817469 Si 4.323772851112098 14.986806040238520 6.454893592337497 Si 8.609805042673154 12.872318295161330 4.288407587846891 Si 10.765209106341384 15.005460908478931 4.302106392946986 Si 10.755522698724389 12.853915173048733 6.459683483825498 Si 8.560976051953904 15.015757432084794 6.381928468547398 Si 12.867099096212034 12.852550390719314 4.271321413700908 Si 15.068280985541143 15.077729839324347 4.258945366827356 Si 15.063732129402439 12.860339434336790 6.391150131816052 Si 12.866097578412171 14.985980686983556 6.457281541758599 Si 17.162732372037365 12.881244814875270 4.261172472197392 Si 19.303297086865346 15.055231743332540 4.343814625557273 Si 19.378232743146750 12.889285408289510 6.438221897349484 Si 17.167553410596568 15.053550792953086 6.448420002869488 Si 0.007591298925547 17.162244273557281 4.301377715131939 Si 2.133465180265090 19.272398234304063 4.329530638337292 Si 2.190691583259880 17.195231918610840 6.415910486473281 Si 0.018792191367304 19.378052938574079 6.413134593747013 Si 4.335969019966564 17.158821116898359 4.227747940642514 Si 6.456231789670554 19.304849794293453 4.335494169370770 Si 6.438689654143448 17.169765801690541 6.424912689152785 Si 4.361301511637501 19.373232329553339 6.415710258727359 Si 8.580973991571570 17.222191753118910 4.267152508573991 Si 10.735512041689384 19.324315419532251 4.322275659227663 Si 10.752106792712707 17.193921643580513 6.403510123258121 Si 8.583654828266885 19.357712445673766 6.460298493020696 Si 12.904118509734761 17.219118463665833 4.264680975327154 Si 15.018413892542112 19.304297022952579 4.367810117862256 Si 15.053919630217093 17.208776234461517 6.457879830302172 Si 12.831746983018464 19.375394978621244 6.457662667770127 Si 17.202987702087075 17.196270855773491 4.336460607194962 Si 19.358814784960931 19.311970223787203 4.315229349350635 Si 19.308884293122446 17.158559653890315 6.476203473057265 Si 17.231883273933576 19.331728267018505 6.412335138274746 Si 0.029140419322234 0.011899458929125 8.635960408350334 Si 2.112624893520953 2.215924504838128 8.610847975011398 Si 2.142555251485656 0.040035075342598 10.681082153661384 Si 0.002078290889690 2.127776917176623 10.716901981458582 Si 4.269365376125233 0.040937404039046 8.619928097342305 Si 6.459492936794728 2.152580053740572 8.610029285110398 Si 6.431979087875169 0.008106855160420 10.741352899513863 Si 4.262508486168883 2.129024714245150 10.746072930804836 Si 8.635953127894373 0.032811696207676 8.604105964450454 Si 10.786002400722216 2.126877616429383 8.591732102786073 Si 10.795049206326274 0.003918609838599 10.696722592257284 Si 8.593575807756276 2.160575038616923 10.757733861608088 Si 12.885389412011156 0.005349453245788 8.552517834498195 Si 15.040298640270493 2.134665082783072 8.571246103817028 Si 15.030248710144061 0.038561124224869 10.726191583071721 Si 12.870014917460525 2.186186676767645 10.770066053479786 Si 17.205442556096436 0.036686018010582 8.556644338374101 Si 19.328807426269169 2.166038436370066 8.555631638724297 Si 19.362879407453431 0.018206204962987 10.736987748530787 Si 17.197521256231418 2.093825208599334 10.769955713558902 Si 0.027592526865819 4.267445840870984 8.633118326840393 Si 2.191031581571981 6.479675877865313 8.613591098431847 Si 2.185211448202893 4.276906130017697 10.779356090125164 Si 0.011342750189658 6.432568371726977 10.725995199773809 Si 4.315711283362387 4.255094450553240 8.571412176018720 Si 6.444429450473214 6.474125811570221 8.591579951891340 Si 6.461077668574924 4.260190829803451 10.820181324432316 Si 4.255318765107416 6.467853870215677 10.729363048344439 Si 8.570508804486746 4.308070316328465 8.622636511645325 Si 10.769981565921578 6.416292084235105 8.590343506136755 Si 10.774331593435162 4.322629058021175 10.719852482781633 Si 8.583587753142780 6.417036970768007 10.725916770001364 Si 12.890861273164438 4.324173293818414 8.556875627000307 Si 15.021886774705774 6.465898320019403 8.636348325107452 Si 15.073235508303959 4.329327935299416 10.732851337162856 Si 12.892992136092827 6.454485936270776 10.746416254523970 Si 17.221832605662261 4.269190188153842 8.573679593376964 Si 19.296013502436132 6.477106012470182 8.562697210393488 Si 19.315660983942614 4.356346440180417 10.727700137945705 Si 17.216741774955000 6.474757753359390 10.720105210719927 Si 0.002951832844734 8.619748002451063 8.606452627202849 Si 2.168641985781325 10.779288060064639 8.565077346042120 Si 2.144665981147991 8.557521405142730 10.785166764862787 Si 0.041835751451779 10.779285815220927 10.665117067909586 Si 4.306840780139721 8.561074883719110 8.584127201269341 Si 6.442108046268001 10.762652241716827 8.584532259176653 Si 6.470005049067884 8.580784088618206 10.728002226958617 Si 4.297861310618753 10.782439357807684 10.728012471972457 Si 8.626328827213971 8.630409307337283 8.607237321770219 Si 10.708573172781087 10.761769716947756 8.627795114683300 Si 10.741639368145419 8.598924119264206 10.745778431093022 Si 8.576369661993409 10.785990731612211 10.703372419739901 Si 12.855907669093853 8.623279171670898 8.561799537546472 Si 15.048812262710509 10.726137047780794 8.594671892159827 Si 15.028433566978530 8.636394205696641 10.770777378211017 Si 12.850372683845725 10.768998914383520 10.778125097674625 Si 17.226433074514791 8.585821130633763 8.606139349296512 Si 19.378266678935162 10.733328787484441 8.553938521946854 Si 19.322219909580696 8.600476091806463 10.742090189074759 Si 17.196217382658300 10.722907679549788 10.783827466538364 Si 0.000583729480571 12.851331063712404 8.630377041150787 Si 2.131467966502845 15.081689742513728 8.554120626681032 Si 2.180115258327708 12.927159392118758 10.714202909640317 Si 0.007708644143173 15.047689264173743 10.741882845599577 Si 4.289970794709697 12.921146565035743 8.558861570299356 Si 6.409866354466703 15.075014704556143 8.587416179207606 Si 6.426087418661643 12.912956506734901 10.792540287742595 Si 4.334424774302867 15.010173915626098 10.720596405583278 Si 8.561396685951030 12.876011142421213 8.562510015614912 Si 10.739398183954364 15.072417888232385 8.559206947177207 Si 10.748548369396138 12.889763844560466 10.722453485029972 Si 8.568599002306897 15.066633349103229 10.755344267206789 Si 12.894062766913452 12.855481479443737 8.590673073965167 Si 15.028123126686737 15.074079634841564 8.628751277624714 Si 15.026114847098121 12.904761875425121 10.745480751639061 Si 12.851235971280154 15.000660500167482 10.758889674913144 Si 17.153505610556039 12.928595210781618 8.597444009052143 Si 19.354867456614102 15.065804943419220 8.599035373024288 Si 19.377987276089549 12.883391431138625 10.780422879847659 Si 17.150617497558102 15.077072685698992 10.754858343575453 Si 0.020756426341132 17.153789641114471 8.625017339738728 Si 2.188574499350718 19.342057476477162 8.558090506055493 Si 2.111073887536315 17.255361314644638 10.720734270428022 Si 0.005699272381896 19.295518611390591 10.778429031052205 Si 4.227883890124471 17.210082755354939 8.552933476308128 Si 6.408606663829836 19.312726775263332 8.605814973827167 Si 6.449389503765833 17.215041196017832 10.779147069604621 Si 4.250361795409625 19.341567594055288 10.767639185733017 Si 8.558921652481677 17.208408336875742 8.569968009364452 Si 10.731003696925931 19.342437327904804 8.606342097043425 Si 10.783487946824932 17.202781540878799 10.670733814896556 Si 8.595741123251367 19.308620325919648 10.676557701500819 Si 12.882087830122460 17.191631990853658 8.585783242755404 Si 15.027400461882996 19.319663136580740 8.602555244939087 Si 15.019196232002672 17.265799681845355 10.786766941111592 Si 12.934206937179731 19.313912050750826 10.695124721965160 Si 17.164784583502520 17.184428612541812 8.595672180504099 Si 19.369467391705161 19.369202965170590 8.616837812873511 Si 19.375377339573497 17.159028748784873 10.773055479821988 Si 17.208610963306636 19.305585469538247 10.773905542963432 Si 0.016901140545845 0.042710378376161 12.861490968317057 Si 2.132299179958386 2.187184293764795 12.874395476681977 Si 2.185199427673747 0.017749137478433 14.986571478570132 Si 0.001565401578101 2.158469346591199 15.027937010728168 Si 4.276270494393741 0.029148006211943 12.893325804253353 Si 6.461733719417538 2.109628824412403 12.904439320518151 Si 6.460458152504275 0.023637104277721 15.020346245634389 Si 4.274082531934043 2.141787917846951 15.034440835126411 Si 8.564949733774698 0.019087955654852 12.884682659278800 Si 10.749352701441129 2.137972198979964 12.853036333655696 Si 10.708976314395109 0.035709021982371 15.057726868442955 Si 8.581167247191901 2.103393664024054 15.036136034844082 Si 12.825704609484813 0.030403061138908 12.917825811975632 Si 15.008440682867256 2.175386445937778 12.922357203253064 Si 15.034796397121907 0.024583199302224 15.051841790967742 Si 12.934968229333897 2.151740567150769 15.070253627804744 Si 17.200690936382710 0.033057244510001 12.849398323110925 Si 19.312870261321368 2.171437866291656 12.905696160895051 Si 19.339615609672681 0.014914106018702 15.111968516145433 Si 17.164038731364059 2.153347353965203 15.054518243490929 Si 0.000483039380846 4.292926257712776 12.879322621835355 Si 2.157268526264636 6.474974907696908 12.904811896086400 Si 2.145341437386853 4.270164945902446 15.055495329529855 Si 0.035996462250293 6.478645568793555 15.051168862033323 Si 4.313230150707712 4.288041203723654 12.909631187802423 Si 6.414895354528401 6.465954386364329 12.897304305283297 Si 6.511732144036444 4.278577827590628 15.017099835175484 Si 4.323424712798431 6.410441520280880 15.047673113255179 Si 8.570889264939447 4.292171652464121 12.890579582694954 Si 10.763220618978686 6.407941738191639 12.877612695378145 Si 10.778749314299265 4.267548883206829 15.041264640523716 Si 8.664820766351927 6.448282403690384 15.022304739411116 Si 12.918942669816445 4.332424032564075 12.853689345195914 Si 15.081405404019741 6.420514627618929 12.903133120861083 Si 15.019730809858267 4.331117580059522 15.040554967340627 Si 12.929522666482292 6.421420717390144 15.018167372494679 Si 17.209329566770812 4.255858223763618 12.833028994927501 Si 19.370925017377168 6.447651394315320 12.895917405309003 Si 19.318766666462942 4.322054102865666 15.008570530999132 Si 17.222490219324857 6.425302365046146 15.074773479398413 Si 0.028741161934060 8.577659298513444 12.882773322563004 Si 2.097606082790619 10.743082879512629 12.893626646584300 Si 2.119007057007295 8.572913830333466 15.000502743353044 Si 0.013367550255422 10.754718328311172 15.008081882797415 Si 4.335174743002105 8.627512755363673 12.919459829734526 Si 6.454229074322170 10.705532094631078 12.923333211779452 Si 6.409205677537648 8.605219540197474 15.012077411110235 Si 4.321377622024333 10.705868789101046 15.030278199339429 Si 8.577859427745434 8.604751446090097 12.923316487904016 Si 10.695365617370268 10.753470839028896 12.926339116568508 Si 10.775610873812965 8.613430738117071 15.040927509550984 Si 8.603331292948017 10.784991013037791 15.008012005001465 Si 12.859978331183662 8.561485566778764 12.890296672388367 Si 15.076494202450341 10.738187090568829 12.852246799536731 Si 15.022430824326371 8.558496659671004 15.027369576622410 Si 12.918218712343561 10.735442689723172 15.047230657448534 Si 17.177634208953734 8.628009914818527 12.899281000977298 Si 19.338189106236211 10.716170582055261 12.925115097948074 Si 19.321580208432533 8.594659151026105 15.052679833634533 Si 17.231626466467205 10.715843296774390 15.032357250984957 Si 0.032513875612335 12.914419677118358 12.885549384824733 Si 2.200196711799296 15.003372788949850 12.858120880054090 Si 2.139364204398634 12.906892678651717 14.998848300265552 Si 0.030536626928691 15.019466289224608 15.017100887430702 Si 4.296414053805433 12.852090715993560 12.872194377081399 Si 6.484092979211124 15.045417647804614 12.878592420213547 Si 6.399382908429105 12.889020423489711 15.083022429780288 Si 4.337571770212858 15.010575562645755 15.042933207215958 Si 8.570046707825430 12.910755493957346 12.880015151141814 Si 10.781161785436725 14.998934242623893 12.877805347830993 Si 10.723626402834626 12.854051471207805 15.097340583559250 Si 8.570145680484458 15.029516573410891 15.043883958711191 Si 12.864324226414139 12.911830362506123 12.898349507049362 Si 15.080939779965179 15.024437864250723 12.859429334837685 Si 15.061904443682055 12.921423549715726 15.060612317359617 Si 12.927752885309362 15.074560662000332 15.083494070316643 Si 17.170123984610331 12.849468095161324 12.866130053475374 Si 19.319540317799856 15.037664255033503 12.930143619047342 Si 19.341671627391179 12.856345189194100 15.082663355480809 Si 17.165649638206926 15.017796841395493 15.012054726641498 Si 0.051991255275770 17.211908849056577 12.887018538917301 Si 2.176323286024955 19.365128418187378 12.921516151769723 Si 2.182043456380930 17.143984314361347 15.081401427801710 Si 0.031057661773991 19.376702054639729 15.038570324564155 Si 4.306418200379012 17.212773470911927 12.826340044473749 Si 6.416508959739189 19.333300092300899 12.864211947374651 Si 6.434957392070282 17.223069652251532 15.049129595399194 Si 4.317875068912368 19.313409462532274 15.061823845619093 Si 8.628873486816403 17.226626235839916 12.907878265975064 Si 10.735595022999945 19.377923954752390 12.886833317548549 Si 10.755862139309036 17.150239227499064 15.068723490764391 Si 8.588183198250070 19.338678377378081 15.035755922418454 Si 12.857547705610708 17.209537840959531 12.865675265076613 Si 15.021592408263643 19.343478231111906 12.865014422172605 Si 15.019866584431965 17.172776404126044 15.050466785061593 Si 12.898228660874658 19.368267648669192 15.001208309375102 Si 17.170250577405476 17.162576771150171 12.869202680209241 Si 19.366694136944560 19.296689307594047 12.964113955655318 Si 19.369526058699822 17.147094064871126 15.031833854973268 Si 17.229937935460161 19.359586493948449 15.045019464121497 Si 0.001506734097887 0.013121770803307 17.179851267548941 Si 2.146764829823757 2.110193556735080 17.158290485192502 Si 2.116310299752118 0.011553561623125 19.370330416538348 Si 0.029557583426548 2.153417242427039 19.380487290137932 Si 4.272331758793585 0.019604990909045 17.172536338116359 Si 6.448417977732524 2.160874862793725 17.187676310816279 Si 6.417132745393524 0.027282848519493 19.312006479152082 Si 4.269995067766345 2.125490081841073 19.338296135108166 Si 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6.477110075836189 6.443456193632136 17.154008259771278 Si 6.413714064818512 4.306774918133793 19.363584671409615 Si 4.281447266599867 6.478653635523914 19.298518956610227 Si 8.633961255912347 4.255274261863661 17.165335744348727 Si 10.764153958897914 6.405468326203327 17.205935438266241 Si 10.706420566134142 4.247438515013180 19.315678091836233 Si 8.614384468522552 6.491449947139819 19.339985504747343 Si 12.864177225073789 4.331394213313644 17.148931966767343 Si 15.058055696212994 6.480582655816971 17.189916014869667 Si 15.027854799801382 4.309372451734647 19.374657410332684 Si 12.876639646255295 6.498139858428148 19.352081737840589 Si 17.166804362319770 4.294526358614799 17.176321027828280 Si 19.343465744328814 6.457768769923079 17.176499803829522 Si 19.362794983505001 4.284234029880914 19.352402516950828 Si 17.217109027487510 6.459700154192305 19.317127732933990 Si 0.015505661138219 8.614283563819033 17.171502579930927 Si 2.117988787133623 10.767480074564849 17.227123726639523 Si 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17.176064571812915 17.224053909391408 Si 15.045200380715594 19.381178171726159 17.157107527551673 Si 15.065294384506574 17.184499404329777 19.370476730624471 Si 12.863657186457003 19.303806326521421 19.337354572927300 Si 17.167497555889682 17.191488849685985 17.222031763112390 Si 19.345787932921500 19.322775554651930 17.165339804073149 Si 19.348507583122860 17.159411143209038 19.373297785661780 Si 17.184392572209187 19.300598183562407 19.314467944988632