32 C 0.026626739119740 0.005109290272780 0.007656847465873 Si 1.592198113800651 1.600805451812143 0.008185574727269 Si 1.668083115275287 0.003607152303029 1.642322102835478 Si 0.007499969721534 1.619861670260291 1.633204092144170 C 3.182231843058944 0.020816675428827 0.024910145562141 Si 4.840860001122635 1.595688136703521 0.014494991769297 C 4.831738209070076 0.020860853031523 1.588025496097834 C 3.221332409285131 1.629978714055071 1.610887116006549 C 0.035796239972674 3.198880828417377 0.020282006566502 C 1.633676998431592 4.865420856962749 0.008300847325680 Si 1.641425815741557 3.254035652600207 1.638842207852094 C 0.024462717727841 4.858908960027191 1.616224171875183 Si 3.184764952248342 3.234564465039616 0.025826617295823 Si 4.834093973287350 4.846234568821277 0.003414695873822 C 4.864832545752796 3.224766034121073 1.617814285058240 Si 3.248413532385715 4.837994188950635 1.604646718495100 C 0.009982128339796 0.035770029243367 3.236246081630266 Si 1.605002551494723 1.616837893429729 3.234175440833650 Si 1.646461392372156 0.030408365379759 4.869874105851613 C 0.030591277839528 1.608149618094206 4.813316958543225 Si 3.224391543139928 0.008313143741025 3.255057013553905 Si 4.811228376054240 1.615187937216050 3.249666613370524 C 4.860047589582206 0.003564092352266 4.839848172605731 C 3.196736808665715 1.633238995133095 4.833641556239975 C 0.042445157576013 3.254661295517410 3.249084046977023 C 1.594675088874436 4.834698712261258 3.258391736716177 Si 1.639906170757792 3.253172718937828 4.812180169776790 Si 0.027146521667185 4.864646809430544 4.871996631687880 C 3.266802910169933 3.235604556430597 3.233572641139793 Si 4.851263967882900 4.839118496519701 3.208284568027767 Si 4.872378373810490 3.266645611664809 4.832433574804455 C 3.231734953413264 4.813676914642053 4.860721881824231