500 Si 0.015250528447484 0.000236247175983 0.031777694595809 Si 1.997160662817800 1.990360694488213 0.011966945535988 Si 2.005904856278669 0.026748019203000 2.011550841207487 Si 0.038252735062249 1.973666560342035 2.009031669215669 Si 4.054055461284111 0.016398870780734 0.035388591473324 Si 6.012935411504993 1.988620484089220 0.024279823894578 Si 5.989025182012813 0.023647735738247 2.008566264885873 Si 4.032398324165510 2.017974972525114 1.984989452863442 Si 8.042339387363016 0.031374341782194 0.018245034925727 Si 10.020531306656178 1.970000706451851 0.059474067221169 Si 10.070255819786400 0.023198654419819 2.024198484775841 Si 8.017693971349257 2.005821447334113 1.989264938379693 Si 11.987526352670248 0.019845607966059 0.010164013621000 Si 14.076463046278736 1.972351981298341 0.027937975704698 Si 13.992903938728741 0.005266638552369 1.997079731761751 Si 11.999755255547788 2.044565498691211 2.032344254259327 Si 16.011677060038835 0.018907132997978 0.019416994182385 Si 18.036839502352869 1.985825299168801 0.008622918038751 Si 18.088529840590084 0.030177494196968 2.029932731250729 Si 16.028888449794362 2.033999686975156 2.010662991128759 Si 0.002484536159581 3.945881032270010 0.030130032302884 Si 2.035851739957296 6.042886543647734 0.005884780252704 Si 1.967911013241679 4.031683245658141 2.004413593436689 Si 0.000805494516950 6.075527365278290 1.986153605966657 Si 4.047387312958897 4.044472672503786 0.046652241744206 Si 6.016285822466867 5.996548826234806 0.028694086754904 Si 6.054860222102074 4.000976592087188 2.007786254632906 Si 3.984960390034234 6.022018494857875 1.978650154491466 Si 8.010740495444816 4.040508014101670 0.001117559686999 Si 10.064286175923044 6.024095897958189 0.018611671929963 Si 10.069715202169840 3.999427028613998 2.035260914638729 Si 8.006016298574865 6.040785953924440 2.014991668389299 Si 12.007384941096502 4.042243508245618 0.031366112180728 Si 14.086658516734003 6.038325887755596 0.007337704174926 Si 14.034277039756068 4.010668207038095 2.014363243184819 Si 12.017331312267089 5.988017416797995 1.989444366397156 Si 16.058108571633912 4.051801770271931 0.058404202075451 Si 18.070246287867452 6.000041854880434 0.028424707565437 Si 18.070798723973031 4.006343452831653 1.999703667021893 Si 16.049515657273588 6.057911026106106 2.010804446845369 Si 0.005898129504803 8.029984397931942 0.017565722462046 Si 2.003643676089668 10.055707931108561 0.025639047519980 Si 2.014272512918003 8.037826732417045 1.984352175354011 Si 0.014003654210552 9.992195598380027 1.974711692309211 Si 4.059901473720211 7.986071378741084 0.038601258221747 Si 6.036036074156801 9.957892995718712 0.032861762022092 Si 6.048856173403645 8.015667483824377 2.038988983628807 Si 4.026778847064229 10.025320872999341 1.970214727196929 Si 8.032878920716312 8.059773438562686 0.015135188418101 Si 10.049324498685166 10.036975024698792 0.033974036792962 Si 10.012827831359960 7.998536508376783 1.969567478105412 Si 7.986714006625983 10.033280370759684 1.993628236645064 Si 12.011224037047572 8.015056077777668 0.001693613810939 Si 14.076487407263679 10.033627283785298 0.028689387645000 Si 14.049977055860790 8.047770620637198 2.024849249992799 Si 12.051097371880999 10.055792842939182 2.004292631306131 Si 16.072649052413610 8.023532203184660 0.005345190535406 Si 18.042598779042233 10.041071068491082 0.034058655128984 Si 18.029228366392967 7.995945988895202 2.001570425335553 Si 16.026507441452225 9.991633242287936 1.999935885589020 Si 0.019992358293934 11.988138137206482 0.035947238745128 Si 1.996256772966876 14.056869377591630 0.037036584212206 Si 2.026482297730048 12.070889759091131 1.967909389982956 Si 0.012084644911882 14.003592502035342 1.972128691538085 Si 3.969618582612552 12.060487306226428 0.026680069470043 Si 6.042286266685627 14.015875626402522 0.016184345250883 Si 6.060689501381858 12.054316792951992 2.013597299583063 Si 4.040003629055524 14.076319608554439 2.043394842758734 Si 7.967439989182699 12.012117124987327 0.035948579735191 Si 9.964821735208851 14.049895539500048 0.033418822269809 Si 10.056927209520307 11.994584501761661 1.986150112073694 Si 7.995587537766833 14.014980622350299 2.036871114158620 Si 12.014046690991805 12.004190320729082 0.037485088153221 Si 14.047390488206098 14.003001859507807 0.006980155617205 Si 14.071780543387169 12.047321019150548 2.003689898196977 Si 11.968291299542827 14.071611779697294 2.040084950093364 Si 16.028901005038474 12.103731828532602 0.049516874629915 Si 18.084445974102600 14.015325771466193 0.018304358662557 Si 18.085483590727467 12.055391175035011 2.007050663440475 Si 16.047823972402057 14.069680697713595 2.002329753350818 Si 0.021582928965354 16.050694144301374 0.000791643586821 Si 2.007275768168381 18.081537588773440 0.025305412742953 Si 1.983541819946682 16.047264069162384 2.046046608927305 Si 0.030728113745957 18.027287127328712 1.997818970901701 Si 4.009369172593220 16.067590966796395 0.057924537552347 Si 6.065728401159907 18.045794211239937 0.027728476649357 Si 6.039462400640621 16.056209793548753 2.005696942055787 Si 3.991066972414806 18.048454570613078 1.969235009327122 Si 8.010755669596133 16.044912378408839 0.016256090652621 Si 10.027722155496789 18.018594373943458 0.006001258383701 Si 9.994266614721814 16.062580926569726 2.002900364669822 Si 8.024952127829996 18.054410390973974 2.012502895479736 Si 12.026103404290048 16.014325067458831 0.031889283807851 Si 14.056222362574553 18.035073030329407 0.037319572334910 Si 13.987889849025940 16.042668908338104 2.010843428179956 Si 11.964967145730958 18.022653814503748 1.986363537096459 Si 16.046778858392408 16.045723531584532 0.050607622221322 Si 18.016398726783201 18.043563823211617 0.009299564072400 Si 18.030453130757408 16.050864574268338 1.970914131770524 Si 16.017398083413628 18.062826795355274 1.944025344526758 Si 0.003404524702905 0.039760555498800 4.036177820103443 Si 1.952236203109397 1.990562302957554 3.989936358233203 Si 1.981893622954452 0.029660161491336 6.067572942313201 Si 0.039721264717650 1.993921276418722 6.008665346193216 Si 3.978394082486980 0.050029356929840 3.989234297982979 Si 6.041419607631595 1.995609792656658 3.973830214514976 Si 6.035678436042724 0.039901823849357 6.071495670394228 Si 3.977521235956265 1.981478427305023 6.022204387052528 Si 8.007945424417837 0.058236891768053 4.021184207387363 Si 10.057703274188048 2.033544163783665 4.014008951791205 Si 10.056547710255611 0.019130113997266 5.994084426409393 Si 7.996516972251782 2.003937867230446 6.027385150458301 Si 12.042775900843997 0.038394647322444 4.002870022221514 Si 14.010707096582117 1.975743555151038 4.046357012720354 Si 14.016078744843169 0.001864026115469 6.010220607744396 Si 12.070019544997692 2.021077446379950 5.997258933056473 Si 16.069050040787936 0.011486290416117 4.024412853568750 Si 18.028510793956627 1.976305121283318 3.972672078608011 Si 18.084925466437898 0.034710682137040 5.975025120809665 Si 16.046341975879070 2.018632771138018 6.009363296186377 Si 0.054229706006683 3.978406572168603 4.027088986809948 Si 2.038466164837566 6.064995294442298 3.974481018934038 Si 1.969480667050639 4.009034083932277 5.955994116179172 Si 0.074269427636897 6.067621769227832 6.056161198833825 Si 4.045668657292860 4.028032053920851 4.038920829594664 Si 5.967005235557828 6.042753168338725 4.021559338771350 Si 6.028433956640165 3.972631591231690 5.996834202000702 Si 4.034967823906486 6.056678713271753 6.053659350533414 Si 7.998226898253475 4.033728453615358 4.012893278215619 Si 9.992696209390383 6.014535816120585 4.044739563826630 Si 10.054147047543225 4.033306788044298 6.043642869948850 Si 8.033605592305646 6.019387139973986 6.014665599818676 Si 12.037670426743245 4.023342482741485 3.996245381555758 Si 14.009230590778058 6.012638237206872 3.998805400367864 Si 14.087001165651703 4.037204746080659 6.031529715638825 Si 12.005620949332219 6.014983290485016 6.030029755580702 Si 16.079161197603995 3.988994046959669 4.014559970720958 Si 18.038555659079190 5.963391107218975 3.974263138656214 Si 18.057820676984321 4.025711585248033 6.046579790839891 Si 16.049369752476828 6.041542743869169 6.061119238305340 Si 0.039521208543359 8.056926718550779 4.016341355649555 Si 1.995394378187445 10.012777874250769 4.034471690516577 Si 1.996635890587917 7.990498260850846 6.048660315919724 Si 0.013164116902993 10.008692598512987 6.001788308708782 Si 4.010644090381841 8.025232589697653 4.022871274858633 Si 6.039384654528563 10.020078158622917 3.977161092326175 Si 5.981746201442655 8.030210972102617 6.014683489126665 Si 3.978954432998311 10.032515274992912 6.022204662461618 Si 8.012181009361511 7.995096409122463 4.017605922885091 Si 10.054377468144109 10.035135579303141 4.036406359681076 Si 10.071391541082527 8.046408322985112 5.968607873498248 Si 8.021868608560535 10.021682296173141 5.998375071154964 Si 12.037104318069538 8.046634441040990 4.012321942155346 Si 14.068466920747783 10.010654725371300 3.976072779812643 Si 14.050713291468954 8.010980657553224 5.992680495016563 Si 12.070656759924230 10.007662826031744 5.996746237339647 Si 16.025003215317266 7.993781590906321 4.044815247937079 Si 18.034670342303130 10.047862799527854 4.022008879597696 Si 18.071701646589901 8.009834759404194 6.043965211856623 Si 16.017353575972404 10.030873231934660 5.985276005821224 Si 0.027168657539754 12.033140120890202 4.009924123933913 Si 1.988679155638173 13.974313453577000 3.987290162905717 Si 1.997480464343399 12.040032488193166 6.061066303690481 Si 0.017652655233830 14.037153296878204 6.035740871889351 Si 4.013181219647803 12.055718400890486 3.978641538651909 Si 5.992239364346145 14.005348591489316 3.989667265600120 Si 6.054982201837896 12.075569061802149 5.979762367629432 Si 4.001344462384510 14.055778224112050 6.044115461518506 Si 8.032944027148035 12.064902217622439 4.044131559041707 Si 10.052102650466930 14.005964017312653 4.019704070315384 Si 10.003737541032834 12.047712325194318 6.042854065267417 Si 8.027782646219986 14.030396200750465 6.053674552747569 Si 12.061171491545450 12.024855588535788 4.032160083072286 Si 14.029727376188795 14.081433158146659 3.988701538590574 Si 14.039069033927673 12.019596738089746 6.033031921909828 Si 12.008537110092648 14.015065539620961 6.042864323326462 Si 16.051547654186834 12.005974222071501 3.993552290334043 Si 18.088254644956233 14.062662510935017 3.993399638408261 Si 18.053037164061770 12.046021700085497 5.989862285408782 Si 16.072753511933239 14.019288888268974 6.045686748495308 Si 0.051754296343842 16.042466128847813 4.001861781862618 Si 2.038343356758198 18.056144911575963 4.046424009779959 Si 2.030859655041323 16.018604315743929 6.054995163449592 Si 0.003819485497132 18.077639443992307 6.001838054804085 Si 4.014518320278935 16.068468013963404 4.021766579582835 Si 6.020208720612979 18.046759207030760 4.043938246568923 Si 5.996003860352159 16.052893784528997 5.985399120489017 Si 4.050356838212444 18.015837358411925 5.995013293406481 Si 7.993382074129685 16.072335694950265 4.020030213773431 Si 10.029133828789890 17.996606463532284 4.000186278730965 Si 10.085995039222665 16.051699438927791 6.017523912221514 Si 7.996102792999351 18.051241377325788 6.027532197505260 Si 12.053287606783458 16.072761483301488 3.992003093745307 Si 14.036236841715951 18.022268730596370 4.070388332679467 Si 14.014290489304702 16.023608963211881 6.044305026579571 Si 12.073225174153050 18.078010633826281 6.033693468587786 Si 16.052818384389830 16.021176457171347 3.998945607746392 Si 18.030634593646823 18.067540099048777 4.040159954846325 Si 18.075458271254725 16.071594445239974 6.026588974620949 Si 16.028504147072120 18.051265189887268 6.053949769842125 Si 0.027366423962428 0.004996670519321 8.015769166410934 Si 2.021267925162959 2.011148035273302 7.999881746137326 Si 1.975006304464351 0.038467321999292 10.046770219701166 Si 0.032689188811511 2.027158062621265 10.022299280105207 Si 4.074315669744343 0.023835270017722 8.032889793885184 Si 6.034339494993363 2.037189444494820 7.981801813251120 Si 5.948573746891738 0.009965075555268 10.027891460401271 Si 4.030467586310824 2.000875510778396 10.050184715946285 Si 8.024824342153375 0.033788706188173 8.070070621710952 Si 10.069933604385671 1.996328770430132 8.060089730819142 Si 10.054188614024206 0.007613864095265 10.086568296927346 Si 8.005762345880649 1.972610762197681 10.064725430377553 Si 12.002708714864493 0.032388684111950 8.017439506131897 Si 14.068049516071468 2.015928273047452 8.019622605178558 Si 14.058326701187738 0.016699512780959 9.997338677250942 Si 12.013182809919719 1.984656189412820 10.069046278155417 Si 16.033877539173808 0.010007338867336 7.994135063334314 Si 17.993404176695712 2.023541020691507 8.044480437705632 Si 18.033118109230767 0.028987754683326 9.986553573355291 Si 16.071417661734444 1.983892149746002 10.042679276158070 Si 0.035954462789053 3.975284455529000 7.997824266019867 Si 2.028686792905074 5.989034818003241 8.078475608590830 Si 2.032917932081822 3.992106153803547 9.985672046034582 Si 0.031396776029027 6.031088306080006 10.011430591229120 Si 3.973559068723683 3.985795141606499 8.052248381357343 Si 6.036879410257600 5.984385607346683 8.040949274293093 Si 6.052010664231079 4.017987135357130 10.004181452222541 Si 3.973998664641869 5.993996221426046 10.030263728573969 Si 8.032921241073192 3.977000499756192 8.046004025498341 Si 10.066678771685130 5.968966686785665 8.045819412743512 Si 10.003426336929223 4.038430572918281 10.021656072153364 Si 8.055806250988706 6.087107649885802 10.034040085859372 Si 12.051331057838635 4.042847911122755 8.003928122513951 Si 14.065100490561182 6.009821582636964 7.997872543148447 Si 14.073922608382452 4.034157907244721 10.014991623278158 Si 12.016992495783834 6.040181603785239 10.021207755606024 Si 16.017357894010139 4.049189997002737 8.044694680567662 Si 18.028180252277707 5.978511788753983 8.042802677907787 Si 18.059042742552833 3.975200611980713 9.983482165483537 Si 16.067768189582463 5.980613464204912 9.995964024688982 Si 0.007398430820137 8.009365081031312 8.073828097324219 Si 2.022111852290440 10.019743200820082 8.020677624899351 Si 1.992527914066209 8.054398062449845 10.071554573286251 Si 0.001442922426169 9.959369328175079 10.048314906603849 Si 3.991218845029959 8.024085969456788 8.018966083498679 Si 5.985175524950511 9.997540149555208 8.055244405085190 Si 6.057636467429617 7.988665544519765 10.054762057320385 Si 4.010532457225106 10.004844119436861 10.019240574961707 Si 8.029887944810516 8.004006859225704 8.002307033084737 Si 10.037832672576471 9.994730117935848 8.020977593579545 Si 10.015708432349134 7.995970838213076 9.998891887288618 Si 8.056200417845494 10.002043803126222 10.073370634580257 Si 12.003337137522225 7.971256878886378 7.992132532508798 Si 14.074289642104770 10.035804080530491 7.985471664594818 Si 13.988543784365511 8.010758488891341 10.031785306898508 Si 12.007573556818310 10.029615861323634 10.044742167092323 Si 16.069830855464637 8.092369265016938 8.064094217456036 Si 18.086679272821826 10.012785376372394 8.056315980421795 Si 18.060319461249243 8.051110731985831 10.086330251475623 Si 16.056258102884552 9.994875445948388 10.034151726772434 Si 0.000493364314779 12.033576249779721 8.026685852346406 Si 2.000909301350575 14.075130048091649 8.022095618839254 Si 1.977989670457202 12.025950769026062 10.067269602018134 Si 0.000177718505687 14.064934969812072 10.033745101737038 Si 3.981435775693846 12.008020789518277 8.070818425806863 Si 6.014542509820456 14.068921967790704 8.055970667228761 Si 6.015693798744012 12.037228893755810 9.987971218295220 Si 4.046880443559781 14.003604288866914 10.090818410432064 Si 8.016645784445632 12.035672973054925 8.062451396910012 Si 10.065882730157282 14.007725686547492 8.022015160038075 Si 9.994798066943178 12.011424589699757 10.017400637802316 Si 7.994399120371247 14.068268924585565 10.004416443019288 Si 12.023563392551676 12.052639189501917 8.001194632349945 Si 14.017329795678602 14.020954885918602 8.009764601214584 Si 14.062386708889221 12.055982457124303 10.045119310147120 Si 12.024237955128077 14.035096446139722 10.045954040929116 Si 16.012044650460510 12.035090299606042 8.056772946802555 Si 18.065691859748398 14.059118763295341 8.060422877608570 Si 18.048454424592279 12.066808464068581 10.083576879236626 Si 16.077652114562731 14.076846825633339 10.002273317921286 Si 0.030567534556184 16.082419658109131 8.035483112379675 Si 1.980564181632155 18.057042398676813 7.999618119638538 Si 2.028446886091144 16.046912776069313 10.038700239906611 Si 0.000246068936546 18.043503681484840 9.978648460840493 Si 3.974178800274520 16.016089662953071 8.046386384994367 Si 5.964631243638045 18.014044332606989 7.951309541808206 Si 5.983694715345207 16.076500678830996 9.996617861909497 Si 3.982118932634964 18.059181972349073 10.023923441268863 Si 8.007607540908232 16.038211328578427 8.056513053902869 Si 10.049203519179638 18.040320616015833 8.029144127949625 Si 10.062164607393909 16.083083154638690 10.011062628087391 Si 7.999278938845429 18.028426082475544 10.071010871067829 Si 12.015739931582859 16.077698235414182 8.039069369060904 Si 14.073648025564887 18.021684788512207 8.031924779608609 Si 14.082193173965480 16.074507921835817 10.040575117293224 Si 12.032050796737460 18.020929629866199 10.006297187441039 Si 16.047741073820269 16.020775720979724 8.020691309900315 Si 18.085644320291795 18.082197206920707 8.031799151613614 Si 18.033746616730745 16.089171393045806 10.057193092533586 Si 16.067666487383772 18.087978661801849 10.068650155042720 Si 0.002921620771262 0.011678310005921 11.992041113797590 Si 1.971208007240679 2.025188593872160 12.030465904031429 Si 1.998763723368530 0.048700543987026 14.031308746517146 Si 0.011935352579012 1.980592199817242 14.039469588972187 Si 3.960130137504226 0.016973751739375 12.003503945512183 Si 5.957991218027740 1.970642998864167 11.984632913933501 Si 6.009821874210462 0.007652632907435 14.045249238935305 Si 4.000611053286381 1.973125287915060 14.026693786226167 Si 8.006252796897046 0.026395033845964 12.012218742972406 Si 9.996837113226396 2.040281584405987 12.070221005354227 Si 10.058623912734587 0.013757638681684 14.009918743777504 Si 8.051369541457676 2.027167750548563 14.040018153340290 Si 12.066890144050520 0.038609783866372 12.023932069831217 Si 14.023355506661494 2.018358018852671 12.071288168998546 Si 14.006188319404966 0.011615193417062 13.986716556453725 Si 12.049032940775879 1.987360923664959 14.018171120365674 Si 16.083951175454775 0.035111028145319 11.983831815678492 Si 18.069149664303083 2.041452813008152 12.026161653179136 Si 18.016832856980628 0.014044379326790 14.029912909037087 Si 16.011617097377329 1.987349980312508 14.037913669499851 Si 0.014697224024825 3.978685613297446 11.997052715931511 Si 2.027462623466480 5.992241530223354 12.071251059870125 Si 1.966783000321219 4.040118472038673 14.009146599735736 Si 0.027284948338235 6.010852482341003 14.024135713530416 Si 3.987334435726769 4.003465433725524 12.067573798928036 Si 5.981325171699061 5.967950364921655 12.051735252580292 Si 5.996435772048396 4.027977956315392 14.053995485705730 Si 3.985345938164456 5.960646143368576 14.028275992446119 Si 8.045790783797996 3.980764965179449 12.032199079749821 Si 10.049527492268206 6.005899538733081 12.023726246744278 Si 9.996413678838564 4.026737260464508 14.045129020550348 Si 7.985185816780329 6.002335702707966 14.035015414855733 Si 12.031060681538518 3.993390210842938 11.990947926931698 Si 14.029958236718011 6.024646975620316 12.002828280616416 Si 14.044920120346655 3.978789070079060 14.078008344011316 Si 12.032778834055216 5.998643085638539 13.996013036905300 Si 16.057364425910453 4.020949213259453 12.051489622652776 Si 18.060552517841529 5.984575125766281 12.009157009106762 Si 18.057253298198262 4.005896349153402 14.080755116660750 Si 16.034895314741362 5.984533254510881 14.071218724799337 Si 0.016015996967553 8.049148659362707 12.046665218050917 Si 1.990457447863638 10.026519104630275 12.078507162962429 Si 2.019926269306495 8.052204371325118 14.014385259919081 Si 0.038337372959813 10.061929114837360 14.023477409401298 Si 4.029558187867876 8.039311406236770 12.069459148831305 Si 5.987148546800070 10.063276160941497 12.059134312720802 Si 5.986011011163269 8.016120093583607 14.019540855948863 Si 3.994598063369331 10.015366833824896 14.049149961768403 Si 8.033368134929921 8.057337202511821 12.048696091843039 Si 9.996259032447188 10.035022451976756 12.071265114523234 Si 9.992870238389660 8.064602939220849 14.112468344314355 Si 7.996597404602420 10.053942394919423 14.067713673462505 Si 12.069565659140293 8.060167487791425 12.029475439598457 Si 14.004379918743671 10.039773945324358 12.059684770020990 Si 14.024966437655433 8.045267844097429 14.081850093781853 Si 12.009822895768991 10.007142402984949 14.074115297191865 Si 16.042442114145253 8.017316017442864 12.004206688114690 Si 18.051832802231633 9.999532028444284 12.045515540814131 Si 18.025454802084706 7.997233970277946 14.022629902431838 Si 16.030093687234672 10.093365090067012 14.023780283626104 Si 0.036936619975532 12.060174394710931 11.983149338810378 Si 1.969052634901533 14.081461252653574 12.006294305583463 Si 1.993351858953192 12.075318671954378 14.024808567378052 Si 0.019375802897955 14.052993085421003 14.054101362708055 Si 4.052427600295962 12.001308554301328 12.043415887067546 Si 6.048019970922237 14.045443086062335 12.041437394720763 Si 6.043985176823643 12.028569363095162 14.067596715413764 Si 4.049143184256628 14.061971956351508 14.009884391858808 Si 8.019372923814341 12.100164294020594 12.042902394078254 Si 10.039539653961167 14.042095402456725 12.036779862183058 Si 10.036733888543075 12.037025277587599 14.023589449866941 Si 7.998376334304219 14.028875938874606 14.010625117914508 Si 12.073825127147527 12.074356365749933 11.985068579050187 Si 14.024637496195744 14.109440440997181 11.984365075602062 Si 14.034736508668596 12.015509231812572 14.080326602503806 Si 12.018061674995680 13.993267412450605 14.027625029512436 Si 16.036034326332885 12.036464378521174 11.999256283336164 Si 18.049036151327122 14.065183676705232 12.036862771735892 Si 18.080874391079767 12.092048586232734 14.044771434696541 Si 16.016525170485881 14.045941387800287 14.024718652105705 Si 0.008240515545083 16.039515493422705 12.035757600624478 Si 2.037270910694320 18.069672518904643 12.056197080117428 Si 1.998099399427383 16.025706923441149 14.016665975601221 Si 0.015892913399186 18.016021376522232 14.032902134602066 Si 3.992773335994690 16.038422634100293 12.002753239408609 Si 5.954875845332794 18.045511582007666 12.027776413318470 Si 6.053276369233678 16.019199698847196 14.019012734905667 Si 3.992939603161713 18.054579700347297 14.041371892023671 Si 8.024091195262576 16.074412524787906 12.028451447330170 Si 10.068434750668846 18.045895528088593 12.056561364346635 Si 10.056314461622732 16.035729607259164 14.063963127356141 Si 8.044561805700489 18.045778371134595 14.032286511928014 Si 12.064161066600164 16.034793647289213 11.998709587293835 Si 14.009803762761168 18.035130636659702 12.040076491213325 Si 14.035174902556154 16.036965383889211 14.026372888298745 Si 12.005532859130206 18.032726994655896 14.012416135408603 Si 16.082527984893286 16.055786990616451 12.046593645121376 Si 18.015601906390405 18.038852094048607 12.011002258646757 Si 18.091007494247734 16.053920195759037 14.084132279701389 Si 16.058758028024815 18.019583816499050 14.023982669725189 Si 0.025870102095475 0.030957297245137 16.046918684215846 Si 1.983055130498524 2.024193447490902 16.035582498834074 Si 1.982653551575163 0.025925004190479 18.022969694371714 Si 0.038244812186434 2.028245406892427 18.081981667957670 Si 3.966639714146404 0.007277192630087 16.073523818770997 Si 6.044050789692808 2.007690103149389 16.083153728004746 Si 6.067933714284357 0.030505550852555 18.044147004673626 Si 4.081133480430115 2.026091478606181 18.041681597593492 Si 7.991755381191195 0.061260702001093 16.081533626627756 Si 10.023847950096327 2.010340270128342 16.011176921906326 Si 10.003832833398324 0.027273393585792 18.050863377002113 Si 8.029091607414628 2.030814132210863 18.049536843570252 Si 12.016973354591807 0.004716743107962 16.035263001599038 Si 14.007222121085094 1.979251499136199 16.070766820656548 Si 14.035514378940476 0.003159500202257 18.062556997971729 Si 12.077052390024697 2.040338311743995 18.071977426227793 Si 16.087454949421943 0.028830905725982 16.045878396267977 Si 18.028327590055301 2.016510902784044 16.074817931463542 Si 18.048081323029365 0.001109002953219 18.081808785630031 Si 16.070764224494948 1.983631089468002 18.060046354669055 Si 0.012148604588962 4.011603365094099 16.041426460055952 Si 2.022847727986920 6.082771838858770 16.051595995997651 Si 1.994129746674248 4.015177736714453 18.088441225752970 Si 0.031827799887485 6.049450286795818 18.017456249634627 Si 3.955100851095631 3.937189346580511 16.018453276451812 Si 5.998662949933867 6.023149927570326 16.051339423796325 Si 6.054715638984081 4.061627610773805 18.039302126754436 Si 3.966032113121913 5.986389477508458 18.093208403632595 Si 8.039275744533439 4.049010380250637 16.066453864856125 Si 10.017907654469566 5.993420739983415 16.013136670131651 Si 10.031349445128686 3.989047803360206 18.052293384398855 Si 8.060655211589900 6.043563123148177 18.031757150068294 Si 12.018323587859760 3.985159275307983 16.067558841139999 Si 14.045750453034527 5.979208435732529 16.015533890065807 Si 14.004996849417653 4.004635497653839 18.036156443450604 Si 11.979784913832585 6.002703617882027 18.078741114832262 Si 16.055995062143129 4.015990961480878 16.012173021540821 Si 18.022427983633094 5.996519733793996 16.017629453053527 Si 18.020664479406424 4.040139896896929 18.078926176513548 Si 16.037103786205790 6.037144050010530 18.010776971120290 Si 0.043805239758850 8.085108192757552 16.081750110540245 Si 1.997342465780048 10.043953359248171 16.077111346610081 Si 2.034498785427107 7.964607958453781 18.080852866118480 Si 0.037021732107126 10.014465814122907 18.044225671903430 Si 4.034465523121075 8.014755614918137 16.012798089809962 Si 6.037314690012859 9.998952387239553 16.037384788584340 Si 5.991515662607946 7.972193355573378 18.045224773435514 Si 3.992090198751012 10.020982933633753 18.057664674375154 Si 8.011390462906187 7.991625661450096 16.052590831958625 Si 10.061978499063061 10.025988866025768 16.047296571832685 Si 10.063857995737662 8.030034904493268 18.047112562165143 Si 8.048267959133250 9.987173349730318 18.034928313620057 Si 12.060776794023894 8.053943080257028 16.072179115441287 Si 14.006091075002393 10.019209685542153 16.053177560190417 Si 13.981931669165363 8.061520848011455 18.063158967265217 Si 12.046433327067387 10.070136196077286 18.055564497813581 Si 16.014415720602930 7.996079683505848 16.022834839422284 Si 18.024731122766500 10.043890310042515 16.054422604726142 Si 18.019558493060341 8.059050281322696 18.026513084051444 Si 16.040284091141046 10.026405593392614 18.046581095181537 Si 0.029202271443631 12.101333486664592 16.025487056076457 Si 2.024665745981891 14.073465915460444 16.075324100142257 Si 1.982282683466816 12.044081390388305 18.069232954931003 Si 0.005308696940261 14.078392409366772 18.036181724096284 Si 3.973423365889926 12.069636614174271 16.075741326956727 Si 6.029019387331292 14.055169141301549 16.012917734769584 Si 6.036116773358516 12.038119285821841 18.086569188680574 Si 3.993125657161575 14.051301660484040 18.056285184005361 Si 8.014543399896469 12.012565458161854 16.061888720462953 Si 10.024062909298403 14.047080356800755 16.025230032678618 Si 9.968285678858647 12.066468780244287 18.091900345455311 Si 8.077997167367544 14.088338934687673 17.997602119391875 Si 12.073483114985843 12.034028719933680 16.058434804686144 Si 14.025865184488726 14.010921511540095 16.032566340726696 Si 14.015556142330759 12.056625163778966 18.029203620846708 Si 11.990631999176669 14.083467272683384 18.086748562317201 Si 16.066862191810905 11.978156990894986 16.062089732351822 Si 18.066879705418238 14.064799349861163 16.042635807653262 Si 18.025603505077715 11.985297547295088 18.064482231104247 Si 16.038686775982342 14.066665976737649 18.071401732187759 Si 0.053444646326344 16.025848200520475 16.058240515908221 Si 1.997438273242568 18.038179696678281 16.026565439233597 Si 2.022619658215827 16.068583416453322 18.078228551867966 Si 0.010320872913062 18.038446736635635 18.062638317028210 Si 3.990968877689167 16.020021769489929 16.089399465631359 Si 6.021164986988796 18.059793636807033 16.021007780197632 Si 6.011387928377792 16.037039640768395 18.044283462552634 Si 4.032518026100907 18.048761958771586 18.088955990299134 Si 8.061873120838726 16.028714495750926 16.022466525494988 Si 10.006880365199860 18.036844113644062 16.088428092276615 Si 10.026742644847960 16.066940492133817 18.064288851544411 Si 8.021549248180015 18.019072479899354 18.027897205319437 Si 12.018653648293752 16.021346553580468 16.028697454045449 Si 14.061490798066947 18.089657159360016 16.064719448559220 Si 13.996237252073991 16.034534553520697 18.055247897170990 Si 12.039634331845564 18.049755930100520 18.046680691551654 Si 16.032053402111849 16.051467719140717 16.081047481797057 Si 18.078756741598742 18.083062791018044 16.060163984011329 Si 18.072985573101327 16.013476658392467 18.027191989120084 Si 16.074439573588919 18.082735607927042 18.049803661480901