500 Si 0.010023234026381 0.020162538673007 0.035296136512566 Si 2.010505924651427 1.981654538830542 0.065238415309126 Si 1.976768884509245 0.050055132493846 1.972233754956281 Si 0.018000724419671 2.045575456242637 2.004360068404288 Si 4.079870400387190 0.025748518788282 0.013354921784233 Si 6.001325269944127 2.003987600696737 0.053890996292827 Si 5.989979330994240 0.043097898557787 2.042701348696827 Si 4.039092142293430 2.040684217612281 2.030706756318202 Si 8.059896550338919 0.024398599396971 0.007630308340780 Si 10.051816246546805 1.987570669972093 0.033162436228701 Si 10.026775596243228 0.012147878951716 1.976644902546296 Si 8.047590883814173 1.984053899749376 1.995278492627432 Si 12.038116072188286 0.004435573560469 0.010126262080630 Si 14.020269829879050 1.998616845933167 0.031940050389604 Si 14.058908421083553 0.033997541986187 1.978067712568511 Si 11.999674513253757 2.034726519013111 1.997910311317776 Si 16.051474436851894 0.011385322564657 0.016560462754488 Si 18.062703191048751 2.000149241729543 0.019461414092428 Si 18.048492253996727 0.037217049680955 2.016251644155566 Si 16.041634863113742 1.982225358763442 2.044126411129185 Si 0.006840238183475 3.993388965634288 0.021451029120976 Si 1.977107468965844 6.040244990879623 0.024953723411015 Si 1.996513064361436 4.000624640714281 1.989751444792228 Si 0.012244519210170 6.049510751677832 2.031781122010643 Si 4.036446558544510 4.012602169625682 0.024663267031473 Si 5.980046751044369 6.050512770834312 0.017135048815441 Si 6.007680167846086 4.042908702568274 2.034014831496980 Si 4.033425918977747 6.056272789331026 2.015169281168550 Si 7.956824005301360 3.989844388981982 0.044967859078254 Si 10.025104436369524 6.052092174823987 0.063475162216316 Si 10.008639124306512 4.005418005906557 1.984454091118159 Si 7.990398855785234 6.051816483230128 2.016758350906326 Si 12.062562232018063 3.978618973430756 0.025335100874406 Si 14.081001547596838 5.992038618950302 0.044353194332515 Si 14.005731403339995 3.978987162933327 2.045463050148823 Si 12.040614289754686 5.989829332161478 2.004634347051943 Si 16.009458577329045 3.997593312928832 0.006245074796821 Si 18.065702901114445 6.003340675878439 0.011846456074207 Si 18.067807330810687 4.071610808834279 2.040459257278529 Si 16.081279822233142 6.033216321985123 2.037765777396538 Si 0.038289765852901 8.008080432359128 0.026218981150185 Si 1.979505674397576 10.056529253389652 0.004715386976669 Si 2.002498063436109 7.993415260877931 2.032618843238485 Si 0.018340172993217 10.014530382883418 1.973160235425288 Si 4.037234651376925 8.049119516764327 0.016815087319094 Si 5.982912300785624 10.026858288300401 0.025647755484859 Si 6.045541225560346 8.019278122266718 1.976441673847152 Si 4.037332197322359 10.018081453533373 1.993577746695030 Si 8.035333863301354 8.015072196904546 0.034428803038782 Si 10.083442244610964 10.052815759175004 0.011812245297487 Si 10.020839424675637 8.034936187873807 2.020501298719346 Si 8.007734891050283 9.990084315204612 2.018014103251645 Si 12.077119993136515 8.068394902356896 0.013865362887608 Si 14.007077420133081 10.089784287989787 0.019484324210977 Si 14.070325892390688 7.999556653570983 2.001039519124113 Si 12.072714929258677 10.053918383587625 2.002036592891679 Si 16.045646633500244 8.004641317350256 0.021836311720813 Si 18.083912152787828 10.023624140756851 0.012809980266412 Si 18.053643542358014 8.017417445931526 2.028222820190938 Si 16.040349917546148 9.994586917289206 1.992511127404157 Si 0.028790934588979 12.013932406709474 0.011032925166111 Si 2.040572746522163 14.020955411525572 0.040589249539713 Si 1.967952390606376 12.013083391602027 1.999807841528000 Si 0.028246615718553 14.057416904129626 2.038209785537052 Si 4.039604469385544 12.024878748119329 0.022158177695815 Si 6.094789818525959 14.007276893388049 0.016106346945951 Si 6.026079214120851 11.988168933242576 1.969671491237151 Si 4.028567255819716 14.023000090865915 1.991170757509914 Si 8.056562547045459 12.052441474250090 0.029865506744170 Si 10.060979961029993 14.028479965900734 0.016785868141336 Si 10.027976308413821 12.061053178824150 1.987302743238954 Si 7.990295807161321 14.046452719332159 2.032392955043240 Si 12.011269035675374 12.041031815948976 0.009788795040886 Si 14.010380882269867 14.061098431978944 0.039749952973441 Si 14.005251719913387 12.021013173321236 2.040585139867912 Si 12.000225394095642 14.030796276729948 2.022838914219780 Si 16.051189556784170 12.105455095610360 0.004965016000362 Si 18.089400063481197 14.043462578027126 0.020396127591346 Si 18.064638319513644 12.011613766926844 1.998314129574881 Si 16.078750982521498 14.060842478064410 2.042547658192736 Si 0.009439684569956 16.048561223911324 0.021445016889685 Si 1.996915525027359 18.048905904929459 0.017031208914521 Si 1.992997448577569 16.079033868666258 2.015901314312396 Si 0.026184658456946 18.092076314555634 2.017222223762920 Si 3.953855948570721 16.088736573426324 0.010382023590648 Si 5.981927426521155 18.091339140815073 0.014689798810420 Si 6.056042775438405 16.047682274363336 2.000128634326438 Si 4.033625860749513 18.073148144343921 1.993081430523645 Si 8.033170700455051 16.030079793932401 0.012601761725495 Si 9.996449101059063 18.063842553776535 0.014028534580348 Si 10.032935850110876 16.041051756470271 2.026472418209412 Si 8.016147585160887 18.066053438662372 2.004080301158497 Si 12.062745783443422 16.068880617617822 0.063444238252391 Si 14.099862056724630 18.019723459857325 0.021350521190745 Si 14.032994760549066 16.020329742298330 1.981836746264311 Si 11.991040888120553 18.076324678273259 1.981131655879922 Si 16.039237892450867 16.015623052678180 0.044796697531189 Si 18.060267787122669 18.092944438883780 0.011844477885840 Si 18.057798335306082 16.040738871633913 1.978300670991592 Si 16.026065206854188 18.056932620612660 1.980675931298793 Si 0.003723249397841 0.001087072682724 4.042524643652001 Si 2.011475618939593 1.978006693410795 4.029905362303940 Si 2.043338189854984 0.036020231563870 5.985796787017122 Si 0.039141464740963 2.013907348271628 5.985482797774878 Si 4.031296726994899 0.030176128074823 4.045017111589879 Si 5.993896919871667 1.993289544548376 4.080505603714590 Si 6.010853685607372 0.008059339843570 6.058030503110644 Si 3.976958996169497 1.995792570535760 6.044320765134402 Si 8.065019445450002 0.033941103530542 4.038822355551981 Si 10.053734682373356 1.988492984543328 3.980654047561544 Si 10.035242334361429 0.012188851438522 6.039684438206154 Si 8.066972681640626 1.969886827637553 6.045907009190183 Si 12.086249305855915 0.016374150963604 4.006774324837807 Si 14.079737787489012 2.025376037021439 4.025162138270972 Si 14.042574203565170 0.028120856598038 6.058055608076091 Si 12.064314386561689 1.974668485801759 6.045747024057597 Si 16.044151838898109 0.011110208610421 4.077352101402169 Si 18.021940479465123 2.038135952097682 4.029581785560571 Si 18.049885659389101 0.037379686037783 5.962515177090557 Si 16.036594553018507 2.008120241264114 5.985043116558689 Si 0.015157252811994 4.008994163954878 4.050581758934294 Si 2.029659958020368 6.031058061774953 4.015986976883656 Si 2.020417700070077 4.020474881926183 6.039073100341179 Si 0.007569155248419 6.030500973170501 6.001369395642610 Si 3.963827371173812 4.014785275880865 4.050801899515323 Si 6.008811854384080 6.012951785611645 4.052066360939264 Si 5.979662952491739 4.031078226384313 6.058485525379147 Si 3.975000310336562 5.982253004142972 6.009503499256499 Si 8.023275772150248 3.975576911071137 3.988202277545239 Si 10.034557683304383 5.988644856308963 4.042755473200003 Si 10.038136053584248 4.061558891093282 6.009975830755160 Si 7.991507313324875 6.024001733752527 6.023534031204131 Si 11.989445920946700 3.982621691018256 3.999260244536163 Si 14.036779940157503 6.018890008758055 3.979332253227433 Si 14.077897190773987 4.035373562855281 5.960692484488088 Si 12.072083772949393 6.082090344494744 6.064594240048641 Si 16.083691130474872 3.986575022074990 3.997180072131205 Si 18.082172666192921 5.957898296736230 4.021025189588879 Si 18.047175083087726 4.026816132653356 6.067298047436801 Si 16.010018203781947 6.008020231966536 6.016975820543223 Si 0.038314497290843 7.996761145174617 4.083355986147946 Si 2.045708350403542 10.062261930121927 4.029923066808656 Si 2.040274246529056 8.014467702779585 6.022163751897582 Si 0.010590424453212 10.049051115862259 6.006245039117807 Si 4.003823940669877 7.985228980235337 4.027466045263639 Si 6.033329696556470 10.057079980698227 4.046570701688397 Si 6.032537683728725 7.989987334120578 6.078385614768811 Si 3.973078824204837 10.051224035713135 6.030658492159991 Si 8.002057866301483 8.062454972261406 4.038368528771907 Si 10.062665306456056 10.003082166239734 4.039757731042474 Si 10.046447897922571 8.048284248702645 5.980628285648752 Si 8.014269333128590 9.982568018888090 6.011424224888512 Si 12.044937041821084 8.049726060633185 3.997976392862766 Si 14.025539199415114 10.049398190457635 4.051170884652016 Si 14.038270912602808 8.027119110671684 5.994852461231070 Si 12.067944881719207 10.014739474661312 6.002755507955651 Si 16.053759992910134 7.981639323553245 3.992658755065009 Si 18.016178518556970 10.059862515088803 3.983598511139167 Si 18.037001152589607 8.044905208687640 6.014893976697650 Si 16.074817374241942 10.066358619519875 6.025750858522105 Si 0.017001440115820 12.070264783998859 4.014060360609147 Si 2.024803779748791 14.076696340903489 3.984627065306861 Si 1.969282624490663 12.002291469203616 6.057465946226405 Si 0.021875324968217 14.067491731073597 5.975780432931101 Si 3.991342598188774 12.005609257727565 4.005037985500255 Si 6.014826251440407 14.061163919358098 4.035463433207165 Si 6.040872941677186 12.024011218630053 6.004092936157926 Si 4.016198162611384 14.079638623870077 6.004037890902946 Si 8.076996225981574 12.038812256621448 4.040554341313759 Si 10.000660076100020 13.997159499579217 4.057171010920396 Si 9.989173944691704 12.040948083228423 6.017430507609441 Si 7.971637816441366 14.070908584473134 5.981096739619559 Si 12.038589215907576 12.049710957737586 3.981566662612204 Si 14.043852228929039 14.048725481125981 4.012258706632474 Si 14.037551878360592 12.037170706052343 6.016882483114336 Si 11.998053811471712 14.042608695703283 6.044002600595444 Si 16.083865883124293 12.028714170916000 4.022965566648421 Si 18.092976123827679 14.033785389322370 3.960286106236961 Si 18.040646744552781 12.042397118752209 6.032275099773352 Si 16.055654294527425 14.024055477752833 6.056215478968647 Si 0.005836937890370 16.040506941670689 4.047585506557943 Si 1.990095385734266 18.080472047353652 4.029953152202338 Si 2.035516069458245 16.082107113183746 5.991208880252454 Si 0.007197356202855 18.062320312799446 6.049869494471586 Si 4.005432503472854 16.076493096308809 4.002778866784070 Si 5.984723040529819 18.052692135727732 4.042234479128886 Si 6.039851118617812 16.068846256499047 6.047992551761251 Si 4.042566195817055 18.026962806695074 5.985335648192879 Si 7.970068878892230 16.034351351549340 3.982230017105925 Si 10.011121195264028 18.079904667262529 4.015882917032827 Si 10.035635915970245 16.047191884100794 5.980040298923353 Si 8.000274734753306 18.081689117141075 6.029621472606604 Si 12.021307178701674 16.009543991373715 4.046666684043713 Si 14.017745537256674 18.037341839637993 4.044077723285671 Si 14.039743072151690 16.061195146992354 6.018422392644880 Si 11.993412766653801 18.018080383471265 6.027261982029050 Si 16.015775447850167 16.075724781983112 4.041536140555538 Si 18.071128891709225 18.078904019121207 3.996044240382876 Si 18.092715252815008 16.061515460737407 6.053036706842007 Si 16.013078893486760 18.084477247796315 6.029167778623958 Si 0.019379723736210 0.028231852130236 8.041152679768999 Si 2.009730183364331 1.971923842180606 7.989593364967340 Si 2.038048416153732 0.040342859122857 9.990997266799424 Si 0.011224581573271 1.967108860537775 9.995906493423860 Si 3.988524683299228 0.010303113322718 8.036755783865550 Si 6.042330607452835 2.008484892356266 7.987489912597154 Si 6.009711567067097 0.044396157023412 10.032021453376188 Si 4.025781694298945 1.983013551411882 9.991951201764186 Si 8.062217259321104 0.037359089580025 8.068143923918727 Si 9.999283850960667 2.007077223006472 7.997050193232615 Si 9.992203650328532 0.001934665765144 9.992434991312985 Si 8.037372277439268 1.968487887136208 10.038158572500382 Si 12.053699998570227 0.033865101364741 8.036989971830783 Si 14.082507422455603 1.983451547242201 7.994269890606222 Si 14.020126528901482 0.000833056710661 10.060041278016620 Si 12.065974186272243 1.990479833420474 10.065559239302509 Si 16.020932255253935 0.010194740824431 8.077028124319492 Si 18.040344860446289 2.006974920858982 8.057256969227730 Si 18.052148955444459 0.039877545392231 9.996935108271250 Si 16.012046440643314 2.042116240007871 10.014303458526095 Si 0.034083226995770 3.965643890219116 8.040553062007881 Si 1.973888840896273 5.991726188737497 8.057400606709216 Si 1.985159773821916 4.013821166426977 10.009142523357017 Si 0.027214718881034 6.032306475777469 10.058672488849108 Si 3.984745534130071 4.042540315811990 8.038139054319938 Si 6.040608725034289 5.999381663217482 8.002957647270444 Si 6.016435796986919 4.011079019752387 10.003047305977560 Si 4.002668247074060 6.039175875290515 10.023908327566353 Si 7.991649202028760 4.031269862386574 7.988181197951688 Si 9.998688539722036 6.005113788732254 7.994198851468442 Si 10.078016215940591 4.035597714812328 9.987384102720057 Si 8.045691776920316 6.014124169837249 9.994632842839303 Si 12.065917277792684 3.974954027254110 7.984661382189085 Si 14.071645104309511 5.970606479959670 7.994445551900337 Si 14.068179680691266 4.071396720091748 10.052026254982540 Si 12.060031457672975 6.054752175594247 10.070858628141673 Si 16.052281948269325 4.039799063529377 8.035111947630385 Si 18.030287153728334 6.045374619504271 7.991668686534389 Si 18.031917226411334 4.047564063469867 10.083091301731443 Si 16.050708851206537 5.988942197752173 10.013086601509590 Si 0.006453144074492 8.094241582392213 7.973137977400302 Si 2.010523588430110 10.043646742169132 8.054375573078268 Si 2.002012144461814 7.996373361477300 10.068282230904936 Si 0.026973777766438 10.042702461100747 10.026650978432164 Si 3.986940308721340 8.013372421753420 8.006367437088977 Si 6.052148329161168 10.061299957918939 8.009921738586700 Si 6.053001336535028 8.018400503516363 10.047202105718069 Si 3.983238687972515 10.049450538114101 10.035692823059140 Si 8.025924169034919 7.995206342936306 7.995331544391545 Si 10.055206926710703 9.990905975085795 8.045809051582728 Si 10.008592888401225 8.058959458051849 10.067481661325351 Si 8.043155209250717 9.995285670023838 10.002773130202172 Si 12.070013532013242 7.964813137310665 8.005121805202464 Si 14.073404261363798 10.073346382648930 7.992772488259828 Si 14.072484291299576 8.057429556161878 9.994970693759631 Si 12.088924742212958 10.007024642796042 10.041135033281183 Si 16.029706028609795 8.039142689561412 8.054219438224580 Si 18.087002683495967 10.016280853215127 7.984623462976987 Si 18.080437060565448 8.052242946711150 10.002193213664082 Si 16.087790956970508 10.001931712611382 10.006646322849829 Si 0.023028243213098 12.001416693452377 8.093339032679657 Si 1.984977586506431 14.074918110284313 8.051554044327936 Si 2.018698955669802 12.018510776712684 10.035939216127820 Si 0.005532295807184 14.047442916416585 9.993213904986993 Si 4.024840519041011 12.041350937125921 8.011854218301348 Si 6.053818025121521 14.073820329383627 8.030945219025618 Si 6.047000481113153 12.001652559532586 10.032025437020579 Si 3.977926387752002 14.053005746756913 10.004020864710510 Si 8.043339483118622 12.001966922212571 8.027930285687903 Si 10.054096328796481 14.013402228633323 7.988572486687451 Si 10.013045888273330 12.046411691351413 10.062801854844892 Si 8.054723660956380 14.060672324066987 10.064816451579443 Si 12.045062944189848 12.075841240271362 7.994045306767851 Si 14.037373754428815 14.012172497872358 7.988557462344621 Si 14.103533411904749 12.032141661533087 9.993623827208888 Si 12.040320055275810 14.009381834726902 10.016120751980598 Si 16.073759438048842 12.001010140858941 7.990930650886496 Si 18.054662156401438 14.071103796416690 8.038702796969460 Si 18.063217660339447 12.032857232925409 10.024300255273102 Si 16.033869676304199 14.019318896650301 10.052835513148613 Si 0.012440378879267 16.023639447554427 8.044429643095695 Si 1.990103400277697 18.055769861175371 8.023186039359297 Si 2.026953805814394 16.033286884500452 10.047774678751276 Si 0.013746251068409 18.016388380576497 10.069669393615740 Si 4.012866929418218 16.060344144396428 8.092016069005721 Si 5.969862140636712 18.036967535455059 8.079314500764696 Si 6.057407730783446 16.073448372826320 9.998894116783715 Si 4.025775690954265 18.087764607191879 10.077137354964512 Si 7.996438832421625 16.051369490489972 8.008250703610118 Si 10.104163656991929 18.038792803951754 8.094136238716917 Si 9.991749437534290 16.036026553464936 9.999213907264274 Si 7.989129004909917 18.071419472813332 9.990465091709508 Si 12.054960676283994 16.040787565618086 7.998720403479042 Si 14.030019809014723 18.081994732894508 8.048350979193158 Si 14.078801585608087 16.018869358419391 9.982167451978022 Si 12.064392116975222 18.057903734871079 10.064121853151649 Si 16.080899204619325 16.089240090586280 8.018710128834313 Si 18.015748609907671 18.059663518536841 8.052838662621776 Si 18.089584188937547 16.084893406570266 10.056924992605982 Si 16.015989773583705 18.065030873653562 10.008574614923539 Si 0.035963073013029 0.020866629473760 12.018882254150602 Si 2.031975605679223 2.028815273738711 12.064478577052421 Si 2.037316376744576 0.037847875598615 14.037208843172090 Si 0.035897109136454 1.989266402767456 14.068152155147674 Si 4.007433233061925 0.031287174852702 12.057087424619450 Si 6.034818627845445 1.982982293977284 12.056647585036808 Si 6.050371623045241 0.034607862443852 14.074346254868518 Si 3.983280743251168 2.043217761088020 14.038275932614924 Si 8.062781875315775 0.026010822664247 12.008655793540790 Si 9.999935707444999 2.001409676396508 12.038575020706263 Si 10.039845876489206 0.024247079870243 14.045244128257947 Si 8.005113612582941 1.990509501751708 14.023487368014761 Si 12.060696062428251 0.028022128400289 12.000052469518156 Si 14.025229982166612 1.980986375466169 12.015634878726802 Si 14.035920405220192 0.060953509889571 14.078383538352965 Si 11.997429565442101 2.023168725081308 14.080958482373404 Si 16.069355135189689 0.008832478990844 12.031797841490995 Si 18.067869615289830 1.997115113736827 12.009831760540919 Si 18.045663869371776 0.010787253486971 14.073206653940389 Si 16.077035500520090 2.010588841429854 14.082689856932491 Si 0.018304659069143 3.986852762231637 12.076711336321083 Si 2.017551823402791 6.007626827522337 12.010634744120667 Si 2.004478696976945 3.972558764703766 14.016134399004743 Si 0.030683092564551 6.012678675613005 14.017680679442806 Si 3.990693789954189 3.983498487291668 12.062088097223508 Si 6.022645269253673 6.023231607362750 11.989855253018677 Si 6.003121190574268 3.983962315537429 14.081052341094875 Si 4.023912938077020 6.054424108468758 14.058116107404000 Si 7.997766845097159 3.989803768133288 12.063742029764303 Si 9.988353646098590 6.046890375244786 12.058369277719921 Si 10.063314483466581 3.973181271558883 14.047746652631366 Si 8.031149207759563 5.983577704136296 14.015177895755500 Si 12.076948357077852 4.017164014527274 12.060705887144321 Si 14.012351954725148 6.030723984336327 11.993951725154231 Si 14.028811541709516 3.977759808700787 13.986157393933180 Si 12.055535018099281 5.991296481246880 14.012674046031103 Si 16.068834950478241 4.048094252371624 12.067468380107103 Si 18.084178319127428 5.999803745916053 12.027447000955949 Si 18.078700477632335 4.056755463457142 14.051899692262246 Si 16.023459356120547 6.056969550244873 14.050224160632972 Si 0.016912643859178 8.003743728385725 11.987190387951815 Si 2.020669349791968 10.061321272088970 12.032938611910037 Si 1.989309706561128 8.055945846047056 14.016853981640322 Si 0.001333332943719 10.055742166108969 14.070082799572649 Si 4.041326920091786 8.056032908845932 12.042696466928458 Si 6.007848449546198 10.009075816100909 12.060728534676583 Si 6.003654108048003 8.055127693326099 14.006158201975271 Si 4.048942141573606 9.986325742475405 14.022857769807612 Si 8.043512565864097 8.020892736268486 12.072145390684772 Si 9.996302305481958 10.031102594736359 12.015999434299651 Si 10.049203204234850 8.069032466756788 14.058413784757875 Si 7.998583152233667 10.062647837576669 14.005325361890620 Si 12.074956372604179 8.056928768315917 12.031708285300676 Si 14.031111385864882 10.031834144376587 12.036721365521307 Si 14.067457072579160 8.050921306495573 14.076536548940698 Si 12.009414608325409 10.028225301294764 14.048035569995390 Si 16.054303619629422 8.063118245838892 12.051120103389398 Si 18.068362528097929 10.027415933416925 12.087352255235675 Si 18.077948890446894 8.018926140180184 14.047951807128761 Si 16.078490971115912 10.049108992194407 14.018545720810557 Si 0.035072356384148 12.049424753196323 12.046990115042309 Si 2.043633836416258 14.041395247258645 12.008647128186931 Si 1.983070235128687 12.058801710442227 14.027850301907220 Si 0.008063379333247 14.092008800310280 14.061409765364516 Si 4.031218087820250 12.006476565405119 12.072933473429151 Si 6.035747581132729 14.082787402515457 12.074385257955656 Si 6.066921209279317 12.005743283706417 14.026302629341098 Si 3.957960685709520 14.005224283769881 14.031287987564321 Si 8.069414874513331 12.013943829473073 12.023949455058400 Si 10.001031694485279 14.066705729629868 12.036777424163372 Si 9.999476754336492 12.021389510405001 14.076108508973460 Si 8.001993183084817 14.080020974146775 14.080286219735230 Si 12.080627903950610 12.056238754209060 12.011299069063089 Si 14.051482138139725 14.033791842408858 12.006881186983261 Si 14.058339922449001 12.064394426191074 14.030991655478635 Si 11.978437293732942 14.036390033714515 14.018380861143033 Si 16.046420187397334 12.066231851562680 12.030331732340402 Si 18.019683157122518 14.059513916394637 12.009590150110732 Si 18.057163346794212 12.054845693383163 13.997334077437493 Si 16.068800321337527 14.028498720517131 14.117911627187699 Si 0.000987698307770 16.056452396355166 11.996744901199328 Si 1.995640039504291 18.051797615586434 12.031408561023445 Si 1.982692363340117 16.032053299754867 14.026650017709605 Si 0.025903035525644 18.081467049368758 14.044446350020973 Si 4.027136187330061 16.066407930609966 12.071915331167844 Si 6.057746434509315 18.058297163775137 12.082099945588114 Si 6.034721632491156 16.057181327048632 14.012897473909154 Si 4.035645516196779 18.052567455186423 14.038761003181920 Si 8.042633471964200 16.035353683408808 11.970302944718206 Si 10.046542190930502 18.034751292262335 12.025696058855129 Si 9.996090828810285 16.065892213313962 14.003609500382652 Si 8.050923314660947 18.078628814540391 14.066411522927028 Si 12.053465092168562 16.088741125751383 12.065734293122285 Si 14.008308125010705 18.052429160147248 12.024032152291571 Si 14.074036883380186 16.037020981904842 14.004903804575411 Si 12.015106092139270 18.089687207952881 14.005807514578358 Si 16.069773881670095 16.050238315612351 11.999989929657470 Si 18.017395049431837 18.078009859513831 12.019679835228031 Si 18.073823795857709 16.084192877121620 14.051556798808029 Si 16.065951740005350 18.074324652763860 14.002950274908459 Si 0.028041819536950 0.012405043716335 16.087551448672968 Si 2.005812725792239 2.034641620672230 16.054369090537573 Si 1.960814568133518 0.036225822621567 18.039140836788988 Si 0.025162728000242 2.031534387917482 18.057079502256574 Si 4.003412546936455 0.059426451298167 16.037056901870287 Si 6.038687963879653 1.968418527387686 16.075344205419146 Si 5.987520024785513 0.002018249861350 18.089053906994149 Si 3.997723756610375 2.003290273384865 18.094554729479729 Si 8.069193368728373 0.040450076245928 16.040526166593949 Si 9.994341620656840 2.043373797468206 16.039434149196509 Si 10.062567314776125 0.029183920243502 18.028369753233267 Si 8.012009069765172 2.038385945875211 18.020515113361167 Si 12.055041159062879 0.029787876110989 16.072247527546367 Si 14.038533733246865 2.042623173525060 16.022816791134129 Si 13.980889356013959 0.001801018660424 18.085936291903895 Si 12.023261272093475 1.991727165314171 18.033004516164262 Si 16.059011050539986 0.040539861433003 16.044613783219237 Si 18.020459113500699 1.983970570920853 16.040814327703242 Si 18.058800096438997 0.033878404951448 18.071116336585256 Si 16.081183678349799 2.039573381897539 18.090044122068459 Si 0.024412354359729 3.982068258948033 16.024536982636757 Si 2.046093310105968 6.043365931792020 16.100390264585403 Si 2.015701322796891 4.031275898447954 18.055675495868389 Si 0.005900577568257 6.043547019137298 18.084820637975653 Si 4.050442621234883 4.050420676764970 16.061273681551903 Si 6.034121805897827 6.012570384023060 16.087197303284004 Si 6.056521051690813 4.004915290147192 18.074835249795903 Si 4.009728612075147 6.037766717411745 18.043157978590493 Si 8.019770938775421 3.999394923962904 16.077977794291609 Si 10.004244041765308 6.048803630119854 16.032748284503867 Si 10.058102039654223 3.973710672526710 18.055815270197282 Si 8.025194995305435 6.057379743070070 18.067764690281020 Si 12.071389499111479 3.998323432644417 16.053845028646613 Si 14.048100727500161 5.987377787430980 16.013360027080420 Si 14.015626434902808 4.005734550805052 18.025727378611453 Si 12.076009621654640 5.991976993327915 18.081513781290628 Si 16.054471982909270 4.010794985042550 16.083738415148954 Si 18.090487153573232 6.058492239509569 16.025703164853049 Si 18.025922148888892 4.009085458958948 18.019615631620500 Si 16.048027732432502 6.080205216816065 18.067337205839511 Si 0.005797988644632 7.961938404999690 16.021852251050205 Si 1.985909179085701 10.025706021642833 16.017320260032509 Si 1.975314433268479 7.984678371194970 18.008797578818104 Si 0.021542939975944 10.034581247229895 18.038944334096030 Si 4.023852108880804 8.013278540832678 16.075239440171821 Si 6.016297554225350 10.034211060462626 16.067517791636110 Si 5.987829052861874 7.950294946741207 18.050891569544770 Si 4.072113009439463 10.053324317982367 18.028913588695396 Si 8.045699754045422 8.065190120968886 16.064731780729321 Si 10.029803411482511 9.996901118265630 16.033557741039775 Si 10.088935599775123 8.025690454101930 18.024325335544980 Si 8.031624367591927 10.064646260788761 18.032519328996770 Si 12.049986783694917 8.063097300439660 16.045667486929531 Si 14.026269985785547 10.009802714799575 16.053767811987569 Si 14.029004256033796 8.059568712938509 18.070894997629864 Si 12.000355140005530 10.081857734457399 18.040508050096825 Si 16.010481940304274 7.991755367298293 16.037460689682135 Si 18.003758751791960 10.040543056922452 16.054658259323858 Si 18.053525022628207 8.044637513213472 18.055914527503795 Si 16.029686278510766 10.033815491879466 18.021229762281980 Si 0.013450526952679 12.075046806410354 16.088953711117664 Si 1.973795378222418 14.005050330792027 16.037824606435553 Si 2.014013179021668 11.988530770918729 18.027236529729812 Si 0.020174018521036 14.033299848813709 18.020346762016487 Si 3.992219333240507 12.008390032322911 16.062852423409336 Si 6.054318320929770 14.012509992939076 16.009808149446684 Si 6.034839221772687 12.038473737321436 18.048872500841394 Si 3.976087641785974 14.008249823890873 17.996693875331683 Si 8.008062649354107 12.075774622177747 16.071854421396399 Si 9.998575474235741 14.007105613610053 16.078360183311222 Si 10.019294366641924 11.979829470857382 18.072083043919058 Si 7.997484859162029 14.028626222698549 18.053405703692057 Si 12.021724100710358 12.023291507333349 16.078478797954126 Si 14.061871879232903 14.048208092801490 16.058553995978006 Si 14.010890610482315 12.000616308770203 18.033804172973788 Si 12.032129230576611 14.082345856030708 18.052414907675413 Si 16.047833840211315 12.016956458177370 16.065589533180269 Si 18.085892034105679 14.043174504937440 16.012532492692628 Si 18.069583793628961 12.003777486821944 18.018843004691512 Si 16.014965705091381 14.082757575815261 18.047462264081872 Si 0.046746300220501 16.035681486365931 16.050803250540365 Si 1.996358164338242 18.047547630396256 16.027671415957645 Si 1.994369509415939 16.054055064653273 18.072584616598821 Si 0.039936131326565 18.033022544073990 18.025575152418664 Si 4.022968226341358 16.067968486720659 16.075248924966974 Si 6.057577677959833 18.069803223418692 16.040749758712021 Si 6.022781136518699 16.031087171735308 18.048958474048980 Si 4.025606663954567 18.076910949273643 18.088753563382610 Si 8.006715651034089 16.013778212858604 16.049389332713641 Si 9.988452948450407 18.078888714961749 16.080971080365337 Si 10.028551042432403 16.074171027461372 18.058593348179926 Si 8.001603320879505 18.069019565770148 18.020250630776701 Si 11.990304435314792 16.025077850414021 16.058081976561628 Si 14.044222615043912 18.062506894649811 16.026068546711272 Si 14.014059850178207 16.079384876552083 18.031996478517321 Si 12.040815597601972 18.038267582821355 18.031662860438672 Si 16.065796227126267 16.046176099991570 16.061874961451341 Si 18.053606528916628 18.061257525928202 16.077083150684416 Si 18.085266099504974 16.039182136385115 18.024097758477584 Si 16.057161287210697 18.035344836840480 18.085186588669625