500 Si 0.034687096015457 0.015972758968277 0.022347744640606 Si 2.013990309957602 1.999109882488377 0.034478438967955 Si 2.033740312117008 0.029394994605159 2.010991804893369 Si 0.031540024365567 1.971713963088623 1.981776410732860 Si 3.971247455204697 0.015219019352658 0.000726173952450 Si 6.018793500324562 2.043978575932901 0.016454418168808 Si 6.044280488201538 0.024273847459340 2.001443055926678 Si 3.997533117793793 1.974137586607883 2.044096838500820 Si 8.006635775204742 0.024316941809838 0.023524110262369 Si 10.054620984659477 1.978974904176553 0.038186487529433 Si 10.018306701021798 0.026048413850463 1.986223061442018 Si 8.006587061223412 1.973248279958600 2.031212547434680 Si 12.015739251529929 0.018136833833337 0.030928136481450 Si 14.035311977228423 2.043557741274963 0.009717685271603 Si 14.037931851515618 0.032260493769232 1.981810320175484 Si 12.014070472650801 2.012323243895646 2.013672533527430 Si 16.021579266945942 0.015111004146305 0.035009200624317 Si 18.090111880084550 1.966596421350023 0.031029292540571 Si 18.085569983326895 0.026588300409748 2.012924366541731 Si 16.052684520396028 2.017388711246888 1.996028373470456 Si 0.002929756718114 4.004418793991101 0.026683028395691 Si 1.989793221593547 6.020923798635805 0.057381013969315 Si 1.980594755991026 3.969235192303366 2.046250447375762 Si 0.035947281602935 6.022833425854654 1.968637768352798 Si 4.034641373620386 3.956710794896837 0.007923005835767 Si 6.039913800959383 6.046889045216450 0.028233352364749 Si 6.012718258917499 4.022830573151887 2.046208231714624 Si 4.018926649644981 6.038893467108943 2.031003591556519 Si 8.039277876382219 4.021421908153759 0.034748556224495 Si 9.979208965198175 5.994601019358377 0.025802681826118 Si 9.999694866412185 4.031985011450797 2.018648964362451 Si 8.015664574149456 6.071992766337714 2.012311801582487 Si 12.070299591743908 4.037549352772052 0.026103110974015 Si 13.989810207043032 5.975633881653308 0.000301001838230 Si 14.050182975981137 4.045522881935521 2.046224471539436 Si 12.007826695924335 5.997438012247493 2.004880997082916 Si 16.012027894735212 4.012667022237805 0.001511279908938 Si 18.091678688139577 5.971061899755170 0.003101708157565 Si 18.074991422143281 4.073863192280143 2.032072241125025 Si 16.066734584343642 5.998064838005457 1.976135067896819 Si 0.037084945483794 8.005954007943906 0.023230768395939 Si 2.027706138931614 10.104999623154519 0.016443451697366 Si 2.022189329088842 8.036133414945464 2.032696677624450 Si 0.024586212027763 10.025706889108484 1.988950973770623 Si 3.998124930667465 8.052750822090543 0.014499748077682 Si 6.067872355922034 10.005638963429810 0.026825811382517 Si 6.004253415008521 8.042248021735036 1.994272323910630 Si 4.043609839781688 10.033161771038149 1.983353349818666 Si 8.070957745359081 8.015519217043405 0.017809568341806 Si 10.080121437133819 10.052122224414187 0.032950816880088 Si 10.082431530701957 8.039721520259606 2.034143486853142 Si 8.062322371924562 10.032014301567148 2.014919235388784 Si 12.072774705487527 7.992749622445916 0.042537961162765 Si 14.036775594828688 10.022298120760555 0.048009278495776 Si 14.024816161831692 8.029501688587477 2.027734674846316 Si 12.021442554588795 10.021965336282072 1.990892764077996 Si 16.011256215220605 8.022192929484474 0.069716479420902 Si 18.044544495747907 10.013029044173827 0.028978587493510 Si 18.078695857443048 8.058599094428205 1.976720075772163 Si 16.054436387626019 10.047520830986318 2.036268459350415 Si 0.033434660145716 12.027108404859678 0.022243388361091 Si 1.973894704710046 14.025511685057095 0.022027066985916 Si 1.983531299642518 12.067805336863609 1.967592942228349 Si 0.034061912982949 14.021400325768068 2.042830036905572 Si 4.012655848062736 12.044667786459264 0.001644368092311 Si 5.955611283094584 14.050016448696208 0.026064283734999 Si 6.047415018410954 12.059678505241241 2.007517944248271 Si 4.039521016246022 14.083256967925193 1.999689384648975 Si 8.021648098680457 12.044474451716573 0.002246464007251 Si 10.068550085689399 14.057975762189185 0.025093890126017 Si 10.003462841629602 12.034212827867231 2.008901274161382 Si 8.005694521889872 14.031734789488670 1.986337875456880 Si 12.003341716094790 12.028952667568189 0.007360228865597 Si 14.010455285962928 14.001635304225568 0.010310884934133 Si 14.033308015409418 12.028080002959937 1.984187854047573 Si 12.089412767033904 14.056510925658786 1.990548375124582 Si 16.013002711013353 12.009799225196879 0.030649033265653 Si 18.018786665046608 14.045698295927846 0.009444856007518 Si 18.072815439019504 11.975545069559278 1.980978991083196 Si 16.054844766866662 14.045564614354944 2.029776752461686 Si 0.008854856817821 16.049411887688006 0.007089715236181 Si 2.004826386013682 18.043750110495935 0.010646474618405 Si 1.979888449685750 16.064212004382291 1.995477255450971 Si 0.039779638216979 18.040845533219827 1.984511566377734 Si 4.009991237722952 16.033174975703165 0.047849344083716 Si 6.009002378109667 18.069633169676482 0.012982652699943 Si 6.041860164841923 16.032279428965960 2.032598379392880 Si 3.972977198938980 17.998936153774629 1.977520762954907 Si 8.052697198686340 16.046029974575347 0.039846096845180 Si 10.017843975887162 18.088748594126663 0.019031476082533 Si 10.026416905685833 16.019403296252747 1.980243830359859 Si 8.063206272994423 18.048241380680825 2.010789728875684 Si 12.023519881766834 16.051333169753747 0.034310796731913 Si 13.995791199776052 18.075873470505378 0.022635591765082 Si 14.079180022765426 16.040654827161635 1.997530568705882 Si 12.073429214502763 18.034563740569926 1.968428238508785 Si 16.018940597821270 16.035662171584512 0.008220491732906 Si 18.078265879472760 18.084183600453251 0.026931787332061 Si 18.053118355079995 16.079716738403697 1.995890839674999 Si 16.075820192773449 18.091891496653542 1.994527750959276 Si 0.037867082148117 0.015995689495344 3.974007278995855 Si 1.968695530144414 2.007649427832836 4.044160107308790 Si 1.994042933424097 0.026460720518538 6.053616794755466 Si 0.011186297451616 2.027183894645447 6.004530814860420 Si 3.977730367503507 0.053967286527977 4.038685321096300 Si 6.044958424461787 2.004893841491940 4.005622719532414 Si 6.053926312638887 0.011810417066801 6.068980945137230 Si 4.006220859956771 1.998557733247584 5.974961412593657 Si 8.058035473658519 0.019227040374586 4.064878926374297 Si 9.992223927315388 1.955071945835990 3.997514879216240 Si 10.057835102427161 0.025735293331640 5.992648152306183 Si 8.000189972581673 2.002081752526281 6.008844356108068 Si 12.011883565568683 0.032116170843097 4.050390049679065 Si 14.032878998199408 2.025681433528229 4.009308056415857 Si 14.041238409233571 0.049236238562040 6.053497897664062 Si 12.040312383575854 2.014043994647785 5.961753074181624 Si 16.077577692496497 0.002818734397886 4.073676139467606 Si 18.034783853899075 2.004142187354061 4.004500270610389 Si 18.036414164671374 0.000133325544778 6.045303790875610 Si 16.017940845299083 1.968756291986734 6.080566857474775 Si 0.011113417128664 4.000660174379513 4.014891162520105 Si 2.009940575853754 6.041216466198639 4.019761881489419 Si 1.980211299839151 4.030517796856389 6.006711407806812 Si 0.033009965519941 6.041341903507496 6.024020070581133 Si 4.022929175597640 4.045688737358233 4.035669499971033 Si 5.993857752732616 6.003015995519992 3.972829473004586 Si 6.018637528814741 4.000924689980664 6.054384838872686 Si 3.994201001623208 5.979201734322876 6.029146768223192 Si 8.002437819399072 3.989617266825177 3.980478400455317 Si 10.016867064384099 5.964874820913940 3.986511408360853 Si 10.037510656718725 4.041399439173388 6.057849839504723 Si 8.053916646948684 5.998801148690581 6.041469761821501 Si 12.010681361125824 3.991042365597957 3.994854473738434 Si 14.052644288871107 6.052932056097818 4.050649078050461 Si 14.068296545443784 4.022162386658816 5.990835939464144 Si 12.032712030209138 6.000323664582554 6.044205270253129 Si 16.054376825876584 4.040911511067781 4.024084515028873 Si 18.054400061028893 6.012068695734633 3.936586305070266 Si 18.029030344120780 3.991959613256165 6.044728769953325 Si 16.039527046013244 6.050183013352322 5.991328998583883 Si 0.000409436497340 7.996146209693147 3.997590722439334 Si 1.985991275598979 10.043977834907388 4.036267831096097 Si 2.012737679871179 8.012581482818332 5.989538549171026 Si 0.037348812590273 10.051294505605190 5.995323557496766 Si 3.990347165870594 7.987824010291592 4.024344690634142 Si 6.037732099010099 10.064558349379707 4.032062117792869 Si 6.031257727531023 8.013890894543408 6.025217675605556 Si 3.978096026913761 10.039025204672493 5.981249562019958 Si 8.030487193804033 7.987524898287542 4.023643958288297 Si 10.039093460956835 9.999228182243648 3.973059045066900 Si 10.048852453928461 8.036929887088766 6.040237581108784 Si 7.986695227447030 9.994761407475652 6.031856304875332 Si 11.998555383110965 8.062726819074859 4.039646648843697 Si 14.107688816224671 10.016492912693243 3.982814129893984 Si 14.037081557968595 7.971068671710760 6.001382386987562 Si 12.076180743514678 10.045945839168775 6.028977546873229 Si 16.056724502126293 7.997854020080747 4.066926525348600 Si 18.083719518892444 10.071345500396164 3.975256009083539 Si 18.088534135417831 8.026309121684067 5.973094418667473 Si 16.029448654350244 10.069923634030763 6.062185787833227 Si 0.007788769752540 12.001024895839524 4.050960330428373 Si 1.983634929167827 14.070666279865687 3.990251429188992 Si 1.983712043295875 12.007364201341444 5.967448314900760 Si 0.028479899712426 14.100665774931217 6.040734073338845 Si 3.990283139508951 12.063994471291062 4.040079978561288 Si 6.005299982566667 14.020159310734771 4.060945186956778 Si 6.032441231486554 12.026528449460473 6.017564245138462 Si 3.986014871787178 14.056945707971220 6.051644270600886 Si 8.028291207832341 12.052207462844908 3.991940330620913 Si 9.991116797776741 14.082624499912345 4.022403951979916 Si 10.045863237546694 12.021806278488187 6.032444227792805 Si 7.991640384299851 13.987691083512757 5.995960574083701 Si 12.039393544718420 12.064279334780977 4.050885551807135 Si 14.067688195337659 14.034989654733122 4.044684272630863 Si 14.025208036351959 12.062778480785729 6.026283078541544 Si 12.033509954261778 14.054841714698817 6.052502833766476 Si 16.060220401578583 12.049384093507340 4.025786993442619 Si 18.087105262414113 14.049214957117711 4.048163701976592 Si 18.073893500325969 12.018460721039011 5.980145399050276 Si 16.044839526948543 14.067631601816370 6.016320956430042 Si 0.032156342732837 16.059158712064594 3.973435108440283 Si 1.985760596869449 18.045240334237427 3.982048977317610 Si 2.041763434317144 16.059555412723320 5.985224529532619 Si 0.006517246366606 18.051772588334046 5.998323191990844 Si 3.982944800182478 16.028176796168673 4.029941440952742 Si 6.025725080131884 18.092285146916566 4.050295183563930 Si 6.015965532335998 16.024218533738939 6.037481958478168 Si 3.987939463438589 18.032570708713596 6.048425606620594 Si 8.021919321141093 16.050953822884725 3.988508041831593 Si 10.044835770973982 18.034046514120881 4.047376856795899 Si 10.050454610147543 16.054421407934580 5.989411733070613 Si 8.048328064917776 18.050136758631197 6.012875062795825 Si 12.075498194280128 16.044680258900179 4.007534921563691 Si 14.055138943419022 18.033190319812316 4.019586613395745 Si 14.072681528116872 16.055176744413959 6.001139640969879 Si 12.049719566061658 18.019340730559364 6.015010374825198 Si 16.075733068178373 16.086871384027333 4.052117730202144 Si 18.083251012748978 18.058584280758090 4.046208356755435 Si 18.031918033307480 16.040867832190472 6.051180397673676 Si 16.015800683547340 18.030920967695277 6.043083890494731 Si 0.017115641780224 0.012556396180173 8.092827192155015 Si 2.004414974424840 1.998039373314297 8.063838426087107 Si 1.967118985760565 0.039567602287170 9.995715215271986 Si 0.029788113766161 1.984459147819160 10.088068542393277 Si 4.067972518249142 0.031112019870841 8.049838494626623 Si 6.024942039204920 2.034047297717824 8.002826735390087 Si 6.018905763895884 0.028440296089966 9.992694446163176 Si 4.034033345904654 1.995151504717339 10.015327851209666 Si 8.031257724346091 0.016277119224228 8.004329758601571 Si 10.043104110559304 2.021020949612033 7.996655279472442 Si 10.018303941499747 0.001298055470905 10.040588720999768 Si 8.035884792904589 1.969664454925498 10.075268528242697 Si 11.992218003005346 0.003789024602879 7.989004488949310 Si 14.000278786789631 2.041681299652392 8.061054130043496 Si 14.075084738841451 0.005969875701517 9.985220615333157 Si 12.041376556219772 2.024219172688271 10.065995369708970 Si 16.074424959640609 0.027578595002699 8.064531165967443 Si 18.093140937411565 1.998586586439067 8.028843680599808 Si 18.051719960162284 0.000200166284049 10.014732721681574 Si 16.051209607806637 1.985655554219477 10.045282057561433 Si 0.019854706744656 4.006566755572967 7.999043533821428 Si 1.970743463262851 5.960982734731475 8.059279485942978 Si 2.043699832050245 4.042130316668882 10.054272808602374 Si 0.028845518247773 6.051397612804474 10.087098320294269 Si 4.025107061742037 3.979679236968904 8.011300013788635 Si 6.002877811734658 6.047117238945830 8.046618795844440 Si 6.013261629061175 3.935476172068464 10.067665438118638 Si 3.981732508115035 6.043915758352420 10.058374755426673 Si 8.067728326689418 4.046843740302916 7.999649300861835 Si 10.049327476055661 6.003110775866713 8.005916797723645 Si 10.067427260283118 4.050446014271338 10.058167013057147 Si 8.010011145229059 6.047482123734875 10.048310574140642 Si 12.006491154466229 3.953429043601248 8.044537374590115 Si 14.077932742733491 5.987566875776906 7.992981508818562 Si 14.015258417434394 4.015133202183237 10.032359162480393 Si 12.019918083847486 5.989363452091915 10.029268687176410 Si 16.075941342153222 4.023818007819882 8.009521740983077 Si 18.026463135712671 6.024568526433950 8.065655445308098 Si 18.034842438156772 3.997018247798406 10.062611810971633 Si 16.046787506137239 5.983877358965236 10.012547208558848 Si 0.034586232276167 8.047314099063581 8.027113275123810 Si 2.027794390787875 9.998264018099862 7.991034726606260 Si 2.025537779066181 8.017608976668077 9.992621765635382 Si 0.017878938820270 10.042344453956991 10.015333532914081 Si 4.017561265619560 8.002612374878229 8.063795924099546 Si 6.017849503971231 10.049405224881202 8.035235937659321 Si 6.019707680054750 7.988783715656585 10.006417487007333 Si 4.016504071606978 10.055491879589439 10.061753696539791 Si 7.995710033949427 8.055943278328991 8.059380247311548 Si 10.001220701717777 10.041127555994873 8.026767576459971 Si 10.050811026954026 8.064123184037436 10.007712971765203 Si 8.049838825291468 10.059051732257050 10.017252427210764 Si 11.999206899037871 8.025962089092857 7.992637963363793 Si 14.003602748811634 10.026666828029139 7.986577101988129 Si 14.017308784791375 8.033629359859617 10.063927165457295 Si 12.023608329428081 10.009578120813892 10.043400777622240 Si 16.069619310850420 8.024470117163876 8.047805176528495 Si 18.076444661190319 10.042545302194553 8.054167074134590 Si 18.084676020414509 7.974019202331845 10.009142697253596 Si 16.021789849427513 9.978995697941766 10.071142524502498 Si 0.013074270128170 11.973329738203537 8.014914104233235 Si 1.992566321914039 14.009538509834902 8.025826600473984 Si 1.996345120117645 12.026787849402115 10.025115438328125 Si 0.031722157690430 14.034015684434323 10.000319181124212 Si 4.015112300326359 12.073627109492842 8.028730295852700 Si 5.982296605831031 14.058766535194131 8.020680206091075 Si 6.047456991051956 12.002721753908933 10.066252266415141 Si 3.988896750340639 14.066927061076624 10.065655706092892 Si 8.023241936047013 12.046120137143170 8.040876491310524 Si 10.068820213532410 14.016831123457891 8.046981769435348 Si 10.007993048757932 12.059586205772424 10.041885094314464 Si 8.050629220209489 14.033162271605164 10.047568988322203 Si 12.067877000180790 12.042548083550175 8.011591661192362 Si 14.027483296143545 14.051453660667621 8.053123407896743 Si 14.009213107472078 12.012360987892437 10.053955157794748 Si 12.013519076568885 14.013491424049578 10.038848370194254 Si 16.025218226811869 12.052928929531042 8.035763161847850 Si 18.001507651899455 13.986944831511794 8.074883957154732 Si 18.047141180565426 12.015201742031412 10.033096401524254 Si 16.014969153760244 14.064235810196754 10.053994493166762 Si 0.016023958679156 16.049666320374687 8.022575970161446 Si 2.044430207918835 18.045675456377715 8.067345820536188 Si 2.037331761843809 16.037851503632858 10.068546439959587 Si 0.007946535416893 18.076330283904280 10.030762449019095 Si 4.035843836312599 16.013521532950932 8.022213891034015 Si 6.033574711579550 18.044768826635462 7.984313581877060 Si 6.062443425655367 16.081663407793307 10.055138504588850 Si 4.048492099220957 18.045838943819131 10.012676173926600 Si 7.989439945506127 16.026540920124017 8.012132041401369 Si 10.043566002553364 18.025245061025849 8.047588359912773 Si 10.021576911095558 16.058111109954243 9.973603280844772 Si 7.987744493465942 18.047757113770722 10.008482194448137 Si 12.023427849415299 16.077693677073750 8.044003183751760 Si 14.078066723225076 18.062213240881068 8.013840726455616 Si 13.997710378834370 16.054996018845586 10.055885081734530 Si 11.986453427427907 18.022875607396074 10.006503826137868 Si 16.047959039656703 16.057678638970046 8.011023581806894 Si 18.038691295194234 18.093086229028945 8.051279106963818 Si 18.086680994890969 16.087723401360556 9.999570734345960 Si 16.015082557766284 18.010986789584429 10.041527661187368 Si 0.014412605033109 0.025064826652047 12.010016239447703 Si 2.023483974654281 2.035384017386307 12.037053179118642 Si 2.039006382183429 0.036767276207747 14.000612988143619 Si 0.026298795169851 1.968279483517342 14.051898515383327 Si 4.020022125004202 0.026378341836209 12.063868919818956 Si 5.980156329554156 2.027685158486068 12.003515789416106 Si 6.014742581540705 0.031241210885140 14.019111832109710 Si 4.045081717799241 1.979657645383482 14.019056474202769 Si 8.046161191963240 0.015320179017662 12.067943081433411 Si 10.062345442268180 2.005190007444648 12.090483870507203 Si 10.019024719096768 0.033977693553194 14.093264611065464 Si 8.049747918698742 1.983789324206360 14.055745212053582 Si 12.097168074686877 0.033129317097801 12.066375446847086 Si 14.067210945977113 2.032059816090002 12.025646786490308 Si 14.076821895853660 0.035372982419811 14.075085020628066 Si 12.044708021744880 2.040933620788230 14.053006645088901 Si 16.046172118926666 0.019165177628464 11.993439919022419 Si 18.008016919726256 2.011889272487729 12.058952556105215 Si 18.075037528589480 0.012007811668118 14.019014109403301 Si 16.023062823223164 1.975963949520942 14.014782811358829 Si 0.003200971639996 4.030236290858000 12.054520445438833 Si 1.998889692556604 6.083318832571440 12.030676786853673 Si 1.991139359017551 3.991753682750982 14.001642590430599 Si 0.035832729712945 5.998684016874449 14.032017315705399 Si 4.007276664069915 4.067152300940964 12.069330146102050 Si 6.025526286446742 6.002577671762268 12.010563077665953 Si 6.058329308276955 3.956458241271752 14.053404341389879 Si 4.044152005079388 6.022733195914793 14.004827952837410 Si 7.997990151464550 4.033444855816106 11.989295346540828 Si 9.962336007966293 5.984485726443569 12.064839455553301 Si 10.064029207567067 4.052242129247698 14.053426841031200 Si 7.983086914696156 6.025323990652542 14.009612603736128 Si 12.083084404991030 3.993789240418847 12.034394949844220 Si 14.023554066869444 5.990848872146182 12.040729811162123 Si 14.048873317632085 4.036046738455338 14.031795928336862 Si 12.016315207609788 6.032595703478598 14.000761821260188 Si 16.033432996064548 4.013817434995559 12.014479490226341 Si 18.093049581561264 6.007169280597045 12.004024591567163 Si 18.095649554379349 4.038090376624922 14.040591945413530 Si 16.057721737505155 5.982473057803234 14.057533869895046 Si 0.052902835444127 8.040464103811598 12.066381231511206 Si 2.026755724942310 10.062030160945536 12.015573675503042 Si 2.044806965357357 7.998653453515546 14.073796704507277 Si 0.011536287563702 10.069936470831047 14.066240682205056 Si 4.018338079983987 7.996708741786129 12.048008894650225 Si 6.041085704419573 10.037199907659897 12.060841012058043 Si 6.044966344353282 8.011697414978929 14.074218882036657 Si 4.031941408106562 9.995598533501532 14.051950935062909 Si 8.043256532762397 8.072721504842143 11.984435159927598 Si 10.048651853337194 10.062637610809222 12.036204142641559 Si 10.084215656268444 8.026837836974568 14.057479291380229 Si 7.988418068171371 10.025097018962544 13.987279570174913 Si 12.032333272465495 8.004673323075199 12.000946833439549 Si 14.040104210091993 10.022383471841090 12.040439855103083 Si 14.043595522506845 8.054000213330614 14.017573972823110 Si 12.019757137820516 10.038794984469069 14.080623767062308 Si 16.017665937007656 8.063701033450007 12.063920887003901 Si 18.084245648611162 10.084288851727880 12.041256669362570 Si 18.021084499006268 8.019418016282849 14.079576264936202 Si 16.010615049733381 10.010748574977448 14.081237544506973 Si 0.031540543811587 12.055175607620230 12.030005140745406 Si 2.044733466851567 14.049039349096400 12.018501584931593 Si 2.038932043086446 12.060070960584149 14.073449487848235 Si 0.002400139875718 14.073387705588416 13.997925494837217 Si 3.996678083420850 12.025918438234026 12.035062432906734 Si 6.058343723131204 14.016463539164628 12.029063073060255 Si 6.043460047275784 12.009066879824418 14.085823987785282 Si 4.034240289326950 14.021476946526828 14.061117406494182 Si 8.027847779522967 12.074684603569349 12.052877872153395 Si 10.000019086168319 14.034505471858903 12.050980677522761 Si 10.064509180926594 12.004552497522353 14.067176516394722 Si 8.060471913296876 14.021152523285069 14.039763277525072 Si 12.041942732521164 12.020886816215189 11.969901444091612 Si 14.057278917219403 14.003591316028617 12.026940987095264 Si 14.010512572421037 12.004591732394630 14.038796736082261 Si 12.016854879107171 14.006271678266861 14.077385217143082 Si 16.079935840759461 12.051170784728892 11.980413581324163 Si 18.017971148783737 14.009537680931601 11.990412061417381 Si 18.037950456292986 12.070457172128311 14.012954484898424 Si 16.055753119560009 13.993585252277930 14.062469443458662 Si 0.027052852190128 16.086315051727585 12.063453676862631 Si 2.041606747418796 18.060739273771372 12.022336744692172 Si 1.970234695610316 16.020318111181588 14.054907677110531 Si 0.025119272605028 18.065259518183915 14.045335910547891 Si 4.038085733579397 16.061283092956657 12.066526039541774 Si 6.042464915348259 18.033523174893006 12.002119747330402 Si 6.015307066273494 16.060674149366829 14.069154437295865 Si 4.011964359129882 18.018793379020607 14.017501949755063 Si 8.058753507954702 16.040275773348402 12.044485884601704 Si 10.033689900755775 18.072956766981541 12.002712633354411 Si 10.037850639542514 16.042487912007996 14.082669063754427 Si 7.999426221110279 18.077126355395762 14.078907932351440 Si 11.999029361373006 16.081218459203612 12.018986687044768 Si 14.030760743494032 18.035088639413608 12.053802382600789 Si 14.012171016511713 16.083290134128472 14.066314748952705 Si 12.067782186201134 18.042192228548181 14.078050815888266 Si 16.088151244085676 16.022361190851701 12.012197958278245 Si 18.060978315796916 18.024279094768143 12.037059361541926 Si 18.066659033327447 16.019877007719021 14.071245799316824 Si 16.049725757907062 18.073746570685323 14.015041733146134 Si 0.037514283181183 0.038281961631877 16.062332833987007 Si 2.013555589859443 1.993991257975871 16.057573074620382 Si 1.992083964339629 0.037181062303549 18.092423253240018 Si 0.038647429527117 2.009145387572401 18.086300844157687 Si 3.982834698042674 0.027109845029774 16.036872499184636 Si 5.987859738080622 2.045161181900421 16.072697852000086 Si 6.058343685431394 0.020912543257413 18.036038483495371 Si 4.042778445180873 1.988681828097351 18.091521222647533 Si 8.062741240845128 0.010807915243699 16.030564819412472 Si 10.042263139931743 2.009423850887900 16.066661753638620 Si 10.050166336843180 0.039064012551636 18.090510351856963 Si 8.012053690587130 1.986495624394987 18.070955815922762 Si 12.067009087537922 0.064404552331214 16.087672299064305 Si 14.071929848114685 2.027002237647748 16.070374135482094 Si 14.005981741432160 0.030586260878079 18.046090489489167 Si 11.979182824209706 2.045326066055251 18.051842180131164 Si 16.085376815196739 0.037014657693581 16.023067980714934 Si 18.063245083985144 1.988753929401156 16.055063578588392 Si 18.033841010228638 0.030357498752099 18.015679169187070 Si 16.070682560857826 2.002221071619471 18.039262908448375 Si 0.039649440068097 4.022425178780730 16.019847870262822 Si 1.993322468183345 5.987736711146416 16.045097368590170 Si 2.001725694353328 3.962667073405817 18.080472489844265 Si 0.038066878247187 6.021631695086726 18.016969919065673 Si 4.023103558082841 4.001726911480852 16.085209532834416 Si 6.024520481876388 6.022938412772021 16.060026710378459 Si 6.073409749493265 4.031045147374611 18.049141400057543 Si 4.019252944699323 6.019519570904764 17.994296135518365 Si 8.062174052830789 4.032935436497182 16.021696921977753 Si 10.070590218101662 5.985552027586406 16.035216004729445 Si 10.057307689142602 4.031297999163735 18.041899572679917 Si 8.088063220390737 6.053218323412143 18.020413163349843 Si 11.998853094453279 4.086993047536430 16.048600271088407 Si 14.086508745943901 5.976830974606912 16.009540716236881 Si 14.068090742754249 3.963477308392797 18.071649542465000 Si 12.051122022187508 6.016109002537629 18.042022773587849 Si 16.073393910729106 3.992043873910224 16.069156334899233 Si 18.020015734618465 6.014117419172762 16.082890919113218 Si 18.038078577740805 3.991837408196055 18.046943035201160 Si 16.022234942353396 6.008431533926469 18.077462270813427 Si 0.016331659247323 8.023736298084792 16.044469376977965 Si 1.994331646887510 10.048018506363114 16.082705178506671 Si 2.023145684370353 7.980315283240622 18.043281077115328 Si 0.004109071633071 10.055825323519787 18.092230213282534 Si 4.021509971349741 8.034776795200857 16.042795732744853 Si 6.054095858978906 10.023173277011335 16.082344808994463 Si 6.048695987865075 8.031896171335038 18.024016346579106 Si 4.006773340706205 10.017116774485681 18.052973368475961 Si 8.059903109964891 7.975940973621967 16.013773386445436 Si 10.025907634801561 10.050216864033594 16.039526901162169 Si 9.981332766746064 8.070883150840789 18.025104450841692 Si 8.003440912306493 10.043317744974370 18.017834651515830 Si 12.069276480151972 8.054580897152679 16.061630458483201 Si 14.091197703117068 10.043807475036504 16.046531199384820 Si 14.018303428818417 8.007055329566652 18.036342721439489 Si 12.101198745274878 10.053385210973541 18.016317325411606 Si 16.050095423914193 8.028475704071351 16.075358429622536 Si 18.016342413444544 10.049260757673935 16.053514614589140 Si 18.083423184889401 8.017859264683723 18.021130531041365 Si 16.042996950693489 10.015115190366666 18.092031960303736 Si 0.026354046552393 12.010127769972520 16.074802126560289 Si 2.014545670298277 14.003944680428136 16.035253449629703 Si 1.967091571270878 12.001898932550025 18.041640179124652 Si 0.025321071818479 13.984775097866118 18.070292886887508 Si 4.005101955646396 11.988136983475568 16.066498699316288 Si 6.024729715068600 14.063377365726668 16.012455505762421 Si 6.019844374484451 12.101884937132608 18.068729881668968 Si 4.001034319149885 14.057389950073036 18.058801122674108 Si 8.060728935622050 11.997407462122130 16.025698843955180 Si 10.059751021775599 14.043714398256755 16.052596126855352 Si 9.991469278231524 12.029396344231543 18.061083888084873 Si 8.049282203446783 13.984726740774788 18.026482895165255 Si 12.003017628264480 12.006537800384580 16.034377400447983 Si 13.978277647595943 14.076477845130402 16.019052739876134 Si 14.032718002987055 12.011721187962523 18.027526329242090 Si 12.035444578259975 14.045581417095345 18.069430504942460 Si 16.059484832614523 12.096239801809787 16.079671606535015 Si 18.019408135878241 14.073310883223265 16.087825831962380 Si 18.073111037008250 12.034713851376658 18.015932743330705 Si 16.048874075826546 14.085455548667083 18.033618388393581 Si 0.004157058968250 16.039810478407709 16.061163224839060 Si 1.978085726839197 18.076953218697390 16.064362727761701 Si 2.043550138613340 16.040934022727367 18.068347437677104 Si 0.017945454325437 18.059374803023751 18.043073679676262 Si 3.995791356620459 16.020213936860337 16.084645571818466 Si 6.026113352006913 18.089124670212424 16.027720865963428 Si 6.025431058094375 16.050444688427525 18.083439874144563 Si 4.029902862128719 18.066222380402582 18.025657308936250 Si 7.987460745623856 16.055845394518123 16.068741705237667 Si 10.007661167559924 18.008131758061985 16.079567026111988 Si 10.006391895306336 16.043956665316173 18.074032029777648 Si 8.034028606202021 18.078190290355316 18.053993690329239 Si 12.064527399429656 16.077888621151519 16.016224075591740 Si 14.025678990048757 18.087896981441428 16.043965538608376 Si 14.052481498961294 16.019577327141626 18.050592765608645 Si 12.087413981280557 18.092528134555213 18.027772822348535 Si 16.078318804490465 16.009367041766414 16.019740452011437 Si 18.018676922981470 18.022566080350689 16.016185286537006 Si 18.067802652652663 16.052046762085915 18.043457621571942 Si 16.054786495848273 18.062672327879561 18.048510057585474