500 Si 0.003335580043901 0.006463114586528 0.007293792261331 Si 1.985300601926852 1.999505717485444 0.015161240339584 Si 2.019099135429326 0.005720937615242 1.972837218851125 Si 0.001421597769817 2.042009231429131 1.995231398227263 Si 4.035967602135825 0.006436339565006 0.038724936864139 Si 5.960103894743597 2.022601626388398 0.035834718670979 Si 6.035887804148746 0.044475753102615 2.002363051408051 Si 3.978699493282650 1.988902065005952 2.019239487888676 Si 8.019389974559086 0.035968479134326 0.036376948431228 Si 10.016097342989449 2.003251183610383 0.046662844361835 Si 10.032542959772551 0.025838512677071 1.978220638912734 Si 8.018409424336935 2.006519377303698 2.028590398431476 Si 12.017573417335013 0.009817432171816 0.035280862617854 Si 13.980925094915706 2.015476096183105 0.021839682879750 Si 14.051362451276475 0.010949440203307 1.990058122779342 Si 11.997853179908006 1.985005760404798 2.038024649322441 Si 16.053355172605084 0.019274981286147 0.008120883491232 Si 18.024987232647863 2.039118044015801 0.023063842549647 Si 18.043084045092694 0.023001982573521 2.001111067899844 Si 16.074122252657457 2.046249733669672 1.994452917331762 Si 0.027667307042444 4.010163416934607 0.006069599117778 Si 2.031052938899530 5.989527928092165 0.015278225376092 Si 2.036307438009608 4.052127504831676 2.019726528720244 Si 0.002329342175513 5.990116608474132 2.000280382836914 Si 3.992238211827398 4.027587844052197 0.034600432292807 Si 6.092218028971957 5.976017400194299 0.032414833869486 Si 5.991207305584940 4.040990376702966 2.015659695740007 Si 4.000127077373737 6.025272050940226 1.980827504839361 Si 8.017640415887788 4.008643053287507 0.013395928319160 Si 10.064043369534369 6.018429697674766 0.033596169200125 Si 9.999931232242622 4.035446842220878 2.028053089253963 Si 8.021710612142833 5.988957547749682 1.982040459583700 Si 12.040264864679147 4.051944098893585 0.035406756237917 Si 14.116938140919540 5.969219338503900 0.006476774608821 Si 14.069586797469258 4.004976685366922 1.971870630450792 Si 12.031827369648745 6.032054720969319 1.967046082327582 Si 16.069555248266248 4.033848498016588 0.015811146006026 Si 18.050610490959212 6.088746275281210 0.000998354059037 Si 18.021429043798577 4.064745040746157 1.994606160143407 Si 16.032912618558075 6.013790228728679 2.004679605582112 Si 0.019302716683223 7.953245155336357 0.002435099697084 Si 2.002808109683045 9.966888145657983 0.018356136214588 Si 1.983589412451182 7.984714334429295 2.029005060094839 Si 0.035889862805172 9.978756237064431 1.991133770201175 Si 4.026333933589617 7.953372270420892 0.005058290962316 Si 5.972877586308448 10.066083062540274 0.004710749865662 Si 5.989467630124230 8.058574472952765 1.995773923204398 Si 4.015237459296942 10.036506171024987 1.974294179757540 Si 8.006609154895465 7.988824677882406 0.001858722810246 Si 9.994972234039404 10.028993636558651 0.010470676979736 Si 10.001739881385827 8.007640112058686 1.988634594378594 Si 8.007178569089570 10.052943898215265 1.982988126936691 Si 12.030631883639403 8.023959499289939 0.035701652690215 Si 14.024588151093193 9.984636381431976 0.019594008523722 Si 14.041808532406996 8.006505142635538 2.031751138856578 Si 12.003912110187889 10.011337048983073 2.012983543605228 Si 16.013747022194025 8.067320362187438 0.013244254831519 Si 18.039350195756406 10.060863007728038 0.027196605190452 Si 18.022346773298402 7.982662182249794 2.006103578475258 Si 16.069150565969171 10.054716448548179 2.020284444309350 Si 0.034116153628248 11.995977105962945 0.005114054601967 Si 1.986561685025442 14.046149280274193 0.004712325191988 Si 1.996785131723067 12.066506780954217 2.043066163460524 Si 0.032431190906997 14.108066781509908 1.990170536095123 Si 3.954156887784867 12.017129260216926 0.024558153969154 Si 6.016094531250320 14.040925199129548 0.021204880410627 Si 5.965608171263766 12.032466842525750 2.024687429111002 Si 3.991884949621314 14.015673327319025 2.003812188391715 Si 8.035755917181261 12.021481980527994 0.035449345681002 Si 10.048488678617337 14.014110168206855 0.036874330921027 Si 10.006290509313347 12.008473513067715 2.025434633631333 Si 8.004638720741021 14.058514412230421 2.037740343466020 Si 12.029821633485412 12.105521172537522 0.054821921936054 Si 14.080181047613802 14.072976822630290 0.019985254475610 Si 14.056562759475037 12.013629790136171 2.015492188105068 Si 12.070027281001780 14.077769199628504 2.030138141483162 Si 16.069690760651714 12.067111698806793 0.036522529377756 Si 18.023554885075598 14.042421727868863 0.017076661466020 Si 18.032381563846481 12.069964664104662 1.974373707776674 Si 16.084198491670360 14.015710987765122 1.985114985474380 Si 0.010572696248162 16.016105598025788 0.026349700687335 Si 1.995149828919519 18.049304233906458 0.027104769679922 Si 2.033653262835178 16.049786162456670 1.985031559396189 Si 0.010670449554181 18.061080608398346 2.016012662509459 Si 3.983747047666505 16.046033372342762 0.030227400596670 Si 6.011463375333899 18.040959287863110 0.012808106578324 Si 5.969748881091077 16.059174738641598 1.997238978050857 Si 3.982927568616246 18.053168607115254 1.990890066767810 Si 8.049130257198895 16.044271397877448 0.030277473151629 Si 10.025133385928420 18.016145538091166 0.010361634041646 Si 10.049516366194920 16.043481753951578 1.989871176483656 Si 8.068791731311620 18.092705926854979 2.002118098863695 Si 12.061053898550604 16.035288129870910 0.035259013350775 Si 14.067632867205146 18.082626090550114 0.014468482961931 Si 14.105235072950194 16.028506804172370 2.001965460934330 Si 12.016702256207569 18.076593245583151 1.989170451824327 Si 16.019875288833163 16.071676489254536 0.001622110319006 Si 18.070321776865701 18.041552131618797 0.007741790852440 Si 18.032971652144930 16.045687500775106 2.000640832331862 Si 16.046995972770226 18.017774778984439 1.981577878313206 Si 0.023752828379429 0.031039500723520 4.029010687247134 Si 2.027843223830609 2.000224353297262 3.992256969058268 Si 2.043840129627019 0.019670305679860 5.975991996684495 Si 0.036885918794918 2.014398465581088 6.033735285886961 Si 4.009386125981623 0.008155379563503 3.972613341160437 Si 5.995172350916282 2.000011697013752 3.986051935039769 Si 5.996063008116439 0.026647229036725 6.009834420900559 Si 4.017083853910981 2.033854582046384 6.035146617114846 Si 7.996712360430500 0.005034859096695 4.030422432517922 Si 10.061087174233089 2.033690366549153 3.974396229129314 Si 9.999427319008486 0.018974303178453 6.009111169961471 Si 8.042486707189653 2.030919368471669 6.007309682420134 Si 12.077185518300933 0.001744729683376 3.999735425353121 Si 14.007387423423955 1.972957124417341 3.973494421350815 Si 14.059034172165903 0.037468969420062 6.025204737857458 Si 12.057895670829126 2.045025865791421 6.058889233646957 Si 16.064119707718650 0.010320706260076 3.965983968467091 Si 18.089012919525729 1.969129107861284 3.994214429392272 Si 18.016863565903094 0.021323786625253 5.984240349576270 Si 16.037845955643494 2.024131649229819 6.053444605862946 Si 0.022082720853534 4.010745504868368 4.020557620282599 Si 1.999832952065463 5.982436213941734 4.043780943504440 Si 1.979759107171539 4.026656108203936 6.043936425036047 Si 0.029695035565526 6.024717900593927 6.011425987340123 Si 3.970490673224850 3.976244348863691 4.022255455543124 Si 5.963869840965470 6.014270963716863 4.042495557669079 Si 6.035023730308418 3.979070269783783 5.985069785115375 Si 3.988113456461212 5.968440723464980 5.987926677117829 Si 8.022747875625292 4.043665685651422 4.034866576972249 Si 10.065832511658744 6.066548730188052 3.976535838042480 Si 10.090920648962085 3.992478845428786 6.015184992755231 Si 8.002119122798319 6.005022118486344 5.994454182110276 Si 12.044215612303370 3.979187935960367 4.019745822829994 Si 14.077523830916753 6.013166483909196 3.996218590210396 Si 14.082382142083974 4.019345229874413 6.054200270651544 Si 12.077270670520441 5.987098371467290 5.994836576260867 Si 16.037147339614972 3.990742978875107 3.995721784101623 Si 18.064664967021010 6.019245996255647 4.000532692468909 Si 18.077812981921543 4.051543625088422 6.022173553246804 Si 16.011625852651147 6.036481324453634 6.068322318997208 Si 0.029966044583901 8.062939826830796 4.043820109726018 Si 1.995921313825070 10.004028100041721 4.043566006702609 Si 1.962364108777951 8.024885066105105 6.033682626118613 Si 0.026530841733695 9.993721720360419 6.003094753760596 Si 4.042350224246147 7.973732181672793 4.029471444064477 Si 6.000331195828381 10.058490482389816 4.046021963727533 Si 6.053332817061476 7.963695165653353 5.991194665443926 Si 3.997452827978770 10.025905132903556 6.024647736923175 Si 7.990208589444138 8.056003125035737 4.043480707474483 Si 10.005118335486236 9.988869933877991 3.991514325017366 Si 10.020036087776781 7.996368030856054 6.013799315157335 Si 8.004374108199418 10.003139521110755 6.093004187353252 Si 12.039976028349315 7.987619811227822 4.048795376390240 Si 14.073430855078527 10.068038589558572 3.971825468133632 Si 14.083159876188578 8.031222401051437 6.045266303061097 Si 12.033148784462851 10.068274250490191 5.967413124327900 Si 16.056633793174036 7.995140741400207 3.976501966188989 Si 18.058897035368030 10.054743757588145 3.985968318923173 Si 18.078688324545983 8.081855360457499 6.065343377526199 Si 16.047387827989617 10.036166807599125 6.053255907095259 Si 0.039519456209061 11.979256520979968 4.008511431564036 Si 1.994916185527916 14.058963763048030 3.993591790677970 Si 1.975721504182681 12.082191937282266 6.058455901710746 Si 0.000825921316559 14.008306994422416 5.968758852963960 Si 4.042940703392796 12.064162841919188 3.985104519742895 Si 6.052480738849794 14.036942813271120 3.977952510775487 Si 6.041061944356914 12.005148924157503 6.009262368453792 Si 4.022179948446326 14.049115353004293 5.963486923006887 Si 8.091860553101954 12.000754698868972 4.006465872395380 Si 10.029136557699484 14.083024719406328 4.023601333897653 Si 9.983868096040050 12.012633034353485 6.019112271261414 Si 7.996024693104101 14.049261219904553 6.048822176939704 Si 12.072048076686739 12.006379798404339 4.029676827777049 Si 14.104476627320119 14.066248906304590 4.050923433233735 Si 14.022248720104326 11.997945183737446 5.978705603828447 Si 12.066299768677968 13.980220447738887 6.043875569618090 Si 16.038457944004399 12.047579240463374 4.047760947786926 Si 18.016693549959164 13.995352112759845 3.994976460415066 Si 18.057006602098873 12.005933813952618 6.039113279649672 Si 16.046065168872293 14.023944324858761 5.994914541895845 Si 0.016773609951813 16.070219472329857 3.968053106530228 Si 2.021053200472618 18.070119118276480 3.999324807543280 Si 2.025935811505637 16.010041204602519 6.035411297691637 Si 0.023097169070731 18.051268814600647 5.986367419688256 Si 3.973484487871027 16.076447192539881 4.029587257920261 Si 6.049553188398482 18.057740586910100 3.997861323008179 Si 6.040771720946545 16.083820372626747 6.040484175047276 Si 4.034687047784506 18.032385519843341 5.989712977999939 Si 8.056941095957038 16.074362572133719 4.017655006112209 Si 10.060683265629949 18.041685001241266 4.038702282771360 Si 10.002897432920516 16.087477112523015 6.054557655842999 Si 8.002386818551228 18.016328272300726 6.028503682190214 Si 12.056456185627836 16.014070135502845 4.037769039717637 Si 14.042442077832117 18.054608717108056 4.043670984610277 Si 14.085390869893486 16.040995737392919 6.011436639783572 Si 12.037894167250586 18.020151489652733 5.998600024186696 Si 16.065440131011552 16.028439577619171 3.988165291039168 Si 18.091745082612629 18.048036518548209 3.990080880817924 Si 18.029769893477077 16.078809035656427 5.980801482426024 Si 16.036836823501798 18.057200622370431 6.019020400386006 Si 0.008319281116296 0.024923243758398 8.044525891741534 Si 2.024293557804278 1.972402678802630 8.002545702587689 Si 1.974760317771742 0.022947024941354 10.085534121391682 Si 0.005062839454387 2.034128934377377 9.999644981351457 Si 4.049877375601315 0.028262606128711 7.988866633968141 Si 6.030531726878374 2.026205049755056 8.005041823484625 Si 6.037476525364522 0.037805348833491 10.034104261197845 Si 3.992652820175586 2.015834672476871 10.049006034063082 Si 7.985445365189654 0.021152172615247 7.955660304581002 Si 9.985606049300994 2.036806645844381 8.055432395062885 Si 10.039091633157618 0.023599483583081 10.051754693610514 Si 7.996913784368304 1.974991411378880 10.061248811408674 Si 12.030703821975646 0.013404586494676 8.011693032866463 Si 14.038033081884391 1.996177716521573 8.008331973184738 Si 14.074801726983230 0.015356701685204 9.997340663956793 Si 12.073028995772813 1.973944690096996 10.028928983262157 Si 16.080628035355609 0.038457527521838 8.036461347605830 Si 18.020749206842702 2.041702670413081 8.078062242932946 Si 18.019693709298107 0.004904352415121 10.057811539350610 Si 16.059791420455138 1.967941602161926 10.058465253450356 Si 0.019118315400715 4.017425996853128 8.027722029798898 Si 1.986827059821595 6.005706280518479 8.004329497364052 Si 2.006889946955088 3.983311437643319 9.976140965159630 Si 0.021060299466332 5.996413809243489 10.005223193790657 Si 4.006633272611683 4.014553964566106 8.039671726028329 Si 6.060278590414199 6.049119816931423 8.037226107299071 Si 5.984574923392126 3.982728022876266 10.048457906853626 Si 4.040027087184756 5.987421581697858 10.049238382417903 Si 8.025428868049577 3.995600508246353 8.004806919931394 Si 10.061421091449359 6.003973160144488 8.017842674882141 Si 10.046235826476240 4.037431069154650 10.052715869176415 Si 8.053137041431905 6.018219706625468 10.022301569540067 Si 12.038507502756381 3.981218524324756 8.020401200066585 Si 14.034226899247654 5.978586991723587 7.997629184807702 Si 14.030968921886117 4.053140992782191 10.089482578998831 Si 12.040604148731687 6.039243373800838 10.011828762447189 Si 16.021198118512270 3.979763358323339 8.023980329791744 Si 18.055166139416681 6.061095921706483 8.055791428579827 Si 18.082306434408540 3.994475852820487 9.993277116758332 Si 16.034399594566825 6.036224849709013 9.995867273483833 Si 0.024925882667994 7.971255480166350 7.988729766213658 Si 2.043967986696694 9.982081696760051 8.022987605596629 Si 1.984260248179766 8.040373401605986 10.013133995487461 Si 0.032917072226408 9.988818620368612 10.053863631119681 Si 3.994773698602141 8.061861409676993 8.039315429382029 Si 6.018807197331176 10.059294938659399 7.992240130685432 Si 6.032300416766783 7.997352217467537 10.035585516919753 Si 4.063383465330948 10.069235569245699 10.060493200922282 Si 7.997286876386223 8.013033317784867 8.012578333272996 Si 10.019455167347395 10.015074502068808 7.998616542488848 Si 10.015265388293930 7.998209777495404 10.041108553243451 Si 8.057191410620300 10.058710712613408 10.039410798971426 Si 12.079408086572817 8.048234469701104 8.030318036627488 Si 14.011659623509344 10.049187124996502 7.979492146748878 Si 14.024922992000253 8.051125962195607 10.033159059047085 Si 12.006955184950783 10.051388085411785 9.993822402187970 Si 16.027827806298262 8.043791457237807 8.014249325067599 Si 18.050465029434914 10.072387468865514 8.060508206210663 Si 18.049895712980359 7.964230971262650 10.036646505161851 Si 16.039016302428085 10.008411628169030 10.059740735507928 Si 0.033641040161553 12.061242780656899 8.038324347724052 Si 1.971349106538734 14.021233724744734 8.013684404551125 Si 1.997634053260301 12.067204963907018 9.984726294751837 Si 0.039816851505143 14.071683001335261 10.012782821669111 Si 4.045188948224307 12.015650739746462 7.994377382236538 Si 5.996450129898942 14.020626309818775 8.008817239053069 Si 6.038174984753481 12.070484549847862 10.021749188846520 Si 4.042153131099282 14.030202817602198 10.032191426243925 Si 8.047339576340708 12.024154045687444 7.994038198499970 Si 10.077060727824696 14.006596358987462 7.950812170748956 Si 10.037914310036722 12.009469831369129 10.026902817885119 Si 7.996096812502092 14.025047910811724 9.999324424919990 Si 12.016441593145951 12.003703228705207 8.034658283080823 Si 14.073386942815288 13.978252567467839 7.966254227984965 Si 14.101201595065177 12.012678749828972 10.002683587069043 Si 12.033516771903077 14.062922080742636 10.051482087158728 Si 16.041971020252259 12.020210750419057 7.999574253012412 Si 18.090841161309463 14.063372336480480 8.001277187180619 Si 18.066521010891478 12.000133403493685 10.003112497637643 Si 16.028972672522443 14.012365898695222 9.992824658349596 Si 0.026137361726474 16.052715731702595 8.014903318279691 Si 2.032437323524756 18.016358220984895 7.997813211312995 Si 1.937171774367184 16.025517526869059 10.072947256687499 Si 0.038168008619843 18.054004259580900 10.038035519419996 Si 3.974171771161141 16.030604959467734 7.987113872641792 Si 5.958780480976788 18.069629473522113 8.063331534571930 Si 6.024766463526070 16.058365579603311 10.049481355872523 Si 4.044952971601960 18.065792135930558 10.031619557988851 Si 8.021590087897462 16.043839285607220 8.041019584299040 Si 10.030228341963738 18.020170032960241 7.997825079279587 Si 10.065574042250065 16.025735440454010 9.966888905256157 Si 8.006718711577840 18.071564723943194 9.997013307610628 Si 12.046804706690498 16.039862545721213 8.024007962346227 Si 14.045536915671471 18.051629321310646 8.039992814301566 Si 14.066420896796632 16.043083531411476 9.994104119913590 Si 12.059565929283981 18.065905015634730 9.990013342122284 Si 16.052004452539702 16.037842338558164 8.030732602736613 Si 18.028335797829190 18.037562734702032 7.989791418766782 Si 18.093548714379107 16.086213598559663 10.069029942803624 Si 16.039106074800376 18.084392198219028 10.060559400524363 Si 0.016278029942552 0.008120699936128 12.046872114977676 Si 2.027171737582518 2.042363154308809 12.024819858538088 Si 1.971244285390930 0.026777842112213 14.076561216606912 Si 0.034844685410800 1.995319917738240 14.074454899161060 Si 4.007532858725315 0.049247132191544 12.046649697541275 Si 6.043400078279029 1.977563290662619 12.034536235139820 Si 6.049552983861321 0.033318401026471 14.079663776094712 Si 4.004472683078713 2.025090169363787 14.080284978847166 Si 8.093735824968352 0.002717063001265 12.092218244571933 Si 10.003991961300244 2.014702565918890 12.069186677345391 Si 10.051604601231741 0.039036816119939 14.033830628827676 Si 7.989263394924206 2.035575125552167 14.049761845183356 Si 12.037363951621892 0.037555819980748 12.022496001556345 Si 14.059671321660831 2.041117156160795 12.013613637274245 Si 14.118376153912752 0.045010038875241 14.080333680345584 Si 12.021938947224088 1.979514127059914 14.078134526838525 Si 16.054894611722599 0.039455683393599 12.003358766935076 Si 18.078707338508988 1.971408498742971 12.079471327134620 Si 18.065750900792619 0.019850858818663 14.043691799711862 Si 16.071482934743297 2.034917428075372 14.079499670155734 Si 0.039426980908819 4.051426498902302 12.015407197445699 Si 2.008433865033231 5.989582482738648 12.047409634573439 Si 2.039776468509278 3.977706581927348 14.078858674696692 Si 0.024453140700792 6.009526275434986 14.091860489774225 Si 4.010988979081960 4.004217121249443 12.029795352977917 Si 5.994191461522484 6.032910602408299 12.042086159287804 Si 6.044053640706349 4.029558762139131 14.032229943148005 Si 3.980095516982432 6.001817844482891 14.025851697869081 Si 8.040067390844904 4.008144483462237 12.066593182507953 Si 10.057192304558940 5.995081778929795 12.001102924486924 Si 10.070757875112564 4.024312070041135 14.065875896608826 Si 8.031044018264071 6.017639607890719 14.065008139102858 Si 12.031104407017056 4.044023844977031 11.995423383787392 Si 14.014574904505750 5.978967270097392 12.069616948094927 Si 14.064524304185092 4.002347940514684 14.016517678020470 Si 12.068879555080562 6.049943017603395 14.054143661789785 Si 16.061953985077732 4.001046641961628 12.027823980659459 Si 18.038821493087482 5.963557897628962 12.068692649506868 Si 18.040648408883477 4.022331524369221 14.097306882917508 Si 16.086953383185456 6.025649997928133 14.009145066812858 Si 0.020549371346461 8.011201870918411 12.053851289709623 Si 1.979371427579031 10.059370156170038 12.003736447168681 Si 2.027255330195396 8.001331580641580 14.068498385442652 Si 0.010488486691882 10.042938945521273 13.974442087131925 Si 4.041696688589909 8.001418431577154 12.040060860330826 Si 6.043692191411220 10.038663852764779 12.043519997204154 Si 6.061495592978908 8.052045699893080 14.064082021739873 Si 4.026285166622861 10.063790495698569 14.083176036049739 Si 8.019546442105996 7.973030339876910 12.019405940171472 Si 9.995163995806411 10.065030648436265 12.034176750176620 Si 10.017697182740397 8.063875524235206 14.080451380764771 Si 8.049463807058260 10.003990429489109 14.030930830125092 Si 12.065113384934746 8.056800767931476 12.051918887472034 Si 14.080044583772501 10.020196040655488 12.051685515998704 Si 14.018476294992809 8.014023253457767 14.042071523649780 Si 12.079219335235980 10.000920546271189 14.012908196280813 Si 16.086277602992713 8.057739775611630 12.070685149882349 Si 18.048267629352711 10.070850064646468 11.990212650204327 Si 18.053062111387053 8.075434458031690 14.033856361481616 Si 16.032301590295237 10.009671212671430 14.023117969257596 Si 0.027282898697261 12.048909962900598 11.985121484407937 Si 2.028599674406491 14.033307479817150 12.055236582732169 Si 2.033868581161562 12.068993188695737 14.067459467355093 Si 0.036603947201382 14.022699576180569 14.045131117330451 Si 4.024674859529550 12.059214587083432 11.979971881811622 Si 5.995766916626327 14.022717341011445 12.033893169628149 Si 5.993461959897783 12.002363405675640 14.058290100643704 Si 3.986211132991502 14.052413882405112 14.075787593811189 Si 8.019595639589872 12.035376117833158 12.033462067474900 Si 10.054525601872138 14.064588013424551 12.008260993725052 Si 10.089388043886919 12.009667976566929 14.006501384876072 Si 8.014369398082593 13.995502399839951 14.053572820635173 Si 12.012427504474266 12.056364356406801 12.052360793971630 Si 14.022690181359376 14.052817431611032 12.074829430118498 Si 14.037909765171467 12.000692213171741 14.081558099338412 Si 12.052263497538467 14.073034236160495 14.007265600039961 Si 16.086054755599008 12.055110698550527 12.029863719636328 Si 18.060090867413834 14.005308995505473 11.984865168358953 Si 18.055505609171334 11.980151253403674 14.016031112881038 Si 16.078918085498479 14.060476233904380 14.006949261326985 Si 0.013525548764240 16.013979551806248 12.074387125257944 Si 1.990532293407150 18.058392029645198 12.043142053234645 Si 1.996311657654935 16.063760335311329 14.077193627855859 Si 0.023012323345236 18.062340743717613 14.055585002379246 Si 4.044250190556109 16.040797419225807 12.073768088386560 Si 5.985648429289849 18.076249260455473 12.051687285953150 Si 6.000577930905370 16.033095291432360 14.071501357723587 Si 4.047212618734385 18.077331633818176 14.018610699303389 Si 7.987712829587045 16.030635087175089 12.014045644015921 Si 10.039337702835732 18.079626641807739 12.068514966316668 Si 10.028212908145759 16.013584300945009 14.040103510304142 Si 8.066648789427123 18.023781271976581 14.110857627211272 Si 12.000287142482737 16.033955992545728 12.032500117946675 Si 14.068783976181832 18.056410185119226 11.989169350520461 Si 14.061613463121649 16.055625362577342 14.067259401478733 Si 12.063910808288115 18.087599647571690 14.067889892344921 Si 16.076078551164166 16.055297011947637 12.009267985301699 Si 18.023365086353749 18.049572758097543 12.065667400739475 Si 18.071052661198145 16.040311436765528 14.081579675238322 Si 16.025423158407325 17.988261999813133 14.081898139428558 Si 0.014363188775095 0.017974302387348 16.053376418488014 Si 1.992384378325460 1.986828707578256 16.074273760118224 Si 1.975620777996962 0.017540284985936 18.067763956872891 Si 0.012864631391288 2.012466465391161 18.022621840353143 Si 4.014307062179306 0.045663244549894 16.027497156922060 Si 6.049614251651015 1.988441629527542 16.044183993108682 Si 5.981067508847127 0.026505838367032 18.091345840419635 Si 3.976357980469753 2.012906583443609 18.034967351224545 Si 8.038042682879924 0.034659457443422 16.022641496372632 Si 10.066785760726955 1.996566944686937 16.056379114676869 Si 9.973919877656201 0.007019179209121 18.095056969162250 Si 8.060791252572059 1.974537237705123 18.047367902544778 Si 12.004756859135698 0.006497429436448 16.036522868872229 Si 14.038110420622639 2.034439208603145 16.073700863955281 Si 14.045990978753002 0.021522611397961 18.085545656541562 Si 12.033949157101576 2.042457344154228 18.064375907158489 Si 16.013246901016931 0.055303745854515 16.068640116755212 Si 18.030308952999039 1.974736881807715 16.034952947478438 Si 18.083784783874751 0.035959973998164 18.049291703073202 Si 16.086334445691065 2.039805812284216 18.093432967331879 Si 0.018958438251862 4.046622005911343 16.073656981711874 Si 1.979001304116235 5.983142981815098 16.048332670003258 Si 2.027847208233885 3.995751055000458 18.046342863957992 Si 0.020702128484120 6.045809844770875 18.086441276155629 Si 3.997816943835588 4.014044906072765 16.075605042451308 Si 6.027088283269673 6.027842752277882 16.070245881951706 Si 6.033829524307597 3.948063180495072 18.061825200695601 Si 4.069690508663411 6.041847599143511 18.065052504828859 Si 7.968298438070583 4.014078485363934 16.086855914421275 Si 9.989082142499502 5.965967966307811 16.080801387161902 Si 10.016766303632300 4.023667983749309 18.022785479791125 Si 8.014707259118444 6.008678283043101 18.016365366333812 Si 12.001937399027014 3.979047306008743 16.069021199317095 Si 14.058208233246543 6.033916532854381 16.087130625077759 Si 14.069970227494007 4.072717549837690 18.058107360394935 Si 12.071791104452595 6.000314283797612 18.082235018088369 Si 16.069163006222041 4.041466412668265 16.041220638268634 Si 18.021844332217722 6.053751799562216 16.087254870138324 Si 18.076915714265727 3.975742344210583 18.057532599905652 Si 16.048815847100897 6.011840505951969 18.065122667972119 Si 0.006459766281689 8.045616786357533 16.027600361598203 Si 1.989843211169314 10.021406460298600 16.069080914016570 Si 1.997337672171626 8.037139012322660 18.070006166320731 Si 0.016175502800239 10.058969510185291 18.070230722444002 Si 3.974521187301218 8.061616969174366 16.017246376507355 Si 6.012464904172760 10.065030824126389 16.014436782549190 Si 6.054206127158541 8.067337702027340 18.095086415049440 Si 3.972729705595304 10.042461523464878 18.004000395262970 Si 8.039962008703036 8.011630054610931 16.016464586598456 Si 10.039120411257921 10.018226373385316 16.023514475725687 Si 10.063418237671565 7.988266675313533 18.019205314889671 Si 8.019978911466996 10.028283805706534 18.055940831992938 Si 12.005710796852508 7.988213557035620 16.067663529445550 Si 14.050509686407194 10.039190441531028 16.023292736094749 Si 14.070594831041516 8.071074530081466 18.049443136147556 Si 12.036638343560671 10.087194717108630 18.093654773596022 Si 16.076674568056131 8.061792212866447 16.046100326047391 Si 18.030379834395998 10.020818295090908 16.044943857461043 Si 18.023964611609959 8.034958288731614 18.030293524768837 Si 16.062800652714238 10.007584844720803 18.042268804296107 Si 0.002560474273861 12.000409835160143 16.011508249241547 Si 2.039525122912102 13.983429640690101 16.012936674654817 Si 1.996398352676097 12.025255891811932 18.076493032587464 Si 0.022068810222103 14.060240703256808 18.060377084579752 Si 3.990364714091353 12.068593230333168 16.015719968059805 Si 6.052496810909275 14.097643553741944 16.018479370301918 Si 6.008943464365601 12.003330658444002 18.091217573465745 Si 4.010554573779888 14.018731407866103 18.066564910032334 Si 8.000719516464155 12.052080022266923 16.014178746708879 Si 9.991905481624835 14.007346204039987 16.059302374389695 Si 9.964787735040433 12.039877730822294 18.089368711396386 Si 8.041556747793933 14.046231227061456 18.058482714070060 Si 12.042629001321314 12.065119990411119 16.050943402616848 Si 14.103825422496580 14.005786054690624 16.049278643169082 Si 14.042362312075710 12.008099412950184 18.033518371980119 Si 12.009533645699516 14.018500558270219 18.039349956769577 Si 16.034566282814481 12.011791970349840 16.024417087112660 Si 18.071895369086040 14.043760821863581 16.080117780990999 Si 18.039357494471588 12.024014952326116 18.053705276910740 Si 16.051626284333231 14.054900504997885 18.056947933163002 Si 0.007122255402062 16.072275148908549 16.046515189472974 Si 2.029823857354248 18.019349581849777 16.089279811276992 Si 1.996797318479442 16.045735926400834 18.056989277186847 Si 0.035265538592332 18.091841766148633 18.062730471006653 Si 3.982019395552243 16.046703938334989 16.082617888113631 Si 6.011756011265006 18.090675609604137 16.046770454948440 Si 6.055994352669606 16.070012989855723 17.992700658055572 Si 4.026904277276445 18.062290116126672 18.067198180506704 Si 8.030850338673259 16.051306391069517 16.082114913161952 Si 10.000349054461932 18.078895300261614 16.037337318709135 Si 9.994539437497176 16.059281386198016 18.094059977819999 Si 8.065200204919416 18.086706679919093 18.025036200485786 Si 12.063507369191779 16.037808528490931 16.059828814752265 Si 14.041240409730634 18.016518909463539 16.088243956614225 Si 14.072466575634314 16.047128331912315 18.027906783689168 Si 12.038877952810894 18.086793509659756 18.089525597328620 Si 16.049572063583437 16.078563131400681 16.080370838034511 Si 18.084600228467480 18.025703628055076 16.086831155628623 Si 18.058089093299639 16.044687453549876 18.053194567401828 Si 16.035413506539349 18.057596116264261 18.044792382616251