500 Si 0.002299712822884 0.010105033802501 0.036259812343934 Si 2.152924124789273 2.181581861250770 0.041466247014004 Si 2.159031913753382 0.005744613301777 2.149804184437452 Si 0.029978257469861 2.149005959352991 2.125856134249557 Si 4.309861951280928 0.040179231964865 0.041001444944276 Si 6.481758236642949 2.153939881140310 0.040907329395439 Si 6.423789172830478 0.039822339661383 2.188118221429782 Si 4.302946967338533 2.151871549076623 2.181560887160199 Si 8.528422184590724 0.006107802730256 0.041750964610578 Si 10.752257724167395 2.165150803428273 0.022398133597720 Si 10.722507486928636 0.038457234606713 2.150870579612111 Si 8.607742510882824 2.128483861443764 2.160868375085208 Si 12.899389864145069 0.018450180911688 0.041839051387709 Si 15.078238696262686 2.122272577779654 0.023038252410585 Si 15.059516834635362 0.041370525726313 2.189648156141276 Si 12.888575132321304 2.170996918415923 2.171121161402258 Si 17.178129630112629 0.032759055126359 0.041927561846150 Si 19.334213360661195 2.218977265612872 0.039644113960211 Si 19.310013480986907 0.017421834415493 2.115193160281943 Si 17.213113033843470 2.125374398774070 2.100766904748424 Si 0.032514042140768 4.254617250007724 0.022756619213232 Si 2.144455341880898 6.466455202553939 0.042466066646641 Si 2.159476324999726 4.265700476612452 2.112385187734251 Si 0.024044035605558 6.484337481415522 2.163068432908277 Si 4.255999692490512 4.297753091149529 0.005658851268637 Si 6.484400194447648 6.480180095691019 0.011775256928835 Si 6.488836826907581 4.302096381159919 2.180759800085004 Si 4.292430186594094 6.466872671180013 2.117127396548415 Si 8.634896745275199 4.319428090524881 0.042512881570353 Si 10.708144891831902 6.430855213919296 0.028286785084688 Si 10.730362284263109 4.282700304908793 2.184513709677038 Si 8.631923204896140 6.420737228343909 2.107756167898491 Si 12.931743920123068 4.291330499186094 0.027342528837826 Si 15.006943336618624 6.403355998030639 0.004620677325021 Si 15.025995773271248 4.301105666204000 2.179796271874392 Si 12.925662499837085 6.432212499874626 2.174355456178608 Si 17.165622108721251 4.295192686137102 0.035832237795216 Si 19.319472016132671 6.427495614449010 0.023399559528738 Si 19.348968094159801 4.316580573252462 2.143376174355478 Si 17.189252517443176 6.450855845517053 2.152604295812759 Si 0.018171524806003 8.608553467337472 0.011682475694354 Si 2.142182881768347 10.701055887343891 0.004400972864336 Si 2.175393992373491 8.633996100937894 2.148266484584122 Si 0.010773724339473 10.736363147622594 2.156135471496369 Si 4.280154444022549 8.630026843219667 0.024913429455691 Si 6.463761139713466 10.732501271925685 0.001510332063614 Si 6.403583233326457 8.603045938956127 2.178928317315929 Si 4.255331855545305 10.705279104819565 2.143351003598879 Si 8.615471750461712 8.584167226424245 0.030764748311804 Si 10.720624176577326 10.755195555642867 0.010995860544748 Si 10.703010486700141 8.579417415897751 2.180679552469923 Si 8.607840981632661 10.780587730488909 2.153516279943116 Si 12.889058852813056 8.568054464210860 0.006722372456600 Si 15.075935980742869 10.765799481541759 0.000707008222253 Si 15.044889157695856 8.622544163728673 2.106632732410565 Si 12.913063067400710 10.747843480005477 2.178478804032078 Si 17.210856184151218 8.557845622156282 0.032565435958922 Si 19.323315290183718 10.800595729369627 0.002653497875493 Si 19.365422729682546 8.631099802345936 2.063807219921048 Si 17.174369706648001 10.701609813779008 2.111018376983644 Si 0.027119836284223 12.832504303444043 0.015720875161681 Si 2.140922490522018 15.005882882617582 0.018275543496702 Si 2.158614368693724 12.913720129548508 2.109088093960866 Si 0.038648077275788 15.057101023132514 2.156251186689023 Si 4.284453548015222 12.919882761186816 0.038569459231481 Si 6.375941591312150 15.015441481007244 0.030903687776239 Si 6.446575706722257 12.895554622078105 2.106466206668778 Si 4.324610635671900 15.094701392519836 2.175004448870269 Si 8.562947494995436 12.912472343093148 0.035581978627993 Si 10.699974453210567 15.086592354935132 0.071008317998310 Si 10.793003259754833 12.916898399559011 2.181079108467852 Si 8.556000871066139 15.073054184241631 2.189812595746750 Si 12.910908487087163 12.901536905714888 0.038492475330652 Si 15.083635779373257 15.017305227645100 0.042794537828359 Si 15.030555581184320 12.904730311654541 2.118605464600954 Si 12.915023610614739 15.056851979206607 2.188720353199868 Si 17.180453817680643 12.880954524636198 0.019220267879683 Si 19.342281087853088 15.034084101045663 0.037711537946612 Si 19.365608142396514 12.879463355053712 2.162812578716189 Si 17.159477558179844 15.022826962873511 2.178496678862614 Si 0.025949553988356 17.200920227539488 0.006865446638111 Si 2.169372766180617 19.320708109222743 0.032272221273565 Si 2.140442168951301 17.191582322403384 2.168420517756666 Si 0.016767823221219 19.362433194355447 2.146958689871011 Si 4.354022642947431 17.196350606297329 0.022018265371743 Si 6.468291874928483 19.305631643445651 0.026075688756278 Si 6.485620308452791 17.159739280417593 2.170172118141447 Si 4.254475108469143 19.306449570489089 2.118731730202272 Si 8.559383150367010 17.153946974742258 0.013053739060870 Si 10.714316015315720 19.325233177789332 0.005731325666701 Si 10.740048525895807 17.181949652420993 2.182211745764281 Si 8.567232707842461 19.310677907504441 2.112349849125344 Si 12.934689943872600 17.226148873470116 0.003501942583455 Si 15.061514116281710 19.301778122863954 0.009277597970718 Si 15.057269218857607 17.158584990480612 2.165261888698047 Si 12.859119638602529 19.338459620742544 2.188113578985311 Si 17.150247510846111 17.171068389809719 0.029312423043396 Si 19.320085339683573 19.365903417094181 0.028177115353023 Si 19.346512160868279 17.234680150078891 2.160399963157210 Si 17.175983852615950 19.358924543735707 2.162982457501060 Si 0.036854257973430 0.028507570699080 4.264390352981015 Si 2.106948073456193 2.187856604642509 4.281307624776885 Si 2.159281802799433 0.003401114852991 6.400193528881282 Si 0.043643868758281 2.179137237523195 6.412962426229278 Si 4.276294721976688 0.017463151083269 4.313029786638872 Si 6.426707186608017 2.160741396417216 4.327913001638897 Si 6.461252046602700 0.014899338458811 6.488971178164438 Si 4.321847897741510 2.181019990248319 6.486460175934067 Si 8.539070679363263 0.030712832257853 4.271978266460478 Si 10.709760682898203 2.181635476223937 4.278230983592560 Si 10.757689541892265 0.022408512919728 6.488004265809432 Si 8.588139289351805 2.186210676577514 6.460016501280654 Si 12.906972997793218 0.001111050269100 4.271649762755686 Si 15.046681780607083 2.121011699539113 4.304106254481235 Si 15.010068886946211 0.027465051385929 6.429327452890869 Si 12.932613586166889 2.148937817759367 6.437452990436705 Si 17.187989499283354 0.025855561260827 4.278146133887923 Si 19.357082119757465 2.136411329187880 4.329726932398907 Si 19.307558929515896 0.015085898785066 6.486469512395956 Si 17.220509909853252 2.135893264181081 6.406618230562169 Si 0.022479655654275 4.289255728809038 4.225474337915560 Si 2.184008221445174 6.459322981836331 4.262274610412337 Si 2.108651425002086 4.351666960864776 6.431130290834847 Si 0.011486434851747 6.404139603420607 6.471413552035316 Si 4.297954808979541 4.276949486968027 4.274005487197178 Si 6.475334899420499 6.512187600563270 4.322660369940627 Si 6.386993491212929 4.318287578077899 6.457292848139416 Si 4.254718636257953 6.459262635183837 6.391546257505186 Si 8.589356110274464 4.302719333847655 4.274117010901076 Si 10.778101263268143 6.473222278095416 4.304765496755963 Si 10.721269708421305 4.277621773506762 6.483848215258721 Si 8.633452570767243 6.442614253336008 6.416908110661534 Si 12.868468719430812 4.340020023177304 4.307036881025422 Si 15.004493423794193 6.473543892969141 4.325377488803319 Si 15.036456661841282 4.294499828360820 6.452336544092523 Si 12.865010304232902 6.408192026673269 6.464920766215202 Si 17.200845059527236 4.254941195293975 4.310247915517588 Si 19.312371815744047 6.405006204273776 4.289031938151774 Si 19.292992396884461 4.317388454422712 6.436393214459536 Si 17.156521339929604 6.427974468653030 6.476017841021125 Si 0.023948909009115 8.578751195967641 4.283134803662850 Si 2.133658530661807 10.702145935075041 4.278535639790022 Si 2.149684924226980 8.565623592395680 6.478395749560577 Si 0.010841419561816 10.797580451210157 6.487027883698834 Si 4.291756653972076 8.634327200070601 4.261307778787084 Si 6.425992643437392 10.751255432703179 4.257388052532393 Si 6.482273501038662 8.612912236674019 6.426650211327257 Si 4.275478403659185 10.766093879619191 6.411062104009124 Si 8.630060550484126 8.635376395309766 4.267114228980298 Si 10.713085825204086 10.778767066615508 4.257868205883833 Si 10.765427714312917 8.606883966168317 6.480633968579243 Si 8.616976632618572 10.736577109174378 6.445486907431194 Si 12.922128253116096 8.578253984386102 4.329713506597516 Si 15.086128104165953 10.702650637188341 4.322286556045429 Si 15.067182382367790 8.628352917449817 6.455862524007366 Si 12.925566822432538 10.782094077141787 6.460049808552664 Si 17.188615742921762 8.606406258409597 4.283548895214029 Si 19.345381155853314 10.710300021175708 4.308659572285131 Si 19.368738330074496 8.624614862921598 6.437521513228092 Si 17.184919690758303 10.730354093739271 6.436485094393348 Si 0.008506596544818 12.923390898319031 4.333930265135478 Si 2.150879379481254 15.012390138791773 4.252305991697765 Si 2.106155256357237 12.869467612641692 6.410395175893046 Si 0.010330962269792 15.002473731691733 6.491976896254054 Si 4.342726722066057 12.931012506125661 4.326364910053792 Si 6.476527363338529 15.082534709922331 4.276629490041973 Si 6.404858362100454 12.870327541804963 6.429941395348562 Si 4.279109744009800 15.027451595695366 6.411005552529749 Si 8.633448024185927 12.869676997767195 4.293003732236076 Si 10.774458315879796 15.082637988511772 4.322872959732953 Si 10.768397636720241 12.864906144552894 6.484360770696121 Si 8.570083000260029 15.056867041969467 6.484433452748017 Si 12.924920983304428 12.885805275647153 4.288148925579868 Si 15.008396057851707 15.062393605351200 4.298364808594648 Si 15.003399634236205 12.847656291516817 6.447262283707704 Si 12.907780097744117 15.002045035815790 6.419553482925988 Si 17.185212757375474 12.886739733348014 4.288045704789642 Si 19.330748015239102 15.010592459645908 4.262564664629542 Si 19.325493060916742 12.922894580633109 6.398842278994059 Si 17.181152102497567 15.025317567787829 6.466609942581396 Si 0.058233501342687 17.195603640504128 4.311005338214339 Si 2.163697800433581 19.365364384527847 4.291331144366876 Si 2.165786441872882 17.153819677504323 6.465658362826703 Si 0.020333617875711 19.318263544219164 6.393294291817336 Si 4.345703951831115 17.221782565493410 4.257615307311864 Si 6.477088535886094 19.353622436470346 4.304908891808836 Si 6.474799685765948 17.161531802170561 6.483654091627019 Si 4.296494490259429 19.378175317433463 6.404932046070785 Si 8.602002301806179 17.160809800902385 4.274134743504984 Si 10.765486149438379 19.310808268363644 4.280976327939531 Si 10.757139356714038 17.178070768841259 6.437448947875605 Si 8.527178933014911 19.335772179137905 6.461012796071421 Si 12.886982174864947 17.202557323224116 4.335223602101496 Si 15.023811832091573 19.318084213925410 4.307820960978026 Si 15.022389270948892 17.226146928502793 6.467138383929127 Si 12.888247175010132 19.316097471686298 6.483813368267829 Si 17.200314804893654 17.238034881528485 4.315080167266359 Si 19.360806695399347 19.348853010431640 4.271730806142583 Si 19.317891131499270 17.205643691235132 6.463902025831671 Si 17.185350639364600 19.318912207871065 6.467177491575001 Si 0.020766488298797 0.014172782080768 8.663318919709356 Si 2.155875641615967 2.129297185667714 8.592703228245997 Si 2.185675987521597 0.002985688928282 10.763096119824825 Si 0.003223249232757 2.141360501786743 10.786039623314837 Si 4.294563874436713 0.029583079141091 8.567154682136215 Si 6.405702080587110 2.125099240776149 8.630428354394684 Si 6.405368651583979 0.010207468106997 10.738557170686054 Si 4.318354852532567 2.182159014994294 10.774605407281467 Si 8.622909781476645 0.035117187745186 8.621083001765486 Si 10.708373727952180 2.175829746577047 8.635419363805367 Si 10.697097133117827 0.032777043146681 10.706715353123743 Si 8.560596676300687 2.190433616499835 10.757215522336555 Si 12.876899731431550 0.001005668022409 8.587221809777148 Si 15.021462683086369 2.163737535763638 8.593030986081059 Si 15.008754647168566 0.020842659049557 10.759003977128481 Si 12.887720592537157 2.154458790359167 10.713993146298764 Si 17.218230999135042 0.009881873826779 8.565357954120032 Si 19.291331567349040 2.091336486209115 8.664305436167400 Si 19.359116366369626 0.010405684811936 10.770604780396960 Si 17.186887175045253 2.177405123357429 10.776712004358581 Si 0.006317264849589 4.322043900668428 8.639713107969097 Si 2.155791413900226 6.462833266107664 8.647901692227947 Si 2.135823814368591 4.323912709855509 10.713538826755132 Si 0.002492924296565 6.406773653217891 10.715753656611575 Si 4.300468375238414 4.290778036796751 8.631380937574136 Si 6.478896849808119 6.443070558655807 8.576528495617284 Si 6.407277096406687 4.268050079442917 10.706649015630237 Si 4.313440346436779 6.450006813564950 10.720932266402945 Si 8.576071559780759 4.338233353764952 8.552878622888056 Si 10.734031430295095 6.377498941771830 8.567725991342067 Si 10.679553358967201 4.318823281801206 10.727781067446109 Si 8.532579296444627 6.461023211577189 10.733422690920532 Si 12.847500898354831 4.259408265753641 8.571904812164266 Si 15.070381253001377 6.428050346820226 8.564570650835620 Si 15.001660141181679 4.260681076438130 10.785042668853748 Si 12.909804644050034 6.424150311090467 10.768957629719834 Si 17.222356678133060 4.319079291444250 8.632460592047352 Si 19.346063881999775 6.440858669988520 8.633071730311556 Si 19.373647778264399 4.283412437194236 10.809778155332729 Si 17.214437433571071 6.465537247991917 10.757408518387345 Si 0.030492989996953 8.553531344851189 8.585724834854782 Si 2.174890519598215 10.718548959275685 8.589182476126330 Si 2.113302286996599 8.604242558666950 10.761333195229774 Si 0.040609519773629 10.765942524677971 10.759249252953957 Si 4.265031289443502 8.573893482574299 8.627066108987824 Si 6.446236894419338 10.722633535388594 8.561743215407898 Si 6.464577762632532 8.575641166381331 10.772104336305084 Si 4.303350119129257 10.728730001417190 10.700409153759649 Si 8.570780126793775 8.552159189228558 8.649476374388914 Si 10.687764143407479 10.705143285243505 8.580309181664854 Si 10.761567013125511 8.561564851345290 10.729963934774332 Si 8.553602363777271 10.731139926385206 10.773840653656359 Si 12.909075953077856 8.573349930599967 8.571283709085680 Si 15.067972271041619 10.756999376371766 8.617008948156480 Si 15.078054972709223 8.579240189229882 10.767756816868108 Si 12.855462753091414 10.775588382970300 10.784598403941846 Si 17.200084637995509 8.605977221815674 8.548001849062560 Si 19.312602092601928 10.754273016128078 8.563926583229225 Si 19.378132205160096 8.611462273992593 10.766738650355778 Si 17.231817666395884 10.707531810776404 10.707307512062833 Si 0.022927878072228 12.861144593981809 8.627076073153683 Si 2.185988288318641 15.079413155964518 8.512248224308115 Si 2.147307567484287 12.937118338891448 10.756333097877478 Si 0.013406273751319 15.088579843533525 10.777779420750218 Si 4.231337938247115 12.857847892144310 8.585530084551854 Si 6.428558711213234 15.063403552484656 8.616889123122379 Si 6.424398240984516 12.919796071945758 10.746053971435055 Si 4.286329407506142 15.064195100468703 10.719359659486493 Si 8.632879384279946 12.908186555320938 8.612914297134351 Si 10.704476289144926 15.095800758176848 8.575042513707295 Si 10.709367316884700 12.957727460923790 10.775501079270878 Si 8.582424698265203 15.081225592356299 10.762457315986776 Si 12.881419994442195 12.923321731093788 8.557293903786626 Si 15.083766066894814 15.035099716738454 8.558684468582028 Si 15.061876953266120 12.894348085176590 10.694978917951543 Si 12.929759205033028 15.042136220773923 10.755648277184283 Si 17.196336656022972 12.866397458746675 8.595345357073972 Si 19.311249592553484 15.071507117798626 8.636505310738174 Si 19.345640568928079 12.919688270531603 10.750325681790583 Si 17.217301198297786 15.020744817231554 10.750925916424475 Si 0.018680263751766 17.179731563717059 8.614054943220118 Si 2.148904321759439 19.376856367295520 8.620861985079774 Si 2.157701014661785 17.183470650870159 10.716110964945310 Si 0.033605558612565 19.358115985334567 10.736521991912774 Si 4.268746993635691 17.194824178730986 8.627982347620618 Si 6.480647817489656 19.349967168214661 8.522352056131085 Si 6.410928326723512 17.172124206465927 10.740186202285543 Si 4.285920710553759 19.369018154925069 10.791260307976106 Si 8.589824397883756 17.169873730078152 8.583819986097017 Si 10.688670095184170 19.302807296437180 8.570206531928822 Si 10.712619440038843 17.163716141526017 10.708168939007006 Si 8.611635048093529 19.358468822245570 10.791187552463464 Si 12.904157607753140 17.207518502652178 8.570646150018998 Si 15.079759038876444 19.326355790153553 8.555685932627901 Si 15.043289948945240 17.151216851800768 10.737656685262174 Si 12.933743647530912 19.380618024312984 10.763239100271885 Si 17.255591912249191 17.182399798781827 8.586933098100211 Si 19.330913148700361 19.305816366491662 8.576786241544644 Si 19.374418710159727 17.202116288793146 10.749570208227142 Si 17.199641045767741 19.366091596306905 10.768968105931130 Si 0.021116654479334 0.022912986057705 12.833056192520317 Si 2.179477048342801 2.129827107601950 12.886118392189415 Si 2.184047495419800 0.016326577010839 15.052180600675037 Si 0.003816235131866 2.157088865230417 15.013587373333049 Si 4.315524713948078 0.005816864304284 12.873801080869157 Si 6.404996581187048 2.172987010550274 12.865075268728662 Si 6.452256582643156 0.014188065394860 15.030216722247745 Si 4.300735382639718 2.168355689213950 15.035203770883074 Si 8.636641784105320 0.035252174587188 12.883137687418570 Si 10.757100420457771 2.116559043564314 12.943744706611076 Si 10.687778785950890 0.039317099496996 15.105410497121859 Si 8.553270368527553 2.147067983184952 15.072993798065564 Si 12.880125069532021 0.039039628287812 12.949337334592675 Si 15.027080369065926 2.108990704452860 12.832821607313850 Si 15.030994560955339 0.026423105132212 15.087046908565210 Si 12.930941118327361 2.150640931231865 15.062102703604149 Si 17.212841181950242 0.024405753735968 12.878054624178267 Si 19.308770143833229 2.117938960873846 12.877277629159490 Si 19.299099790741217 0.014437313750258 15.086396975216767 Si 17.150294041038951 2.152748288107987 15.053079255269198 Si 0.033618807704182 4.331564558412105 12.914735645209268 Si 2.161679162903136 6.417400124444688 12.920180342020206 Si 2.163049786577277 4.322280039205844 15.027148821686005 Si 0.021557753550230 6.414538918381214 15.113377540209287 Si 4.261174895685460 4.258922460996070 12.882491185092427 Si 6.466914616965246 6.473522730388912 12.928232805090543 Si 6.405527295941353 4.268977338456651 15.035910064165286 Si 4.275115725970712 6.425906224015381 15.005908966438859 Si 8.552918240836318 4.325365287220897 12.886144381592898 Si 10.683665188607387 6.457969982210801 12.908500275159620 Si 10.743366711618037 4.290450319418285 15.074665874531359 Si 8.570203680728500 6.425018306065018 15.007904487656637 Si 12.862414607029622 4.356710753127026 12.899728300157394 Si 15.078478712669408 6.415801806262786 12.877172954731360 Si 15.058802528200864 4.308129450651196 14.959746325497953 Si 12.933813288254623 6.488591592468438 15.080354194873086 Si 17.167846601200516 4.311903215689445 12.884593703451175 Si 19.360690782646355 6.468183355871381 12.925835927824380 Si 19.356275796577510 4.255986244600052 15.017036058440238 Si 17.229141148938705 6.404142968255464 15.012117324271355 Si 0.042196510061373 8.552201146957319 12.930675109659891 Si 2.182283276859000 10.742020179065197 12.861703000844066 Si 2.152742933580039 8.611115826879537 15.051787910762433 Si 0.042057712779524 10.716047065714584 15.075387370164838 Si 4.280482265467628 8.611304318624040 12.934299252266882 Si 6.476691243586058 10.735212159275070 12.912001473004210 Si 6.406511838464509 8.633932161189616 15.025775570832584 Si 4.313581568034301 10.764871960325836 15.079222368390212 Si 8.595918558657022 8.612643367261242 12.882468501026743 Si 10.717534372009787 10.772618387877865 12.901923520198185 Si 10.785476479662334 8.567280976913937 15.034363138720687 Si 8.578933123571288 10.754224291251521 15.033044197085367 Si 12.857212108755336 8.551844647018198 12.934218754962759 Si 15.048636272111207 10.711577984430402 12.916497792697925 Si 15.034575739419457 8.628512725861698 15.041628818957696 Si 12.934778630887321 10.747068042440096 15.032476390632775 Si 17.167310118314230 8.574855675657307 12.862386682690703 Si 19.299835088647011 10.783875269959930 12.903115424421307 Si 19.374535121330961 8.603978236152660 14.995975462443768 Si 17.166949628947922 10.718332917124048 15.057523393757574 Si 0.018323056272624 12.895102560651976 12.862338723525472 Si 2.115451107403962 15.005025518690234 12.966592396368778 Si 2.132977794278792 12.931500763402216 15.081805046096237 Si 0.000039513718061 15.047381062135253 15.065132030541280 Si 4.265392697874015 12.907399022839765 12.857279293441939 Si 6.405952153219125 15.012903108913500 12.869678364305928 Si 6.382481184945160 12.911893872652220 15.076919660432138 Si 4.298567828687383 15.030641824759549 15.001414573493591 Si 8.622960079051031 12.884982418759405 12.934882019783728 Si 10.717862375823847 15.048728631324238 12.956207279077530 Si 10.725620061332684 12.853191328174479 15.065361720193078 Si 8.565765436876752 15.073601946622363 15.048902279820966 Si 12.885017900623971 12.867008956427968 12.858076421833537 Si 15.082527031547366 15.060369891621956 12.872831964699655 Si 15.079926484880076 12.860533905308531 15.066507904821844 Si 12.934502035540950 15.047623361626144 14.987052640138641 Si 17.174685064489765 12.866082029497857 12.878068954207754 Si 19.310962644700851 14.988244738428907 12.895391692535235 Si 19.299681392964608 12.932536838572917 15.077673004998397 Si 17.170545890045190 15.035073440873422 15.070405493298406 Si 0.019910083698314 17.185568163826435 12.856636408196811 Si 2.122781833379597 19.352198400303262 12.901477703289705 Si 2.165008806641792 17.214587960828723 15.048382239998869 Si 0.041446005920966 19.310910016771022 15.045718181345274 Si 4.282753883080845 17.159427111533621 12.852578161175789 Si 6.430312991121415 19.298866376546993 12.891672887380997 Si 6.471246398681147 17.208159775434314 15.064923166515419 Si 4.256273838261043 19.292827817207897 15.069879948655609 Si 8.555161227532109 17.218542158093371 12.885907378583434 Si 10.765748651348044 19.294638901498718 12.927027395183813 Si 10.753773031119231 17.168764504207893 15.064336580037903 Si 8.570165485722002 19.373611913816806 15.056794020562982 Si 12.884192375812557 17.252402779581480 12.926265935918179 Si 15.096163333364146 19.318882490605237 12.918349230549838 Si 15.048671597677213 17.222600970146527 15.076405220321453 Si 12.926241516707721 19.377400300770173 15.010300597345415 Si 17.172020581939439 17.204915575579736 12.911289752193680 Si 19.299802715067695 19.378121429803084 12.874242936722284 Si 19.302627732525156 17.199968922334445 15.013573469664649 Si 17.192468351184427 19.369905183325351 15.026481976163357 Si 0.024422749518215 0.036216969909426 17.200170780086275 Si 2.225385789123496 2.168200305060669 17.232338830641815 Si 2.118694895664603 0.013035238303962 19.300623336428043 Si 0.018628526313787 2.148002450992716 19.322339581607231 Si 4.327878865092028 0.054665362425708 17.210212056878401 Si 6.465019371750277 2.191479048990844 17.167790015741527 Si 6.441381712711510 0.005525087919966 19.379666188227311 Si 4.258134760195643 2.160769946762391 19.324144080331397 Si 8.594394576769474 0.016328123263773 17.160376972913227 Si 10.743017202605394 2.150459634002682 17.211989872462219 Si 10.804511535746915 0.038482589454563 19.380253585007797 Si 8.632064357373325 2.119836878690372 19.333337046953581 Si 12.939739662315647 0.024890462593853 17.173787012086681 Si 15.026000097609494 2.173934120990355 17.201919753072598 Si 15.001901195240881 0.008057751679065 19.330744383738406 Si 12.816775087494156 2.104552587431579 19.300906252598992 Si 17.184783434444899 0.063753031464559 17.223132947483091 Si 19.351616935140139 2.158210120399012 17.213633729860877 Si 19.330656432566499 0.036666948477314 19.316344121258119 Si 17.176034334225502 2.164890102605173 19.367297386731551 Si 0.021453839253185 4.303452808747607 17.213000289599908 Si 2.165734666461857 6.410137456172686 17.218720630249074 Si 2.104495843936694 4.287247229584240 19.336715509884637 Si 0.014821409013822 6.407583119865177 19.297794060693782 Si 4.325463902303949 4.359896629721218 17.152542583555778 Si 6.430679146861320 6.448689988560248 17.177407032899225 Si 6.478975286830615 4.238728955704390 19.314305141225699 Si 4.256792890052965 6.442216542025749 19.364238420816388 Si 8.598831710277638 4.263969246566505 17.156694779176714 Si 10.726499874293992 6.467256690354508 17.160560272576006 Si 10.760383428110879 4.310600843616906 19.346938796077001 Si 8.579868762618396 6.453356000834675 19.307234389434175 Si 12.936587857470791 4.291442935001252 17.156633670266473 Si 15.101761236567254 6.385282184264276 17.212771420587707 Si 15.079560782778096 4.305360210983194 19.358183846673672 Si 12.899489908640106 6.480644889854595 19.353281407065129 Si 17.151312052151287 4.266147150166586 17.263369525128972 Si 19.354168365792116 6.487751649602303 17.201201882750688 Si 19.367590858007464 4.287530025933382 19.369605357031990 Si 17.159055157993770 6.417635821805050 19.317744161667264 Si 0.019707205920803 8.532864653228534 17.160418441967444 Si 2.190608695452893 10.752394066567716 17.170651443656006 Si 2.134531272971708 8.654954772793316 19.347974407983468 Si 0.028191277544395 10.798760499047331 19.314083734178542 Si 4.293279691965265 8.632203228227347 17.166351499516203 Si 6.451318817897565 10.781856790823946 17.157092028717358 Si 6.471397365532198 8.583959346997895 19.351453418300569 Si 4.310743444651751 10.711074219138027 19.342107928458280 Si 8.623934969217888 8.573997567471105 17.184058332080774 Si 10.735545915097571 10.701865827805836 17.163688527403060 Si 10.712900830182667 8.547272685847716 19.346782480753081 Si 8.530538122687876 10.724903381256006 19.323828667192647 Si 12.871368407143798 8.603500936927169 17.206043747996951 Si 15.000780542125911 10.744041741822215 17.182655707356869 Si 15.035915446664093 8.566734190744594 19.305277909371110 Si 12.865578895619135 10.764562980694476 19.338680279393170 Si 17.200070067227220 8.627752004671853 17.170791332505111 Si 19.304927514084433 10.756394473636062 17.218925854734582 Si 19.343751890509608 8.596971489747157 19.374081067916862 Si 17.174432678689996 10.736120349640840 19.362983655160868 Si 0.024646157808359 12.906329686081627 17.203741189428385 Si 2.155282703806105 15.047160500923477 17.185745893701576 Si 2.111883630347293 12.918580651109982 19.338262480112217 Si 0.008407386587620 15.064556401546891 19.329286667684240 Si 4.324569988023512 12.863219847697373 17.188917735470223 Si 6.487960014576768 15.078528043983344 17.168602537659218 Si 6.475999624077656 12.906282693386821 19.372108667518106 Si 4.294358852996669 15.041772846071025 19.332449972081903 Si 8.633039580579505 12.857958475599226 17.217522055885880 Si 10.730730913230511 15.020870415019477 17.233688963977801 Si 10.757933048586034 12.863332150271491 19.322386649822487 Si 8.618068452596614 15.074974182480776 19.318762783465697 Si 12.955339276136606 12.856142838886768 17.193841044818640 Si 15.063051333795121 15.055338669210169 17.208767864086507 Si 15.037943705395170 12.883037053879077 19.379034564006684 Si 12.918268989919911 15.068317537753611 19.360666168136007 Si 17.182052802177065 12.887763160973414 17.147217346217481 Si 19.342087945363225 14.999013962446776 17.167284401844007 Si 19.328274441143254 12.918382248739572 19.295908094185659 Si 17.173793703441689 15.033633785363415 19.338502967683109 Si 0.067938093850956 17.159603338517218 17.147763465091540 Si 2.157377229278373 19.339439810509422 17.230900224393395 Si 2.150929254140645 17.186172533957222 19.351449137512038 Si 0.034009787746747 19.337344687896152 19.369640338605169 Si 4.269309155817878 17.177203334994672 17.213655468863319 Si 6.484075142665496 19.353334390812446 17.210706089096746 Si 6.461903061817648 17.163845849640996 19.365628041855516 Si 4.319382580152420 19.305535882011430 19.357011639246029 Si 8.554020479205036 17.204387285769201 17.199570221611406 Si 10.784902372153532 19.302528886647863 17.221763297926607 Si 10.778412411579364 17.171234081873283 19.355703354665938 Si 8.660649168212320 19.327039809681555 19.295645265899456 Si 12.907641563717801 17.168191500537748 17.225163083692923 Si 15.003603896041843 19.305155960415934 17.196700437332510 Si 15.004778587925202 17.172339648169196 19.359370050706168 Si 12.891113490941068 19.347841344781319 19.318165883173435 Si 17.212807138919352 17.202535832456913 17.150455718910170 Si 19.295889428627440 19.343101082223981 17.155227336958124 Si 19.377326361711372 17.204651746681108 19.358970772953381 Si 17.164472400211839 19.372049956818440 19.329726139642649