32 C 0.027907324688661 0.015156220100874 0.009077465673617 C 1.642414319964443 1.701241693228810 0.009046302847380 Si 1.701318823418879 0.013393517036655 1.679289250293424 Si 0.016515069555626 1.706922460141310 1.664342859584871 Si 3.412435128962999 0.004211843670265 0.027364824458272 C 5.112644513025864 1.703893744093993 0.023301381298192 C 5.125562406514395 0.041854044052905 1.705688766919066 C 3.337047725312233 1.744333352626944 1.720182928047905 C 0.010616209225604 3.427485380637237 0.038511513042974 Si 1.717424005521871 5.060648472616081 0.024716666250519 Si 1.673377006878720 3.363666391142195 1.691459874055401 Si 0.015804512779599 5.086535689347178 1.704887236753830 C 3.405272761231387 3.419785256858252 0.002519912067803 C 5.048947611056591 5.097079728565170 0.003042138856615 C 5.090353140617417 3.407218190390866 1.706632589771060 C 3.408651013639355 5.100418522171742 1.706522655664227 C 0.028211714656443 0.002683007924616 3.364517302830637 Si 1.751149983237486 1.706463874537219 3.414209369148804 C 1.713761737819028 0.017875664913983 5.096507621421798 Si 0.047578067103380 1.730147650812655 5.070268541580697 C 3.372114346593144 0.006345575277826 3.395145509843525 C 5.092290233457963 1.707630738400085 3.423433276456559 Si 5.124383194248114 0.000122531138116 5.085986216537914 Si 3.419805629733834 1.715311313097031 5.112692584051456 Si 0.024267706291299 3.363867657151793 3.441688030271247 Si 1.713834250160276 5.101654673855041 3.396554157326106 Si 1.698799405229924 3.447103854788541 5.105230952377586 Si 0.009958914426899 5.083344006310447 5.077482354804431 Si 3.388239369392970 3.358574662794379 3.406286075301002 C 5.117772788644564 5.066013191757027 3.392463373990083 C 5.083825927513179 3.404962791305626 5.070239313636446 Si 3.420803469240655 5.102104762143961 5.092486204374580