500 Si 0.012325279933521 0.032196347440742 0.026484598417320 Si 1.956700350960537 1.963492445453720 0.009464537370680 Si 1.966235403851523 0.029416816604728 1.944841084695211 Si 0.031261743622260 1.957137165050035 1.952456000733513 Si 3.918144185350890 0.030556902759483 0.001619453296628 Si 5.941597295929227 1.933777718478530 0.003507872300374 Si 5.934723702858959 0.021277164918715 1.997118746397579 Si 3.922535917102589 1.979780292620820 1.985598665787625 Si 7.866806048038915 0.008595333653354 0.002582591930709 Si 9.895902053062857 1.970541579762799 0.017830734780694 Si 9.891067048236195 0.029916628843982 2.001108095461361 Si 7.871297117247968 1.957359648228965 1.966166512411681 Si 11.802957763288436 0.001554847630607 0.013812381638608 Si 13.819032246208170 1.954543317278137 0.000407069998272 Si 13.849726709919260 0.016892863254178 1.943156160776888 Si 11.863722444203665 1.939796507733736 1.984326754446031 Si 15.739643412709501 0.028279971444063 0.016951433687570 Si 17.718426656717195 1.994870463426624 0.021950183538099 Si 17.716487489241903 0.002173637952399 1.967323797090095 Si 15.812943221159239 1.998300010827739 1.956618590725646 Si 0.002584823584584 3.936557713638874 0.007784967061824 Si 1.976942849005402 5.882078454146384 0.033272607259149 Si 1.992401000524586 3.916665558164707 1.988310059650995 Si 0.020903212487475 5.878589576006163 1.960883090343680 Si 3.910011083815299 3.958038778782758 0.008200314223302 Si 5.949873014265612 5.918904859624534 0.005397791616692 Si 5.940588670486335 3.917041688544351 1.944624735727636 Si 3.951527488511641 5.904965501083109 1.984121766487522 Si 7.908004804516887 3.971406271479148 0.012489761506471 Si 9.827832302334663 5.932468651358320 0.004238124729312 Si 9.853780442031798 3.972393921580204 1.979558727422229 Si 7.855264611116461 5.965944706255045 1.944161158471422 Si 11.796388399792278 3.973730155438139 0.029658443043114 Si 13.829593299514368 5.930573065819916 0.001588606978027 Si 13.770251442593207 3.978573404735575 2.006162167732296 Si 11.864515754351505 5.922123280280872 2.010939481520172 Si 15.753379613850695 3.911908027537487 0.009672826080707 Si 17.745766797274729 5.967790662836170 0.029285128347982 Si 17.787832693993526 3.967521883184649 1.940333462596799 Si 15.775598347178207 5.870434320293031 1.991988641700446 Si 0.001386778026436 7.950534736023594 0.034783552833041 Si 1.953892229871289 9.901906623695647 0.003291449869412 Si 1.940164657192844 7.858808852113431 1.971001519558641 Si 0.025390719770424 9.865116664590772 2.004623962792673 Si 3.977039627711684 7.856230923736615 0.023328331345620 Si 5.904771178001356 9.862058900196242 0.036403279181439 Si 5.912440977468896 7.905925360057238 1.949512619918973 Si 3.958008009728652 9.824403162994287 1.970901072656699 Si 7.834701735776161 7.945802898756451 0.019674694606066 Si 9.856875156834628 9.856272936475712 0.005144072437415 Si 9.903442284252543 7.894201844514225 1.951813634607741 Si 7.860685863239342 9.840856000346664 1.981722641065806 Si 11.800831025408611 7.842151293688487 0.003339606826234 Si 13.816459190950331 9.931264240958274 0.014111005855135 Si 13.830668303902643 7.930900424210733 2.003012032785398 Si 11.861347016150070 9.818215335601034 1.993301896441136 Si 15.755306268942485 7.926774126250857 0.001714474558318 Si 17.730934314250877 9.842077625620636 0.000882278758305 Si 17.717797953155170 7.899702757735688 1.949522822319615 Si 15.791232767755773 9.881787004446906 1.938197972710733 Si 0.014822477762893 11.776284584409943 0.026434768676997 Si 1.965516726563910 13.819018343837785 0.024193852369878 Si 1.985040241010020 11.809829452972759 1.975135454822832 Si 0.022959460354484 13.777469159581228 1.990292149743597 Si 3.974458593758690 11.843436897854199 0.002285234425681 Si 5.963577751762547 13.744710211090494 0.013658561626495 Si 5.949286137357666 11.859957222239398 2.010910275498635 Si 3.924734555166013 13.800582654943250 1.950373756124000 Si 7.892339360262607 11.850086834909428 0.010616649736032 Si 9.900674578093357 13.774994105612295 0.033270625845540 Si 9.874436559476576 11.860383283499541 2.004090246747672 Si 7.871042490716595 13.813365804214378 2.011233993447915 Si 11.811732837090998 11.864763444085769 0.006962447484574 Si 13.784080794051437 13.816569723858619 0.021795113744393 Si 13.780790378379619 11.824960650669066 1.994440700242504 Si 11.870899528908877 13.805929883538479 1.980896624898285 Si 15.811271711742076 11.806050964191913 0.031159703618227 Si 17.748110789195668 13.813791271893033 0.009929599773424 Si 17.737319702679905 11.802842445163218 2.003908486338207 Si 15.757886227475193 13.782503726464276 1.938300613955164 Si 0.063352881873555 15.818571568601834 0.006850758042460 Si 1.934237519486213 17.781428759465040 0.026521171046248 Si 1.949785238505696 15.753482709515788 1.939869596819723 Si 0.015719074826103 17.781526301119598 1.983079572565482 Si 3.933709228449786 15.810102545539257 0.003643807446103 Si 5.942763030899550 17.746089826950673 0.007264108291350 Si 5.946692171969109 15.764826533195693 2.000154303292426 Si 3.994035171833043 17.774919165194664 1.967253759029067 Si 7.926847967774479 15.767893505836280 0.012801712239101 Si 9.896730989582807 17.792934784112951 0.026271216734736 Si 9.903565178388998 15.788952868983117 1.989054482968638 Si 7.875099490558833 17.746202911844808 1.970176809910014 Si 11.760000587112959 15.812576558239563 0.016828861902757 Si 13.821607464307233 17.744860648865519 0.020897006497539 Si 13.814212755791802 15.803652177250971 1.962761585039638 Si 11.832794471402233 17.737625444287580 1.951693850403550 Si 15.796882098784627 15.750897682565672 0.001001657346157 Si 17.775456169663983 17.771941045616302 0.058528809794675 Si 17.748060514952982 15.759965784101619 2.003925286501982 Si 15.811523615087342 17.732546081511924 1.943453238927619 Si 0.009375436226770 0.036888550886586 3.887517366433418 Si 1.993499998158970 1.965238547729560 3.935103992564564 Si 2.010267351038822 0.001246983183573 5.871053631587900 Si 0.002721784469664 1.971738592206199 5.903295155360903 Si 3.908763468955613 0.016205232188137 3.972760493405748 Si 5.948716090300737 2.007357678301823 3.968018385578657 Si 5.933392227795065 0.007612556068363 5.916767051510384 Si 3.967070128554781 1.978064424567830 5.982368805011056 Si 7.894214855247188 0.017228428199544 3.955694039050404 Si 9.877778445296514 1.999621371776771 3.982605898243740 Si 9.931443595681339 0.010306814795741 5.898863469278529 Si 7.916310329700928 1.936181357672997 5.892872377345872 Si 11.821703991809242 0.026578830506855 3.916933421442198 Si 13.784115355552183 1.989522817645728 3.972036349704898 Si 13.776379326436681 0.010484010754947 5.914360087865544 Si 11.870697748414106 1.991498644739158 5.927456747061368 Si 15.817499047968708 0.003657524934119 3.923058009034359 Si 17.723812487182688 2.011617721517103 3.944127077774457 Si 17.744022889974090 0.010252557309056 5.918237191233075 Si 15.792192338649791 1.997106225775603 5.944664414793675 Si 0.025168746077854 3.923485391777165 3.886263908021601 Si 1.979791474089112 5.881176815797253 3.982364510949807 Si 1.950632014054904 3.967157934432384 5.963510337850912 Si 0.024687720947443 5.911197758774748 5.860626975665196 Si 3.978197294571434 3.913884711711260 3.994819764654096 Si 5.906064908728297 5.952629444120883 3.917334533728536 Si 5.882721274695301 3.986716782613301 5.895609614842608 Si 3.931690281765604 5.949181037626773 5.912293017859845 Si 7.915096733392466 3.921195819518329 3.912347678621329 Si 9.890304213370021 5.882060239189761 3.913824207279133 Si 9.879016507945533 3.991410910390780 5.897616766551616 Si 7.834971772060271 5.928475437817302 5.914591174859387 Si 11.846040433042589 3.882866801566671 3.897587341180397 Si 13.832186082170935 5.896997278550658 3.936997926913671 Si 13.785378159237839 3.932987935652090 5.933065765559983 Si 11.824347350870054 5.885958038743074 5.850507603171359 Si 15.801063996362359 3.983667679095760 3.975067218759216 Si 17.786702945910495 5.932082256019278 3.950090355053797 Si 17.741768267161273 3.953918209177797 5.957365386641076 Si 15.751845344292750 5.886301881886958 5.881748799089294 Si 0.009700343511071 7.832631863106593 3.968726521059522 Si 2.004233428536334 9.876065294885645 3.911933751139297 Si 1.946286991371467 7.929171119207218 5.949615121997937 Si 0.039328790593367 9.885166347979551 5.865070671634133 Si 3.933574361394392 7.939863660439788 3.931599408379955 Si 5.942459796506247 9.852891229151053 3.945672793620469 Si 5.918271050303552 7.925501685404562 5.937249996921524 Si 3.941787014332299 9.880570349972803 5.936482088465535 Si 7.908601735906945 7.920955432639622 3.916120045946883 Si 9.896364305792073 9.898098765073765 3.934252594681304 Si 9.818952478756581 7.827537613369768 5.938699353004894 Si 7.864909176281679 9.832639142539405 5.894106212685083 Si 11.785391874078362 7.925561265385047 3.974583715144471 Si 13.838812482087627 9.880223683389058 3.970077977448177 Si 13.822070738254277 7.862039184053782 5.930646816787313 Si 11.803334846753801 9.889360844190072 5.922271560505769 Si 15.754715826564924 7.897628991763869 3.975943479884127 Si 17.744286785174761 9.896048186518371 3.911473947391347 Si 17.739431834178383 7.858108931751854 5.883131819728055 Si 15.763470388869322 9.830177929077358 5.905227202752601 Si 0.035846870270882 11.823471694593367 3.988908200999776 Si 1.988023365240133 13.799592806549295 3.919238247749789 Si 1.963386860765226 11.797893329939644 5.904708058374541 Si 0.027553010643737 13.792155430666732 5.920304345571950 Si 3.917386177634000 11.861825439774151 3.952489975680226 Si 5.897004320197563 13.785054587633244 3.926725439797323 Si 5.919210038412995 11.799527336917230 5.901336174355388 Si 3.950690542292960 13.826690483252953 5.909405899574530 Si 7.917988107278942 11.877299467020981 3.972522150397269 Si 9.824128217291202 13.814680425975316 3.965581644505978 Si 9.883667829363160 11.857571274833822 5.887877876071604 Si 7.885034558693872 13.821606081431741 5.950285153639671 Si 11.810518726717117 11.868769426829880 3.952895746495959 Si 13.825447947370002 13.867064546706631 3.931474434462407 Si 13.822659521269463 11.838897497518694 5.881087776796740 Si 11.798875682996425 13.796594890777662 5.876261365571480 Si 15.742541022380136 11.795075388494412 3.980690416217669 Si 17.717338578218119 13.848161997118863 3.914802750810060 Si 17.716388179888778 11.892697480638095 5.875007307739100 Si 15.744975431079254 13.776808226603084 5.959269607751785 Si 0.030211509824051 15.806111053612870 3.979549273260024 Si 1.993808252370079 17.749797371971507 3.925004101701991 Si 1.985306918898538 15.784863474651955 5.927271454867763 Si 0.002927069954800 17.715381672097994 5.896333630709783 Si 3.944836460152788 15.753555876053762 3.956877535787373 Si 5.888260502434497 17.783934869892978 3.920059037275820 Si 5.865042030869275 15.782359139332856 5.888721229969077 Si 3.943063681614980 17.771329765207181 5.892860333756214 Si 7.909185061949904 15.796768982542044 3.943071952496594 Si 9.875830823968370 17.793707657500509 3.972093996936569 Si 9.903785679605676 15.764603703560699 5.944267249312726 Si 7.909063205705210 17.735567703401998 5.924973409861180 Si 11.847827781090027 15.815731087264705 3.994042571655069 Si 13.776585632088402 17.726662822903993 3.906624489637145 Si 13.827840925446166 15.796792411230802 5.926415650102460 Si 11.812075466561593 17.742823688349588 5.981662112096601 Si 15.773797728542405 15.775251308117770 3.942751372162987 Si 17.736912654535772 17.724006037158443 3.921819763188793 Si 17.759790780065888 15.810908776143563 5.887162812155010 Si 15.784693472016768 17.734207652031035 5.853216796256406 Si 0.021009258587318 0.001130393670075 7.877116812523010 Si 1.967470144988199 1.936598000408751 7.865912232817967 Si 1.985673503465761 0.025712777701406 9.878917873756498 Si 0.014230338084168 1.939654489488303 9.916753490574095 Si 4.012233333303772 0.020386401298304 7.892667664369903 Si 5.911407572559390 1.992539598025029 7.925560953852341 Si 5.953099921424805 0.028853807955062 9.826519705496734 Si 3.934257284510143 1.970710542316099 9.846884231117958 Si 7.874165857957007 0.018736246830358 7.884495158698048 Si 9.898209503415275 2.011451879080827 7.862215994803658 Si 9.900368967520317 0.025318990967642 9.825142938931480 Si 7.885320621666305 1.947484956518327 9.865609264851310 Si 11.811429738647860 0.013132139631365 7.864925588627608 Si 13.830093440405170 1.986344361848244 7.883828767454133 Si 13.827401193887010 0.005683513048087 9.899479331589140 Si 11.826085552896673 2.006642234389384 9.887684828822124 Si 15.788617551680675 0.023991590461357 7.925675103974748 Si 17.731521812426244 1.936564555293299 7.859690278769376 Si 17.774988964778494 0.032609232020042 9.887045567300699 Si 15.793652462653437 1.943671200868514 9.886057179957549 Si 0.004361580867516 3.928745730191364 7.871017289903294 Si 1.942177089970321 5.879167781255473 7.862415414269369 Si 1.958947201761025 3.949653028300116 9.873524358295787 Si 0.031407237595680 5.899509446943439 9.841237495294269 Si 3.923069316919042 3.973899336580314 7.863210487464544 Si 5.881359911850360 5.946210727639447 7.887156366126538 Si 5.943010156844285 3.912845855411783 9.832575071906419 Si 3.895407029403949 5.929335607974789 9.911070458670675 Si 7.860520026298023 3.955279688717243 7.921488697146861 Si 9.883030742413766 5.899188617854214 7.865698057294663 Si 9.900163226814746 3.956250203300857 9.889314788998446 Si 7.867298777254014 5.955453814029799 9.818018037228150 Si 11.823812533868356 3.969085205130267 7.880481811435605 Si 13.809195208064235 5.886923779784937 7.872886126660793 Si 13.816600159574717 3.935921332727870 9.880849119276007 Si 11.820126123334095 5.892309964758083 9.844376335087151 Si 15.788067947974882 3.978149489547198 7.912844573671585 Si 17.773553967856863 5.933717959045747 7.940398272351559 Si 17.716570117149942 3.989366907460026 9.864994623401337 Si 15.771029159120662 5.948179711783086 9.919505675315651 Si 0.020714905290032 7.907949106303453 7.883114756766047 Si 1.940635955181830 9.838596620520207 7.860704950382478 Si 1.980859721493853 7.904506763797126 9.906379681678240 Si 0.030345916127668 9.859860115469223 9.869539823930117 Si 3.960892767957046 7.857105805618382 7.893363971965393 Si 5.900622294375149 9.841311663067708 7.857675845309311 Si 5.899493812880841 7.857188308598329 9.888479488538977 Si 3.966028175800793 9.864781420650528 9.827122658890223 Si 7.923888357171445 7.853952459728665 7.858037892802863 Si 9.902194963299584 9.852935874318703 7.862622489665134 Si 9.883952143802768 7.851540751223823 9.812353668564180 Si 7.889387181621961 9.904964495803934 9.873483523515675 Si 11.868996974195376 7.941371875190031 7.928662858715737 Si 13.832595089160316 9.912772439476557 7.922163899140170 Si 13.823425924233840 7.921912689971602 9.830390427944014 Si 11.873931452107515 9.817176873535287 9.892060505216071 Si 15.755478076908577 7.916056331891426 7.924920140862616 Si 17.750800318721151 9.812526695621575 7.879451799733468 Si 17.745132688798655 7.885486973961920 9.873882850979840 Si 15.749238490338721 9.865278101646162 9.860271666562122 Si 0.016534583890162 11.801247653393697 7.881462551413248 Si 1.943911362403239 13.834213735150769 7.915636956815353 Si 1.995391860792577 11.787907500711480 9.888123039451685 Si 0.010437607799463 13.835237876195977 9.897421492731739 Si 3.976979760776742 11.846732385238790 7.919403180917325 Si 5.946593538505149 13.782467960485270 7.904639884843874 Si 5.931390272413219 11.804487454836751 9.907505853981734 Si 3.982658400751661 13.812871687694582 9.845907116228146 Si 7.855276022738509 11.856146590093628 7.852637121403628 Si 9.847751357376385 13.806318746402082 7.864343864460650 Si 9.886584431566813 11.845635963003938 9.890182809813551 Si 7.866110836211692 13.807915090550328 9.886759597713940 Si 11.833566162780816 11.832206334872620 7.887125130848491 Si 13.821792439289842 13.830465872563837 7.918675610997722 Si 13.837459040319221 11.803421885510039 9.848698645992654 Si 11.834338738579318 13.842728131244705 9.885242328852028 Si 15.806810475444273 11.800574103860129 7.847719117249711 Si 17.782731288432675 13.801063341943015 7.938994717466445 Si 17.788239853207706 11.872418485867327 9.814735121948020 Si 15.748664804200150 13.835302531339989 9.825977309577913 Si 0.000475570808707 15.775441570359421 7.882888035061909 Si 1.982635259113075 17.785916310314583 7.914676167861240 Si 1.974212745219472 15.757516449692956 9.885355561686135 Si 0.036630541436593 17.719039187441719 9.875973950725433 Si 3.930247877972010 15.746204414191441 7.858985798527251 Si 5.945373343702113 17.741286877756714 7.859107303683230 Si 5.921072306777573 15.795764303455700 9.837826502477620 Si 3.978466977834471 17.732445027731021 9.892934319756240 Si 7.879630909436363 15.767175153886756 7.861400107599867 Si 9.854087201159157 17.745305291813423 7.892845832588453 Si 9.875683443636108 15.805281698895248 9.845004866368788 Si 7.857004476015717 17.757561495904771 9.858521098886905 Si 11.813040009110193 15.794541684194419 7.855208001874314 Si 13.787789229380000 17.749671194048794 7.835183549728828 Si 13.808255392130903 15.749377992864000 9.903821292491999 Si 11.842563014876884 17.725241211398913 9.816636686347067 Si 15.747787603908661 15.763625350544840 7.901928755828181 Si 17.717047797205471 17.740315729862548 7.907589961988378 Si 17.718182025879859 15.769452824825629 9.879948235324736 Si 15.783429204210403 17.788554268432275 9.826985730983813 Si 0.004882191333063 0.033218359083407 11.847743381520903 Si 1.992769290294406 1.986453929678724 11.811240210447796 Si 1.964978949400527 0.028823629458372 13.809165518846674 Si 0.035761185904909 1.981995618838699 13.770412980933667 Si 3.991985016295798 0.016747100220422 11.848735659163905 Si 5.947242007989963 1.982272750848945 11.862028277896188 Si 5.953990177264672 0.010858221549850 13.740565558113142 Si 3.984069451810954 1.940484980111265 13.810721247543064 Si 7.863108888890571 0.035125089404698 11.850725171493922 Si 9.900444787145831 1.970986602464889 11.847016684246494 Si 9.910971243469550 0.009428279571364 13.800948504724998 Si 7.891852669712989 1.953677760480480 13.778783706032041 Si 11.828467060268762 0.024222073775936 11.830671067679193 Si 13.832993314526796 1.986507919251794 11.818054683982005 Si 13.808360906815482 0.019954107474995 13.746634855223633 Si 11.839214992553719 1.970648931718497 13.813042160931486 Si 15.800825148930109 0.025170655926934 11.870126054491880 Si 17.719124710473427 1.993707763032253 11.807056913262953 Si 17.725797586197775 0.010279562949092 13.796987764340905 Si 15.771676913378014 1.939462181547692 13.793277820159300 Si 0.013190169971742 3.967614311740667 11.872984031240149 Si 1.948023026872917 5.897071417839555 11.785677950880793 Si 1.984360296230223 3.962952862461371 13.779920669579399 Si 0.001292526786405 5.893061793000249 13.817653243552964 Si 3.931444349966361 3.886286316739421 11.853528727064086 Si 5.917709550525435 5.923347690981243 11.826598773678905 Si 5.964249325070624 4.014745573360455 13.817615297160343 Si 3.980846162205610 5.928566119587301 13.808254333510229 Si 7.849611768849837 3.914757661826116 11.874768943251425 Si 9.871165662648322 5.896831486019494 11.789392497511669 Si 9.893239759410063 3.977539545261567 13.784762434689085 Si 7.878178394146017 5.970258086826363 13.769022619224652 Si 11.817075603555969 3.932629017576466 11.830571941992801 Si 13.779203774817184 5.930231173520889 11.801470366807083 Si 13.798429542039251 3.942900265578942 13.826440363248073 Si 11.867246685637005 5.946064486241390 13.785716743130362 Si 15.764315463877310 3.914250163445755 11.824912298461729 Si 17.766406155449811 5.960950688930760 11.828762998014898 Si 17.718733092197695 3.972337890824301 13.830959400925300 Si 15.794035280924248 5.958476281602409 13.844864506553218 Si 0.018876015736064 7.867523214649809 11.868896622311377 Si 1.945748324193810 9.853500188980332 11.863932177054387 Si 2.011570427217378 7.884861547204877 13.778008176809509 Si 0.026753766911328 9.842939328572905 13.795551599404297 Si 3.983234517543643 7.857737727540854 11.867703497143966 Si 5.932892241164645 9.835918486698992 11.801036103150397 Si 5.888229432401767 7.861337011939726 13.770392156708677 Si 3.907634802654079 9.900323150128525 13.751299748672746 Si 7.878224054019953 7.880430817844418 11.803342923640329 Si 9.837290624858580 9.865411722870066 11.873864980290755 Si 9.886655492848831 7.915361563072184 13.850037989440374 Si 7.904493060077394 9.914765169820059 13.801163408716580 Si 11.783697513451871 7.912314641251147 11.827520851329778 Si 13.799360937354589 9.856285360918449 11.818221181240993 Si 13.836310680663628 7.928654640966669 13.818191674792162 Si 11.846279582912192 9.902611412883946 13.830958677585961 Si 15.800113606473140 7.930133384184703 11.865697565884151 Si 17.742675401238095 9.854681862956713 11.811143080813469 Si 17.722929504900605 7.901571090031535 13.775460146715460 Si 15.752311388019436 9.862461502866452 13.845374564495435 Si 0.013091098642203 11.836438721199283 11.772123308692299 Si 1.951294090899820 13.813905150054723 11.797479654779348 Si 1.972193518531424 11.823399593517387 13.789372031295663 Si 0.034060787443176 13.826003992724560 13.801949944854211 Si 3.979847861702019 11.860693684754217 11.848020949521892 Si 5.951821578979494 13.783639385316594 11.827606736128530 Si 5.972350238731847 11.839170319914265 13.823595150789300 Si 3.939008116917520 13.824220660292932 13.837706988523559 Si 7.852091042183188 11.860592381870010 11.825979403975191 Si 9.880345144918870 13.818075716720282 11.871478822780892 Si 9.902436171540906 11.867120185704126 13.816426978919244 Si 7.924379313695905 13.788207129451751 13.788465222395256 Si 11.875391265724225 11.797077003701157 11.807842285452574 Si 13.857483487240133 13.770162383526378 11.814826515968729 Si 13.807473907492460 11.827507203459954 13.842634237902860 Si 11.889453004152180 13.774841360209733 13.846894899547001 Si 15.743081730116076 11.878695084458274 11.823324328468022 Si 17.732137343574340 13.818799431236764 11.861855486979321 Si 17.778756328272955 11.804281615428895 13.840756181638481 Si 15.810036676962177 13.832165785971126 13.783347301967929 Si 0.024589719509089 15.776449190932537 11.818856636646558 Si 1.990904015472101 17.792584489813446 11.834372665545036 Si 2.002035590440745 15.771953727795943 13.815210461985185 Si 0.007712922545939 17.738900054489282 13.812416790831364 Si 3.919536636039486 15.762335035390528 11.797498693253957 Si 5.916176660088335 17.724965532995160 11.815537010918725 Si 5.946225724493349 15.753275994318850 13.833949466850045 Si 3.982065895057934 17.732964935681927 13.799761113384060 Si 7.874590234383883 15.744381143884931 11.852455179247650 Si 9.863367958671157 17.744199719056848 11.832357310090577 Si 9.896446988723479 15.754437327482997 13.782125152706131 Si 7.856646616451031 17.792697832287800 13.847403155243532 Si 11.836989963801296 15.744832303317837 11.877130025261637 Si 13.773305165200359 17.744640369326945 11.798056684655370 Si 13.804761742416956 15.772347068005415 13.830954818863471 Si 11.814950672880617 17.740215172180193 13.815954517173052 Si 15.817480400945549 15.767511174310771 11.858557931034234 Si 17.756125195807176 17.765857729665388 11.790796115774524 Si 17.746896968790026 15.804159683588097 13.836455764979322 Si 15.785511989500414 17.756535473433278 13.807331013732526 Si 0.025855838767913 0.001485241595933 15.817529896705423 Si 1.942434150771741 2.003964006238296 15.765789350711435 Si 1.972614200805585 0.000090394827950 17.753208344352984 Si 0.023433523466810 1.997751847111999 17.788273839256011 Si 3.967156736306820 0.010429048914282 15.818441995223493 Si 5.941661580542228 1.958196942706067 15.766985556424132 Si 5.943994475836988 0.006112232367426 17.735537877307138 Si 3.982474398300992 1.967417184142445 17.739944001537246 Si 7.896138531246467 0.032681630497522 15.765891134369793 Si 9.871601281646580 1.958611795700227 15.810554126070697 Si 9.865904769163562 0.007077292413959 17.761010977553859 Si 7.881967080341122 1.965901869989088 17.781024042701787 Si 11.866107209822799 0.031352871322724 15.774946570296962 Si 13.790634120859997 1.991797534423323 15.810669065890627 Si 13.867407807210078 0.016739610603146 17.721761128572734 Si 11.876766112387886 1.970504392721874 17.735120882130055 Si 15.757670553807154 0.025636044063935 15.792604446678666 Si 17.756158456039334 1.933484529026202 15.777936719554424 Si 17.724901503564986 0.013289423637448 17.791411800282827 Si 15.778250372922862 1.984274058060070 17.756262174458495 Si 0.014152248772356 3.912325438314828 15.807555141329701 Si 1.975159276371173 5.940031898333934 15.804604636465559 Si 1.976620304790531 3.981905053180271 17.766296258829360 Si 0.033921845746972 5.911102596689105 17.787662934317613 Si 3.993325639119157 4.001909407980787 15.748866629052925 Si 5.957538988337973 5.954753521147266 15.785198391145798 Si 5.899778179774966 3.910886944121076 17.785757632839100 Si 3.924548647687689 5.910258901322221 17.715184546064283 Si 7.924777640727642 3.956969525380795 15.800549236651957 Si 9.788559376167377 5.902627966436635 15.758269926769794 Si 9.879030552122870 3.967367289527060 17.777814975963082 Si 7.880867926999144 5.881531984608883 17.757462034767922 Si 11.858465581812263 3.912505373434308 15.787469893200210 Si 13.781348331501173 5.879842145028364 15.818579774758486 Si 13.767499573909346 4.010226025143933 17.766559408485620 Si 11.815691538506522 5.913048641318354 17.727213206763128 Si 15.743657401325295 3.919758793803757 15.783609622731355 Si 17.746160778056268 5.960660882037776 15.764638187701342 Si 17.761559123292709 3.887528646782879 17.787720809725929 Si 15.793773320089871 5.995493580682473 17.732071529875320 Si 0.000819159948818 7.919509770147021 15.810120615811382 Si 1.957275342245402 9.897649086523300 15.753676644443825 Si 1.976914496752108 7.908812244676415 17.720014855123924 Si 0.000781860583193 9.914402037605276 17.751009295238958 Si 3.984639129668425 7.862687326956032 15.744939059897067 Si 5.953477175882864 9.831732164955413 15.815221892862846 Si 5.908632524789235 7.893347053003239 17.722668345265379 Si 3.923394043973668 9.862079435547070 17.733751260414312 Si 7.876893831304066 7.864350941145570 15.769838155124733 Si 9.811326531752965 9.864600870329488 15.778726595904457 Si 9.860935591174368 7.909933989820971 17.768787733487429 Si 7.854987041845702 9.848712245272482 17.767616637783558 Si 11.857981605992244 7.899130763744092 15.760308710912303 Si 13.803050281192695 9.858480879246530 15.754320166888297 Si 13.833192012214653 7.917139815739560 17.747546595980438 Si 11.816347016492504 9.830383184194718 17.718492160971863 Si 15.750034112053021 7.851959656686191 15.751696026290647 Si 17.787205023461613 9.870296827545159 15.769209436979002 Si 17.747514698708482 7.851110096126996 17.718759474691158 Si 15.779394395993590 9.826785440286379 17.715031061549645 Si 0.027912996107115 11.823763650633261 15.751938611351878 Si 1.997218785276769 13.836708719889289 15.776135745516401 Si 1.995283195152165 11.844971177477298 17.793713687997226 Si 0.002796142414809 13.864630279396865 17.764640028233277 Si 3.920518357895030 11.857197889294298 15.742438706192823 Si 5.896814299076460 13.829874024148936 15.794125650468846 Si 5.890674386210931 11.807176961719632 17.736905394187882 Si 3.891819601895517 13.757655271200370 17.749134796153101 Si 7.884958458286161 11.818390709758846 15.814916954555084 Si 9.840136089102934 13.782914679323730 15.794242337428591 Si 9.824637629550033 11.797590811099552 17.726547665679373 Si 7.919908535149096 13.870297729741255 17.766027212326360 Si 11.816805850201513 11.837975064712076 15.770549749755460 Si 13.779698420543596 13.842042114261352 15.811601068382954 Si 13.828330562418122 11.870167488265034 17.765117531509880 Si 11.850107146920484 13.783615534868110 17.772662720269746 Si 15.786421102826354 11.879714835187277 15.769739578453878 Si 17.732601967412119 13.802698238335156 15.742381373448897 Si 17.760671239388422 11.780249921106391 17.788089722793437 Si 15.780247147033801 13.822474557796539 17.719401411640021 Si 0.032385348207336 15.743449447814951 15.782074228226072 Si 2.002356211314564 17.757221916205303 15.764667176892351 Si 1.997293420052349 15.813871938395515 17.719091689700129 Si 0.062354925419924 17.731966402928098 17.765250561309934 Si 3.926023633979098 15.812672486685468 15.781422678544731 Si 5.952433703683444 17.761206237493347 15.760868667719061 Si 5.956921294932298 15.773912537574397 17.716831107379342 Si 3.993433670688753 17.755858775973532 17.730572550013179 Si 7.872961524894742 15.804351324468508 15.746640048597406 Si 9.908838586864743 17.733572112284158 15.812838633322979 Si 9.888876934383694 15.794017549516042 17.736162378114003 Si 7.878081188183852 17.754060692343760 17.735644253149157 Si 11.826104716653141 15.791850581964843 15.744650803267476 Si 13.854517179272127 17.758621526927854 15.751609197648865 Si 13.843683956935353 15.811759165220852 17.779475454035619 Si 11.844712587432705 17.719585383840155 17.783031599170062 Si 15.747848428296852 15.791291804210523 15.755277485053613 Si 17.776443652415143 17.719894502431423 15.771987596205472 Si 17.777231011490375 15.790862047846934 17.746443812652089 Si 15.758640847783569 17.763597859414325 17.785791314985914