500 Si 0.014248402186230 0.029766666991302 0.021244501729918 Si 1.973270492966083 1.971507788302075 0.034433557951207 Si 1.936995525748584 0.011400817891091 1.981587418140455 Si 0.039102718662932 1.965681776509381 1.956278116613241 Si 3.945934453145462 0.000563296795043 0.003596222085529 Si 5.944651827217517 2.007099623166777 0.017028338385202 Si 5.914460595000144 0.009480187982127 2.010634241276345 Si 3.929909144877157 1.934232877540474 1.933544395796904 Si 7.919588373527800 0.010325241147760 0.034810788168058 Si 9.825293230412525 1.935820643814692 0.001365187125617 Si 9.832943136065152 0.018514602875278 1.969396713775357 Si 7.888713277700783 1.949482944482686 1.968165326395254 Si 11.812272781877912 0.020434364588943 0.014625283821482 Si 13.783092506126238 1.956728352668455 0.019426445584204 Si 13.770256019176664 0.016590431034729 1.950723537416106 Si 11.859870203722760 1.995425596330402 1.968436837181702 Si 15.775153699049666 0.026558197091489 0.003365482975881 Si 17.774534581811672 1.962638029167428 0.021861434395313 Si 17.788231885412454 0.016427010476872 1.981831326999526 Si 15.804057476519114 1.997222073937019 1.977920781383352 Si 0.014499010024500 3.952430197143453 0.025903235262468 Si 1.954364032848390 5.955545289453585 0.035417399234743 Si 1.945583022187937 3.906792878156525 2.008034700917428 Si 0.030020473032775 5.883362850835640 1.997699282760465 Si 3.975259168549175 3.994128403479810 0.030789051707408 Si 5.938973789940335 5.931156463082390 0.000801729472566 Si 5.883266041171502 3.930569721663398 1.988448472506109 Si 3.960861791839948 5.950952178876571 2.008237900375677 Si 7.912331234446165 3.924722229438652 0.007180134949400 Si 9.892449254418814 5.874221126252421 0.008180503037980 Si 9.860928443764948 3.898025586542281 1.946072380313199 Si 7.855516642135814 5.939130521233680 1.997221209355279 Si 11.836641055143158 3.965215660443402 0.027618976075238 Si 13.846799337111470 5.880317621109425 0.027482894886239 Si 13.778263373647164 3.917426577407915 1.971158391455644 Si 11.797843580963102 5.897201146205131 2.000504866156077 Si 15.746455265623865 3.941210428084187 0.019691192536077 Si 17.735074351393937 5.936006775109977 0.017435993434277 Si 17.738343240626431 3.926049392041300 1.982207531353257 Si 15.784841013341390 5.879522455442554 1.993513045331040 Si 0.030115938112505 7.887712203369782 0.000085304277803 Si 2.010577115907161 9.836227009517541 0.029843500872967 Si 1.966445052592807 7.901187179275353 1.979994160831690 Si 0.015100528883812 9.847044144032404 2.008064179052250 Si 3.913730059324781 7.851071815303983 0.030669297182622 Si 5.876902870451545 9.822732415191821 0.000094851259518 Si 5.927167791145220 7.884888013695218 2.007644012311826 Si 3.966424798971372 9.853031976177126 1.977536263124783 Si 7.855354868294513 7.901035158884703 0.012380936303914 Si 9.828677316097458 9.883752889638011 0.006748481067527 Si 9.892213638020765 7.871824977131324 1.966729416464909 Si 7.870805294646734 9.864266907895113 1.944150115112138 Si 11.800008481837445 7.870690959360801 0.013471265940098 Si 13.822472463859068 9.890265646317175 0.019835581400962 Si 13.833393566055994 7.886881027534858 1.985870058103782 Si 11.866352607579477 9.855255349680290 1.939315806313072 Si 15.752572491189440 7.899899054642670 0.027205939952574 Si 17.757882924141132 9.844526544945110 0.000938793839712 Si 17.737943966868514 7.858655398040118 2.002726629683152 Si 15.801914375542237 9.833689530063864 1.950607336125501 Si 0.024653227394234 11.874241771120687 0.027943765089495 Si 1.972399344133837 13.777110704695948 0.001404833622829 Si 1.954044497793892 11.857716469265446 1.947571648911896 Si 0.008724613714717 13.837290335277194 1.976180227059523 Si 3.983074894870040 11.821874845523528 0.003461457908041 Si 5.945361689422756 13.817416324670139 0.026242980311883 Si 5.906619380099336 11.799288011921083 1.957925738734168 Si 3.993549623677992 13.792860233721152 1.997223804243909 Si 7.869284865249908 11.800893235711076 0.037157817065676 Si 9.842503934233266 13.777512685777763 0.015393041906565 Si 9.825662396220313 11.812075756688502 1.945994449205086 Si 7.906518699837918 13.841364024735746 1.937089866169665 Si 11.858863852413219 11.869025259397993 0.036522597795799 Si 13.832058508301602 13.799079679932822 0.027922221649699 Si 13.777058764700772 11.847920758498645 1.945803238260340 Si 11.848705334740671 13.827870319577393 2.010410750277174 Si 15.810810276372424 11.882189031215100 0.021879340818120 Si 17.742485140902996 13.862983364724315 0.010131755904210 Si 17.728356274171983 11.858782143476409 2.004644223981765 Si 15.809057522640211 13.790367506455523 1.991787640372120 Si 0.023122975603350 15.787215196757714 0.017983021468723 Si 1.962100833822660 17.758668181296649 0.025966233669151 Si 1.988067240639527 15.752088637040590 1.992860989224186 Si 0.018754079247319 17.772609292335723 1.967646460357281 Si 3.988505287920376 15.779885743004156 0.028854657507265 Si 5.879971667059735 17.739915955011469 0.006074130754781 Si 5.859894391998403 15.764899836651791 2.005793579847823 Si 3.969188298328956 17.731440756120861 1.938464051331844 Si 7.844314001941711 15.800934784854276 0.029623578108489 Si 9.837577011427285 17.723764018283269 0.039152646742831 Si 9.836580226996750 15.763895777755559 1.969163568243747 Si 7.891549206794683 17.734853128549751 1.962030138599781 Si 11.790342332120218 15.766073064713154 0.017446833787810 Si 13.841844514251850 17.727747177191421 0.029296518268000 Si 13.787512003528292 15.782980617715614 1.996857747649460 Si 11.794389422749115 17.724254283366733 2.000743515339086 Si 15.744255796414892 15.743761121143264 0.016489374197471 Si 17.742487875319789 17.764264675637463 0.044117478334673 Si 17.784049218560128 15.746476594947737 1.950089339876863 Si 15.803310098431949 17.730430446936680 1.944968954914192 Si 0.019335422142847 0.020239700222295 3.976966774720545 Si 1.956127021197249 1.947988206921844 3.980062780493482 Si 1.965611186847515 0.029214852762168 5.881812039828981 Si 0.021544034436517 1.975936335249501 5.880955813192252 Si 4.003728165494899 0.009965214193384 3.971632577567123 Si 5.955672477004613 1.971126650839683 3.951632087242469 Si 5.898622507125477 0.032613291765008 5.886527416673255 Si 3.950327493664187 1.981491935218998 5.936413512109127 Si 7.922904543869770 0.010004165084851 3.945927746883096 Si 9.895842167064270 1.967207961579392 3.977254127733464 Si 9.837932388530943 0.034096580381082 5.894833561015761 Si 7.871143640446188 1.955013485209980 5.947001196742264 Si 11.802961877510000 0.009563627759120 3.974411172024167 Si 13.787668899716557 1.969885722022812 3.943374443660347 Si 13.833077350330360 0.036494134755116 5.941018169837250 Si 11.800101219424164 1.997812490238009 5.913424067546718 Si 15.767820346286644 0.002523198630339 3.930878448177563 Si 17.734113538999786 1.945886377502980 3.927673117897856 Si 17.720078346284751 0.037297722202129 5.916439950833374 Si 15.819204612603949 1.962553707823147 5.940084091063030 Si 0.003298780475854 3.937249619154512 3.967733542175113 Si 1.998206507077052 5.938782922538064 3.981007201005011 Si 1.992663579630896 3.911074701416695 5.937768311257734 Si 0.026331147570003 5.914449264055520 5.890676020399450 Si 3.913338919487520 3.947872386279006 3.916059044235138 Si 5.930490179897561 5.920130420205162 3.917384592104620 Si 5.945157907947991 3.925832338692544 5.942587114764396 Si 3.917288296209256 5.928756404674580 5.939128606692740 Si 7.936487674725958 3.981225286240879 3.931981921604479 Si 9.853522691049255 5.954549849059135 3.980487455180028 Si 9.872034509584299 4.008977830838574 5.913755747889622 Si 7.899235478005911 5.949713401572830 5.928314367715235 Si 11.874667959469802 3.926921539335516 3.910563072059706 Si 13.837901020036217 5.937483553303983 3.956187299876562 Si 13.799913930739359 3.963246048496383 5.924142145893548 Si 11.870636878608861 5.921357763054376 5.955705085264890 Si 15.820871772645729 3.981884015484764 3.930540111748076 Si 17.728202648343032 5.920329338701322 3.983567087874270 Si 17.749081129938354 3.924196587204059 5.895546083656860 Si 15.748552212667851 5.922844512960179 5.883949898102695 Si 0.028809039276304 7.928634146656741 3.932341153993064 Si 1.984205512795829 9.862494447006927 3.973685680645122 Si 2.008350195176131 7.856459614076059 5.933133844723780 Si 0.038415192396745 9.843560156778652 5.916272176632348 Si 3.916953554722948 7.897641705040611 3.978463665001652 Si 5.885962187790411 9.898574783117295 3.933427979550104 Si 5.951889912826954 7.939225279592391 5.938729778865457 Si 3.946299931045125 9.846709716534939 5.941584331431716 Si 7.939926755790053 7.897022715119962 3.930380166216612 Si 9.888657220108437 9.894900324807415 3.958003284431738 Si 9.831842731463231 7.885323692828308 5.895404155866719 Si 7.905947026498835 9.859423799141158 5.954076701574166 Si 11.817138881482522 7.916698710418357 3.910051665100091 Si 13.799985713768251 9.867228595640436 3.943384815177446 Si 13.815215345273669 7.873568679786041 5.949414543873448 Si 11.809757346424668 9.894704639128358 5.913802346167254 Si 15.753504530540807 7.851942865056684 3.977422772102555 Si 17.775334422025985 9.867034437383468 3.888634747560472 Si 17.785693738520493 7.942401905907632 5.937642432151083 Si 15.794016539323241 9.886264974825654 5.915359234733824 Si 0.000312886569295 11.765860398490787 4.009371721249815 Si 1.957993595750212 13.832144192057472 3.968393912185554 Si 2.009602851388767 11.864818557467194 5.884596657385113 Si 0.002042708749395 13.803688599049503 5.972894111143847 Si 3.919066270691788 11.880334029752184 3.919461438875078 Si 5.921761975500082 13.819233035469441 3.956645506753982 Si 5.890119781687618 11.871051079444952 5.897884056596230 Si 3.912896255086471 13.837843748515414 5.901117528172718 Si 7.921894978705033 11.861015522988110 3.928969505716833 Si 9.871151441577812 13.807582547682410 3.972298074080887 Si 9.895698749236143 11.857346585007878 5.950483954035722 Si 7.930106401753127 13.824168832555648 5.897527522890772 Si 11.807248643179653 11.801143414998506 3.978989696508156 Si 13.769360025014903 13.765241553540260 3.983930559221937 Si 13.845568365778542 11.860614141723602 5.926958578673872 Si 11.810766261624615 13.836562948420017 5.957930081826459 Si 15.786649680137565 11.872454632111031 3.897684095981321 Si 17.768786521781685 13.784627117328172 3.934909899041788 Si 17.753256187523196 11.846608201024543 5.888662769596968 Si 15.751865625507197 13.868607955180149 5.916593308762748 Si 0.033045709365498 15.774481774813600 3.976688521840797 Si 1.939639854426411 17.751910000360226 3.980570998891250 Si 1.995757851727649 15.764858790930003 5.897267461765777 Si 0.026827779054211 17.767925841033467 5.922776685397258 Si 3.929596731440172 15.771924618418828 3.997418604453078 Si 5.956997081096100 17.785805476556646 3.918449315237154 Si 5.910646253525459 15.817703119768890 5.929620807826324 Si 3.919452716949681 17.758942944123227 5.918133671074466 Si 7.864026260178887 15.759317158936682 3.922871852982867 Si 9.841948675724229 17.729764374999931 3.911291119573317 Si 9.878349323708573 15.755997497807320 5.921013904767466 Si 7.895442337117076 17.749385388032664 5.907207181540997 Si 11.845789635735352 15.804942225818928 3.966401009888255 Si 13.786397624053334 17.778546750179991 3.885475637368971 Si 13.772851966660694 15.771532605408250 5.891541372879909 Si 11.829225884990535 17.730183392731064 5.917092137577738 Si 15.770357509815101 15.761484432412990 3.949172238136528 Si 17.756136134584089 17.754309081699230 3.948803622887626 Si 17.792084067945169 15.786420505500571 5.947420059628203 Si 15.746317156229008 17.790428995527748 5.972932807682512 Si 0.005581662548696 0.039442599842620 7.831207483130704 Si 1.945298518418866 1.979925654458486 7.865529836636428 Si 1.945940388566175 0.028987871852059 9.886216653776222 Si 0.020378014641100 1.937846332893271 9.876711090974840 Si 3.954277346241955 0.014082975657116 7.963416489238164 Si 5.886429162868176 1.995342165958779 7.915356773236918 Si 5.912966577559808 0.031358595629925 9.883434695475685 Si 3.981504665152216 1.940371404523405 9.886801912036598 Si 7.908438394370497 0.005234658096578 7.880488759171361 Si 9.841426310628945 2.002032666144798 7.929588926495468 Si 9.867288596300247 0.001125679556729 9.832966171453210 Si 7.916527878726439 1.984384814803437 9.828312566044014 Si 11.803794989335525 0.009759138784528 7.892382281208278 Si 13.847973436359531 1.936535768903665 7.852086585688239 Si 13.784853730343421 0.025099532380057 9.842210607720684 Si 11.837038229253828 1.961009972804035 9.886864124181852 Si 15.805310171138498 0.011048143713664 7.928627891910017 Si 17.759021347358722 1.998909427865254 7.919024520310197 Si 17.727076579073920 0.028200749286748 9.851369879229500 Si 15.772735021155665 2.011104641412662 9.839953933619272 Si 0.037994931727757 3.973513660314639 7.823182422250713 Si 1.990388186741671 5.945620827501439 7.912657585795316 Si 1.953685429424536 3.969848466097857 9.805246000013263 Si 0.017247686742239 5.933283973227386 9.849080591521567 Si 3.919051817181626 3.912981460060760 7.879739473634997 Si 5.929396946477246 5.934560383402554 7.855552063501848 Si 5.879782243749053 3.927985168076991 9.840805061615070 Si 3.911885219507313 5.912693958525500 9.889632294548978 Si 7.921289986084467 3.910026374685166 7.905534809729756 Si 9.863125988556012 5.945248576404197 7.873213036439211 Si 9.897649899038178 3.919077505900193 9.924656163492561 Si 7.913993819789230 5.944901256064233 9.799505369440917 Si 11.797807403799423 3.913742994468270 7.929635707670049 Si 13.785098595510549 5.925834394747757 7.870098676251325 Si 13.746550393941879 3.907443865757162 9.885591781495069 Si 11.823582206935701 5.904721724069097 9.891356606566864 Si 15.805567462654389 3.953078683846576 7.912018472616026 Si 17.783851671293828 5.979236192454601 7.964537381327660 Si 17.782875203169077 3.909839626476050 9.840348188892341 Si 15.769846960614062 5.914672024006586 9.824405174601317 Si 0.023721452922095 7.909736245667683 7.883144814979543 Si 1.941795313431595 9.849324751525021 7.918551559328380 Si 2.008073830392322 7.913010151169257 9.899849129334669 Si 0.033065073960844 9.895616096839184 9.875372062699135 Si 3.961725545346364 7.876134404454227 7.950465777118382 Si 5.887320230499909 9.828762642303001 7.851922707697279 Si 5.925495458197752 7.908564801257822 9.868838877485002 Si 3.936259204259154 9.829638537272382 9.861746222263037 Si 7.905555024212423 7.955899273371607 7.876554815696042 Si 9.849582634006797 9.869458850152785 7.890142135599544 Si 9.872716753596533 7.883479536936712 9.820644800383134 Si 7.895234417710021 9.874789917570608 9.878968685138050 Si 11.821005447051617 7.868347615522984 7.852230605468569 Si 13.787038634274701 9.882516995506336 7.886354696377592 Si 13.783940433377824 7.921694647856159 9.904248562767416 Si 11.798850159808580 9.831283537724044 9.794693033422263 Si 15.772013144409513 7.852256798723139 7.856299664671706 Si 17.721666896854874 9.870894246925229 7.930842102327190 Si 17.735992483595698 7.927918304597044 9.908397173315031 Si 15.804405264683268 9.847371176286527 9.871994457205940 Si 0.021503668269305 11.882001103251550 7.916238080599833 Si 1.964632997203357 13.767311696640503 7.925479876479772 Si 2.009899309087379 11.857224521413691 9.852742122113403 Si 0.001882410500591 13.786873252160891 9.892921256285570 Si 4.015278182607221 11.849889518831898 7.876035667367331 Si 5.896667372480044 13.802391815246258 7.915272687498827 Si 5.937455967111242 11.804816705337636 9.875781220378322 Si 3.932110421260361 13.859017019518200 9.892487447525877 Si 7.905223599957707 11.824823493501574 7.927137125562330 Si 9.852587833331992 13.799450294507007 7.924417314585104 Si 9.829150826977301 11.850594903471617 9.862208304480333 Si 7.929664662355705 13.770027238167835 9.821241899724331 Si 11.817496512628257 11.819046769207930 7.872842922219749 Si 13.776572249533267 13.840039926673319 7.851200069817128 Si 13.817910811764637 11.869503078083302 9.840218941625581 Si 11.802616375196088 13.836240274998930 9.832292269660288 Si 15.751608834616704 11.805437561883341 7.854958192358242 Si 17.772344562592089 13.849706838817820 7.855881925920150 Si 17.728713940579230 11.862492048971058 9.887833473083452 Si 15.758775742487737 13.772479988036856 9.849684391684352 Si 0.037402012192339 15.808491560913721 7.917070032943069 Si 1.969431284476078 17.760645363344963 7.868215414818923 Si 1.968294107519115 15.750584167833205 9.837469012972321 Si 0.013139302004158 17.731498233512493 9.831076635039874 Si 3.918650286786121 15.742977359514656 7.872585095529106 Si 5.942173349663491 17.756994275369205 7.853557423335842 Si 5.950930234884566 15.757446266622084 9.827675743131032 Si 3.936048341029790 17.761757844731761 9.863575027208453 Si 7.912555560025115 15.771056855985556 7.932065495030933 Si 9.883838598093112 17.785412190099041 7.830510199681434 Si 9.925749360453144 15.818713376571335 9.833125978307111 Si 7.919264902708386 17.738553834676996 9.898574081507210 Si 11.824842852641609 15.758713632286671 7.873298435297976 Si 13.801106751739992 17.744385813513844 7.856183372902764 Si 13.770652980376278 15.746396415633500 9.905125094234801 Si 11.809153551662858 17.755790825060494 9.883307150977966 Si 15.763033503274373 15.762444264864948 7.888481127847500 Si 17.759881083343405 17.781996889024732 7.913257011589207 Si 17.791740178532855 15.744862291913705 9.864379848546054 Si 15.799505336933127 17.746539013060431 9.814376637747285 Si 0.012730409434549 0.016005587163512 11.788334063317784 Si 2.002881277284406 1.956724215725592 11.821332322402313 Si 1.970832655648587 0.002151338836370 13.786140660487584 Si 0.017904935696114 1.995169472059966 13.767462164540675 Si 3.984152499859261 0.039176748513985 11.797650988003369 Si 5.914500408879403 1.949520543199524 11.870959592503908 Si 5.953760416402986 0.006993573320832 13.779161962172505 Si 3.942738550264798 2.005339678872964 13.784014258740662 Si 7.943635927053055 0.036830129804899 11.856513662504760 Si 9.831481215774515 2.007453290112917 11.805870069606740 Si 9.883396882481357 0.006028837937131 13.778280159583629 Si 7.922986262273759 1.942673365810065 13.867622389913157 Si 11.821846281440935 0.009678742128255 11.838655083980569 Si 13.856192422402561 2.003283545790843 11.806210435682841 Si 13.872576748953367 0.010217038753708 13.794896984508135 Si 11.797835225840927 2.010871896118374 13.837716759165628 Si 15.779438200273949 0.001769104015188 11.866937540375288 Si 17.787765220703250 1.972845108226435 11.864921174873428 Si 17.784839894227524 0.028498510447881 13.761607085343190 Si 15.818478721382375 1.975143343409466 13.794363114609391 Si 0.001944867311135 3.926187604190767 11.808643672564306 Si 1.976211200713742 5.935726597876380 11.824195509746204 Si 2.000905847442893 3.909207780048127 13.758408122236439 Si 0.015232988550857 5.905065001899366 13.844552608757599 Si 3.910865932624304 3.913780291549044 11.872825673051846 Si 5.942585804845683 5.936284817733572 11.808599583816866 Si 5.883134071550020 3.944213000913916 13.751522945118380 Si 3.969554146998099 5.896048154522347 13.791525350672043 Si 7.890345309744726 3.921461444775852 11.795961908688883 Si 9.899710631052708 5.872867201277294 11.817877670222790 Si 9.875866553842965 3.928164642006691 13.837678948583619 Si 7.855323642916700 5.905789870262606 13.820958221778699 Si 11.869456850379546 3.908222550598402 11.837055999195961 Si 13.834740013229229 5.904814779003282 11.874796143183969 Si 13.873294248621514 3.927284048409025 13.770153476511050 Si 11.818199494451751 5.912155694657347 13.808560198715485 Si 15.763229507204981 3.929316861579736 11.839086018609445 Si 17.715323919888895 5.887216925873203 11.868622215496535 Si 17.767282454818236 3.977986426057687 13.848941544410579 Si 15.746025571120038 5.900694092347253 13.850040548137748 Si 0.003655842595479 7.914558179704961 11.837949581557760 Si 1.983438951712760 9.825590685725137 11.824001959715181 Si 1.950534155161911 7.873221597148253 13.823987048225611 Si 0.010674755186602 9.839749678931481 13.756772375270083 Si 3.955296324604152 7.849925605759347 11.880264988466145 Si 5.900320657586814 9.859475519755383 11.872110403523280 Si 5.927954174915646 7.864791832008845 13.867430208090189 Si 3.914582946818164 9.821653488505596 13.787974225145756 Si 7.886765777531160 7.861263094605637 11.800241762431506 Si 9.889933941521614 9.840830575363727 11.845227894648406 Si 9.898474680761232 7.921803512771503 13.810797225681254 Si 7.923859932939288 9.814393001005646 13.770640336554180 Si 11.815392158126759 7.939639809475144 11.823149032519529 Si 13.758703706895995 9.887793238472799 11.800045717311445 Si 13.841320869984928 7.851526394794036 13.837083977652444 Si 11.840834628855015 9.874893215785066 13.858038174960248 Si 15.746479915785173 7.915821452508440 11.843868955121746 Si 17.724557517687590 9.861844994637485 11.805761680853697 Si 17.724258738880135 7.839745106926261 13.773317147391376 Si 15.761723279616204 9.838588387166709 13.831078860600925 Si 0.001066355937109 11.869000216159066 11.826689478658485 Si 1.937261257802249 13.774314169457869 11.812410743793851 Si 1.979008095640487 11.801961672151650 13.785170459991216 Si 0.031134956186388 13.805007991913573 13.854575831341560 Si 3.980387591402849 11.874983151876592 11.812621928399167 Si 5.939120449015183 13.793846039701412 11.809036376678343 Si 5.949907132087970 11.863931529150584 13.822167683871648 Si 3.980280456165465 13.825199073515721 13.812679017470295 Si 7.864500789140750 11.838465532317073 11.797322998875799 Si 9.871794817871610 13.872349856268599 11.882934130704610 Si 9.864890459996065 11.837229590784347 13.813879445984471 Si 7.925562515171109 13.843115099459784 13.851084325911769 Si 11.836685798630553 11.894455444704096 11.803277178105018 Si 13.819128704681702 13.835706805625133 11.880597151473069 Si 13.830487280408896 11.874037740684777 13.773371067690174 Si 11.798582786967829 13.843405325099560 13.805073416554974 Si 15.772779255165084 11.860644293366418 11.869448279411463 Si 17.787609601673449 13.777014912324031 11.813323762991295 Si 17.775974741936036 11.794194616344333 13.770612770032651 Si 15.783206258613575 13.820605964591415 13.822271314194721 Si 0.006483089340204 15.770408484709252 11.832864804362377 Si 1.967139603838838 17.747183030093364 11.874860344097462 Si 1.937281333248420 15.791427912724805 13.807765346360865 Si 0.030014094014580 17.782676136109153 13.843392424719324 Si 3.977971261326668 15.793314589496838 11.869509832896277 Si 5.904305714644951 17.781432462102778 11.844256324425457 Si 5.977088727830163 15.763078978150084 13.838436480709616 Si 3.907091657705490 17.716545675839146 13.840059634120843 Si 7.855586764975279 15.790809529201468 11.857217456647417 Si 9.837444254904710 17.786011256522407 11.782137796592588 Si 9.882790304812280 15.799795920269736 13.779185276475381 Si 7.916140046864842 17.783457496682164 13.840902434779787 Si 11.812481906009797 15.751798764765150 11.866363136663631 Si 13.814431729005969 17.756139559438921 11.832721697107775 Si 13.842297890487593 15.767959142986973 13.847122531567965 Si 11.825290362838675 17.729344264575428 13.787534541076054 Si 15.792095117196020 15.793872402731830 11.872915815576720 Si 17.786257813283580 17.790182663691631 11.759936826060132 Si 17.716960327398549 15.791046448305142 13.847851091543776 Si 15.791424345295686 17.745238704577137 13.795555777016412 Si 0.028226652760243 0.020327181688223 15.759670655703713 Si 2.010359048508195 1.984826600964638 15.761732964182560 Si 1.971511849707205 0.018938218501517 17.772156445335391 Si 0.005111926392785 1.956593888379824 17.749368762025295 Si 3.938108374615600 0.004173851355358 15.812035109759766 Si 5.880332055352709 2.000821022477084 15.801448486786786 Si 5.950660349440854 0.014673719332502 17.716821546459297 Si 3.888752650456120 1.998534718930885 17.741864135697401 Si 7.894612348732494 0.012464049779226 15.761620447802486 Si 9.881912616861539 2.006979855119476 15.749932156272950 Si 9.815816548516723 0.037721147061464 17.755821192499543 Si 7.948920820813855 1.996797636792736 17.769148944458781 Si 11.851308274955381 0.007237716165055 15.751953736101118 Si 13.783529661469297 2.000600287256330 15.790808484691121 Si 13.759932246113362 0.021853602299577 17.791610845493796 Si 11.859713647242971 1.960761339589583 17.728743377240573 Si 15.797970774302067 0.031376472234243 15.818402772805440 Si 17.752410189140161 1.979300560456768 15.777803749481880 Si 17.775195591799150 0.017466113782116 17.742321710619105 Si 15.775519345373434 1.942849372176539 17.727485195345668 Si 0.026722625857253 3.918317821593277 15.774701358639915 Si 2.004012160396749 5.884272236412475 15.748339472114347 Si 1.939706686024678 3.928959225307886 17.728918898202679 Si 0.026998331370995 5.909573200725722 17.720563770397234 Si 3.923152983105486 3.910933855507546 15.753228746984579 Si 5.951743779574986 5.955157174034163 15.747228042058833 Si 5.896309904958110 4.001221311494860 17.776709955113020 Si 3.949274421252844 5.886818025204261 17.722120981171848 Si 7.918740851106508 3.981259293145817 15.771444461730836 Si 9.855262625196964 5.920002349842638 15.799388899227038 Si 9.825740459091406 3.959838486497985 17.755826786634646 Si 7.886055553786551 5.937937043644031 17.762547180677871 Si 11.801886011889142 3.921810796612391 15.782165869773101 Si 13.807692241056008 5.872912039051561 15.817085840900347 Si 13.820383567455487 3.907214819633953 17.735929532485976 Si 11.813953937449670 5.904492141268872 17.758580820849744 Si 15.796461206742347 3.921363186159224 15.777349633183364 Si 17.725147657254972 5.910460873030281 15.798173557333708 Si 17.724128628550339 3.889544781961164 17.787617957298728 Si 15.769896414722965 5.922442087239021 17.760461597278812 Si 0.019923363090871 7.911482652233117 15.786778049589083 Si 1.934104322703275 9.873903474754783 15.767991519216165 Si 1.969726929112266 7.905687152851249 17.728109284897986 Si 0.026223030941775 9.842483840359199 17.780290313848859 Si 3.929564572474378 7.858850553488824 15.799245657876897 Si 5.888061852176569 9.895387096164026 15.800036625213400 Si 5.960307512547857 7.929489863890337 17.783429814949081 Si 3.967233511159105 9.833324346116216 17.787228794132112 Si 7.917404332029384 7.898510461503333 15.790944946501822 Si 9.850415421988084 9.865406024947083 15.816949090895992 Si 9.831410438376746 7.871761420814281 17.790724024896239 Si 7.905507656897488 9.835782127997174 17.785390710050127 Si 11.845189095732980 7.903731171370995 15.770643922156200 Si 13.839688810431978 9.842419405084437 15.797491342674043 Si 13.774437078164329 7.864239053626783 17.781625988177787 Si 11.853277846278679 9.867952986867007 17.740004034674850 Si 15.758717799097754 7.912046850411254 15.758292969861396 Si 17.781210244289866 9.870692670982134 15.751729747958997 Si 17.773741968809254 7.872510924896104 17.770824914435003 Si 15.782891557065716 9.854799610537150 17.731048151913097 Si 0.030180167412070 11.837961468227819 15.766173853104696 Si 1.951620445743363 13.827159926894323 15.774638783662139 Si 1.951732191377218 11.803047856128355 17.730820999621095 Si 0.007340614667784 13.759832225092934 17.749956514711908 Si 3.969520678108922 11.867303972210992 15.770055658913927 Si 5.897881901339722 13.778783067081024 15.785546597613420 Si 5.952351131538541 11.875645791187445 17.771685709051990 Si 3.941632064368936 13.834274555388706 17.778175627954454 Si 7.862710656905875 11.851008009739218 15.749420214845593 Si 9.828165514109019 13.774826867129471 15.780973188777796 Si 9.891076859316311 11.824661636351752 17.755268499068599 Si 7.871501134781926 13.777612116063999 17.753120681901596 Si 11.823218599934403 11.825429486032188 15.815099863796773 Si 13.814005294517663 13.839811732240467 15.808089083902388 Si 13.816336007619570 11.829844098158704 17.764644137492883 Si 11.859864969229076 13.794124708775866 17.730496041933701 Si 15.774387082480567 11.787909927023856 15.775992116483961 Si 17.738186927076665 13.815962081695712 15.820962650332374 Si 17.789492284157419 11.830414053633165 17.738033919176029 Si 15.778763331626896 13.798189067270727 17.731526982848809 Si 0.029051425904364 15.786662443850368 15.801883266700500 Si 1.950774130664016 17.733254566429217 15.788882004145998 Si 2.010542297852489 15.786948520893608 17.740111097776655 Si 0.062255049863658 17.735274315037717 17.771184383747684 Si 3.941254216698371 15.747266519434874 15.811462165350347 Si 5.933477398205467 17.774046023701288 15.781620695782792 Si 5.906242876914230 15.750331041551425 17.767453884443878 Si 3.920268186756388 17.718854652244222 17.729770127077000 Si 7.919337188397813 15.815191691846957 15.778405185121626 Si 9.849562407928433 17.736510752689377 15.802675548186301 Si 9.879586531758275 15.766075655644142 17.731322035920805 Si 7.903538567254451 17.716794355472796 17.734583365820697 Si 11.866942079512738 15.779225649216814 15.806939067240483 Si 13.798328311906738 17.782001783939545 15.748664375391701 Si 13.780855452545060 15.800490258498707 17.753932957712063 Si 11.834089279649296 17.722278494734777 17.727784647665988 Si 15.759457820603295 15.792775680421881 15.802835818602707 Si 17.766377737744740 17.787975125378047 15.771337993420103 Si 17.791079097206900 15.780999598538987 17.781106004010695 Si 15.766427396077939 17.759092590982853 17.757661569294246