500 Si 0.008264363127716 0.015532947966721 0.026265726337333 Si 1.926544542159702 1.906043038519396 0.035097179852171 Si 1.909971534585389 0.000364781704556 1.947307414850429 Si 0.032806043062141 1.956056925037015 1.886600190038614 Si 3.884256723150131 0.028831132075079 0.032829373405298 Si 5.774701355656957 1.934983353786164 0.016793605705156 Si 5.777696537732441 0.021383711907905 1.896198614202721 Si 3.860376235672208 1.913008430426805 1.865604125158068 Si 7.703687155131865 0.004486888437246 0.024190547922722 Si 9.602292026392416 1.915329746966822 0.024592517243828 Si 9.634273378973123 0.020694896522214 1.934400827232477 Si 7.672684814071538 1.939940765316073 1.924867427157844 Si 11.530694327843193 0.036530652481776 0.035664166533457 Si 13.482700799699677 1.957801596871115 0.030146574440529 Si 13.498187863569393 0.029323535866723 1.946641543562727 Si 11.577469565570844 1.856902548595646 1.942833956600771 Si 15.386151590873249 0.010889813814257 0.003518788672135 Si 17.299351737854888 1.956305357079812 0.001768230527964 Si 17.333204292294528 0.009895361453205 1.948104819865122 Si 15.413245129747878 1.945120674623346 1.921448082310427 Si 0.025161051639983 3.885576630217864 0.013149638507098 Si 1.921923173332713 5.818500011290773 0.034283053428740 Si 1.954209538925591 3.836331834074481 1.888239013704986 Si 0.035585526072430 5.740917464816821 1.951476121071134 Si 3.835006854748249 3.812672886173807 0.027558850601723 Si 5.768921537236376 5.777817503664214 0.021259554020529 Si 5.787250589922758 3.838953773293308 1.949265628428152 Si 3.839171296818579 5.739011340679852 1.915881821493267 Si 7.689764296466775 3.845520446480860 0.003942524473321 Si 9.628115416845347 5.795909801586376 0.005313240523194 Si 9.648693668712793 3.860532128325530 1.901372502028537 Si 7.669017654992025 5.748179589511326 1.888996983077217 Si 11.517674943885973 3.847873675110311 0.038026487068800 Si 13.509064447804164 5.770768444054242 0.010315441919702 Si 13.430201526090306 3.910250090455779 1.926796861747451 Si 11.561339040586095 5.796835013019447 1.956235718500518 Si 15.391188374495755 3.835404248712645 0.033266008471728 Si 17.358783442264212 5.756070408444458 0.014919643626064 Si 17.364305952610703 3.871573117132425 1.939338311304537 Si 15.372567692544534 5.806134564764952 1.928779647668062 Si 0.009905407006410 7.694537635920752 0.021924837413723 Si 1.885323248018845 9.591994587304923 0.004004130557087 Si 1.899317328985943 7.677514957565632 1.873588013169290 Si 0.013820854063208 9.635027086731238 1.925078484291394 Si 3.796456035013609 7.714156332943911 0.002628001543451 Si 5.741221006405209 9.636794739823543 0.009238173111434 Si 5.797516711721395 7.730839089673065 1.886108358039274 Si 3.881576972428351 9.583396956992459 1.905758554692989 Si 7.675439633029672 7.755871192166864 0.001580720674893 Si 9.669942185272568 9.589652840655525 0.003423974177972 Si 9.601201708367652 7.722894114826738 1.949353097132517 Si 7.679782431083743 9.634555166765473 1.938108543409043 Si 11.581187120649952 7.683445311093089 0.008389758223811 Si 13.511501435045997 9.630178121237840 0.037209925080421 Si 13.476600336063541 7.669794672645295 1.904290833690747 Si 11.527428384572849 9.622526559964539 1.920423755256268 Si 15.421655951220229 7.755304556784664 0.029201109927192 Si 17.357498708401945 9.618543509932680 0.001517660188859 Si 17.318952453010592 7.719149056196137 1.907795948685149 Si 15.377626773798946 9.589725296386858 1.910613123876107 Si 0.016488835003530 11.544719241168961 0.026785687923151 Si 1.905523247539890 13.491275217271147 0.027603596621216 Si 1.902215357418416 11.569734761493086 1.861990962701971 Si 0.021627127081856 13.483049088938570 1.888505565249543 Si 3.827336656370806 11.547928053929622 0.030488916548555 Si 5.801569028110243 13.463010344507030 0.001753044221836 Si 5.803714108980699 11.560787530139638 1.929659748637230 Si 3.815863654264568 13.477485331771238 1.958008282562575 Si 7.753758008462221 11.541634908202413 0.015223629120305 Si 9.625190035670421 13.476799592131274 0.008004186511821 Si 9.658631143752427 11.561133129473390 1.930800151592320 Si 7.724037395042955 13.451013986968848 1.898114590812628 Si 11.591573770105285 11.563251530271248 0.011135507771082 Si 13.466115365682317 13.504078326895112 0.012191042667838 Si 13.443840170403718 11.539853284716967 1.895605647367730 Si 11.553325404810019 13.469226644784026 1.951853598381893 Si 15.410933279208702 11.515713128957168 0.017137656941241 Si 17.301913776833207 13.454725130786425 0.027734662107391 Si 17.291853519660364 11.538952403132503 1.954480558663010 Si 15.422503723731644 13.497968368557729 1.912103503228413 Si 0.001550612110689 15.366435897219194 0.032353826756827 Si 1.958180226081109 17.357343159731521 0.003887805440645 Si 1.962843280391271 15.376601573673829 1.917576163249828 Si 0.009441480160161 17.321336273083844 1.955076314214873 Si 3.905537070102379 15.448193598669802 0.036996754071926 Si 5.744988871441553 17.323820358880859 0.018814230165710 Si 5.774942739623578 15.433368414037293 1.894979428423815 Si 3.822917912504416 17.346120754597806 1.939418301967082 Si 7.748788435671521 15.407464403797849 0.018893831935617 Si 9.646049167081607 17.360930486392924 0.030856733226937 Si 9.627460862606977 15.427022061234327 1.942994877736422 Si 7.711094847548670 17.337365502885035 1.928330221215801 Si 11.567900029369584 15.381605787375902 0.026269964301187 Si 13.479102337736785 17.300837753596998 0.019204133024876 Si 13.495965687970356 15.386664682132661 1.930552500639288 Si 11.583261033664899 17.330209545089083 1.883834724499138 Si 15.374805448953209 15.382083838847656 0.032124533892987 Si 17.295181584634172 17.300146511971253 0.003259733125515 Si 17.298684653255222 15.442370379288741 1.939304971039820 Si 15.403998369423476 17.364430119237500 1.955105433217595 Si 0.001422267293099 0.020096075665258 3.823868229480386 Si 1.960592856188768 1.927204928785659 3.845833223769254 Si 1.907378417298021 0.032471961901413 5.740847605633792 Si 0.009655934483664 1.907307160754005 5.771838293885173 Si 3.847714614841077 0.014467967123063 3.819645495859611 Si 5.764310444810159 1.951333985229707 3.844038365357398 Si 5.767893143841786 0.047607339272375 5.788626393494700 Si 3.825244579559844 1.927895582076812 5.830400136721928 Si 7.652677623077618 0.053488276246555 3.823253867417924 Si 9.645534982127259 1.927762037733857 3.871465593672815 Si 9.583547794503215 0.013331888481908 5.806995384272831 Si 7.725236357065457 1.962814772892987 5.769269689458779 Si 11.592990472798141 0.035609673456417 3.849373024441753 Si 13.489082946666212 1.961751513489622 3.839674375345276 Si 13.544668396933272 0.010609572629837 5.786795487288431 Si 11.583815156840933 1.906194159592794 5.795788146717149 Si 15.421510800080508 0.018709555632474 3.857542547076003 Si 17.306736249249507 1.881117425460706 3.857858844915709 Si 17.299928172844364 0.021273837892790 5.785876296296868 Si 15.394750493568294 1.946739102067356 5.810385496042069 Si 0.007987502206376 3.879920303748053 3.822960206873912 Si 1.955945913443184 5.770435446631512 3.885085767852436 Si 1.935223572053355 3.811093284870838 5.743956140176298 Si 0.030448986721923 5.735878941335971 5.791416719382675 Si 3.817473183156441 3.816672781303212 3.886685234555281 Si 5.778348552106872 5.763370497945372 3.857749826760826 Si 5.739038725594223 3.877425088289154 5.802609188852571 Si 3.876949780586921 5.754214588308326 5.749044906180799 Si 7.670067559469125 3.814346915086757 3.880556332433168 Si 9.668756521563331 5.803051756512307 3.861181159065901 Si 9.616219968740406 3.878779100606825 5.792166928626694 Si 7.708463304228939 5.768462819936754 5.765863178765852 Si 11.581057837451784 3.834585959046517 3.866940253095712 Si 13.493927356706827 5.778275339591402 3.845733853048431 Si 13.513853688528414 3.837579578604673 5.755005275532553 Si 11.565684289335413 5.778769047158821 5.814187381710211 Si 15.403395626186175 3.886606556510689 3.851902738273578 Si 17.336855479291113 5.756374481484936 3.853102878665244 Si 17.321761957059405 3.860566189110249 5.740405744569468 Si 15.434382698996073 5.797121162407473 5.755645429652187 Si 0.020397210764161 7.736535516614695 3.872483006403181 Si 1.945150839129664 9.651578530176252 3.834669421253841 Si 1.905014632786468 7.716937767524489 5.753819973141087 Si 0.000977700610154 9.614159972027551 5.790633864955132 Si 3.836732533793458 7.723844508042282 3.796792467127853 Si 5.816415102161230 9.656760560742006 3.829711542090863 Si 5.722236409231328 7.700813184902934 5.807241873018648 Si 3.838019194627027 9.663663581242462 5.707796528156334 Si 7.722415277292344 7.694829758716875 3.831499826954328 Si 9.664313063247178 9.651139275671529 3.825774725926292 Si 9.622943737201043 7.675519968298912 5.779251065731687 Si 7.693388301880977 9.621651208418513 5.740807920434502 Si 11.551994965021970 7.679150354647983 3.849745166165308 Si 13.479840526731346 9.637474094324906 3.884878602990085 Si 13.536008210631303 7.721052549362678 5.800738585562217 Si 11.530179006361550 9.622484639301691 5.789480623141146 Si 15.437059210937903 7.749328957210939 3.867879293173152 Si 17.303478404791626 9.584256020137065 3.877327326459343 Si 17.366073010062589 7.733924950410034 5.781006432992414 Si 15.401669456404155 9.622668738258101 5.740936072814359 Si 0.024264452406148 11.525376849819665 3.826779468734916 Si 1.941938840946145 13.483890717550596 3.845056277761325 Si 1.923797350316947 11.563422020542690 5.799408899243859 Si 0.033594163105530 13.497056168882052 5.790128269280310 Si 3.885998700169513 11.551330246959598 3.854632966518782 Si 5.775076185678536 13.448844127394278 3.889036758338160 Si 5.747834210782168 11.543039696537981 5.766945135539956 Si 3.861070264864068 13.432265924030919 5.786828713356327 Si 7.693420352343718 11.571672257606085 3.875629701697808 Si 9.609894128230835 13.443237289613641 3.857971702360047 Si 9.591577958932834 11.570460871871447 5.755041111444505 Si 7.716128000050875 13.489788586846633 5.738989038936887 Si 11.570088006700566 11.513611088348751 3.822835119081029 Si 13.500019849232100 13.447932515857199 3.893504197059837 Si 13.471716060222297 11.594340288409818 5.784351868389764 Si 11.518616938339273 13.494057461525621 5.754602648358441 Si 15.396755296150348 11.558639141613106 3.879457428653752 Si 17.338503592499723 13.454960515004677 3.818774946727821 Si 17.357735599095800 11.517971712884101 5.777344404662714 Si 15.419331657881120 13.505701472312898 5.755542899733083 Si 0.010088037808518 15.400787521970393 3.855908640760612 Si 1.888802831747795 17.301905283091251 3.873700483117743 Si 1.923812306255494 15.395634613241942 5.739524071809243 Si 0.018893808324545 17.367109396198877 5.834662860502336 Si 3.882573131505302 15.435164113787904 3.879795578947837 Si 5.764244619312436 17.343151106641407 3.880061681549253 Si 5.747446701980780 15.373174826764709 5.741073343081304 Si 3.826933076035795 17.310202445679167 5.767175250791695 Si 7.732891995173220 15.416451029270531 3.787858216011098 Si 9.601862928054103 17.330799152605380 3.894978695982605 Si 9.604550091639652 15.399680267341729 5.764267017043828 Si 7.680238517888032 17.368171295426514 5.760024356653866 Si 11.539443809435880 15.376376728027260 3.862716405541670 Si 13.465223528405675 17.334404951066094 3.859530139588265 Si 13.458433920934391 15.404379385476265 5.810413767397376 Si 11.571841491821592 17.314471452078951 5.793191039108665 Si 15.441322517331761 15.457197245824355 3.880444788319413 Si 17.310731443062448 17.361796006244013 3.884768765921934 Si 17.346897940366237 15.389725397836170 5.744337699118499 Si 15.406418222490897 17.304459212089274 5.746406207017289 Si 0.012202545752430 0.023523935596491 7.735901729299332 Si 1.954636939302425 1.915302012921609 7.721955620820567 Si 1.900449455027653 0.025176911776782 9.684251165097315 Si 0.027567423499500 1.944403387334966 9.587047544273299 Si 3.854882071418604 0.025596676696989 7.737115355121365 Si 5.827904831470846 1.943523653148408 7.717069629534776 Si 5.790940441000967 0.007683947376208 9.611753614461566 Si 3.839801479594208 1.952425482094753 9.603125636244730 Si 7.716242776746923 0.024934054332766 7.677372994155465 Si 9.607026915373643 1.904018267249850 7.683871752557409 Si 9.626473378543693 0.027227973637435 9.652430702127502 Si 7.693600425490711 1.940928069633753 9.620559873052173 Si 11.612944432971979 0.031419454552875 7.721798629645336 Si 13.460764532562349 1.946313096150187 7.672587289816149 Si 13.460167669979153 0.005784733138247 9.602511746322591 Si 11.587959987703444 1.887823420357907 9.623283256621725 Si 15.395661643575020 0.023984688565137 7.715464688861960 Si 17.328029958334046 1.889365211559467 7.680781808269442 Si 17.331120211172255 0.034420205469754 9.591462136575352 Si 15.420407308530004 1.908965122641647 9.590534469015134 Si 0.008497849946630 3.808916236077627 7.666272556630458 Si 1.894115645616554 5.794062774013221 7.731614776137500 Si 1.949351614098574 3.898083169912956 9.648247618439376 Si 0.009729926163018 5.788886693222264 9.636275830847259 Si 3.848280992078206 3.816912529587619 7.671272129033188 Si 5.815364139932925 5.738489115005269 7.680840807349643 Si 5.793017227917588 3.823584863305764 9.638834157421893 Si 3.835764110781846 5.805402719312478 9.636105130958050 Si 7.682925565537803 3.851699236140383 7.690025986324441 Si 9.651498439472187 5.793099092139331 7.677450581576549 Si 9.645550309173771 3.865764437730426 9.654713800516099 Si 7.695479486191135 5.814941770209919 9.617840696622677 Si 11.563277556583930 3.834368458849537 7.680081933986895 Si 13.514476760702854 5.758192355038628 7.706762637926806 Si 13.489991395383210 3.884273023953328 9.621305006305297 Si 11.521555672325581 5.749500453432106 9.615998367510663 Si 15.395598460963999 3.883483752911072 7.688696918042706 Si 17.331091755105621 5.797162117747854 7.757439317472242 Si 17.322062805815797 3.882963103840170 9.600942987571541 Si 15.387162436254641 5.746907210289192 9.616468109253221 Si 0.005241707580576 7.730628967479123 7.671889328152677 Si 1.928446278881026 9.607927751111996 7.663732925192606 Si 1.917763932497500 7.684365806472334 9.621646682386816 Si 0.004986087682804 9.605755750979435 9.627084314140099 Si 3.815811291183531 7.697913229188569 7.714775969632619 Si 5.753928730672262 9.628285435345290 7.727223640627834 Si 5.806918678799145 7.686670649402767 9.594587481085661 Si 3.839975074464235 9.641547287115619 9.595389056362457 Si 7.740133166745621 7.738135223956760 7.723865694433483 Si 9.626129183113004 9.609634445537528 7.691073927761948 Si 9.647009306623476 7.727519161400819 9.631809516401681 Si 7.713103855907984 9.655821006037758 9.599428697582887 Si 11.543641459842489 7.720198674803033 7.684562320647699 Si 13.456529313155768 9.608526277270615 7.667232541420512 Si 13.497008346568467 7.694303243459414 9.633668386610038 Si 11.612726256718968 9.626002939423634 9.665934791560252 Si 15.428965110056888 7.696479986887253 7.726610074566723 Si 17.305158079279501 9.615799294217284 7.669459285058741 Si 17.353760355443875 7.727036589849168 9.674929407913719 Si 15.378943772417712 9.609319748630949 9.640962242511852 Si 0.015520618051112 11.562772398236891 7.694002219558698 Si 1.897230080967014 13.458439981504979 7.737179232257552 Si 1.951189366800735 11.586306108346436 9.651198279240212 Si 0.006745046468789 13.502137997635581 9.600029783642761 Si 3.828711770548356 11.517904483905422 7.709449409612074 Si 5.792230594622657 13.460859172696026 7.733955151778926 Si 5.761685813177698 11.556563115971638 9.599309699666588 Si 3.873015180566109 13.457483775834616 9.647223661229477 Si 7.668285668312390 11.557446021405330 7.667312420118217 Si 9.608295399437065 13.448914242527454 7.707890023660760 Si 9.599899255697869 11.521914182788040 9.617107655617193 Si 7.689580058578093 13.456655614532462 9.620398375937789 Si 11.546248920064652 11.566506191723656 7.732781905571918 Si 13.524293528811164 13.505333388285177 7.700906048491309 Si 13.461033481685085 11.561755819593115 9.586974335529959 Si 11.580587907872900 13.490617199143232 9.594374697541323 Si 15.372449965466517 11.522938047213307 7.678387757966010 Si 17.340710770529196 13.494614952299431 7.733891239567273 Si 17.323995007699732 11.546264763034317 9.646336367091216 Si 15.397412223350354 13.454545822961068 9.663378230176464 Si 0.009666961882392 15.396761867900407 7.679134363334045 Si 1.961952629059517 17.299240849599773 7.689956144715622 Si 1.932096721649543 15.381737131937690 9.643667637893182 Si 0.002754744144482 17.320505003832960 9.634055729746809 Si 3.835294983456401 15.379039213734456 7.664071456736207 Si 5.782802966133644 17.339731814490353 7.744601036797559 Si 5.795270098318285 15.406778582423634 9.651329106727868 Si 3.814117676419700 17.360471194649477 9.644103521168072 Si 7.691703155128636 15.433572718595238 7.728841911069055 Si 9.624133845480058 17.311720926143828 7.710753947568003 Si 9.596347048245697 15.407395549123738 9.598229701141836 Si 7.714758176694383 17.358746954584653 9.611448425275677 Si 11.582808886796139 15.382886659919887 7.676645868458163 Si 13.457867879601597 17.296842475399792 7.703331495373011 Si 13.488873515510006 15.404709165504434 9.576535914803188 Si 11.547665142507203 17.296923005147956 9.659055630085701 Si 15.425353985924806 15.397697799229004 7.666553121124983 Si 17.338567229278457 17.293764548389888 7.696990617581704 Si 17.367487211349797 15.412821955579281 9.564563519410783 Si 15.402768353328728 17.291410520951519 9.607040832000203 Si 0.005994024213548 0.009679330522549 11.558837349009536 Si 1.936901690722231 1.926629647410006 11.576225545774516 Si 1.958432893957734 0.030561432845695 13.468626489093309 Si 0.030316231871204 1.893148356183579 13.515470742366460 Si 3.835858105405820 0.025164984084539 11.527586928623370 Si 5.801194319321302 1.958783212749070 11.529073169733595 Si 5.746548864804438 0.025376203293065 13.495139970156080 Si 3.857314003794051 1.917354676784983 13.447028034333156 Si 7.726000925041115 0.016139124641850 11.481745302509990 Si 9.618490840613314 1.929579858914781 11.577805478451655 Si 9.679871250195442 0.022136054136382 13.450177559678462 Si 7.726094549661777 1.903828285814549 13.428569443333414 Si 11.563376727411198 0.025616368125141 11.586233529895543 Si 13.509518514508022 1.946567187763961 11.558550914553955 Si 13.506493022495784 0.013745781301413 13.488395963058595 Si 11.537214746772756 1.936890030006378 13.515061337899297 Si 15.408036789780303 0.020880870528799 11.554646457826992 Si 17.357651576936568 1.889579237932635 11.537751359990159 Si 17.291887475254658 0.009131782850369 13.516458378023346 Si 15.380100672320246 1.920597820291432 13.482968346124482 Si 0.013393743069052 3.845356581113436 11.539995310356270 Si 1.938023966520780 5.769531112202697 11.551324119394325 Si 1.953315867932206 3.818990262510268 13.452630570022199 Si 0.020068682461005 5.797751277815414 13.467561343699444 Si 3.816210591530581 3.837943727456397 11.580822302472274 Si 5.741468368178962 5.787183782534831 11.586199118368731 Si 5.800753550114292 3.861938190487266 13.446468069101662 Si 3.854576473091657 5.739903705761564 13.479184412908230 Si 7.696010034299378 3.867165486849372 11.562873310228746 Si 9.658399688394772 5.829231749322184 11.558884040953137 Si 9.641891244320348 3.872330342967015 13.514474661593175 Si 7.667590612681214 5.760723445457021 13.462149923690458 Si 11.518535064997856 3.854447718214055 11.558068564001696 Si 13.465900581272283 5.741553698938849 11.554567660724169 Si 13.492441085060433 3.836657240126367 13.510970161650981 Si 11.531738743150321 5.782803631832057 13.511454900659212 Si 15.390067164439383 3.807058368759882 11.525352063740614 Si 17.322976517145133 5.803620332734083 11.554597961602182 Si 17.352793770992804 3.807563729682592 13.444047934840158 Si 15.407317417279735 5.801753774197231 13.415747176428864 Si 0.012527490930004 7.641298974866949 11.550208499293069 Si 1.920895612166624 9.579884728697614 11.562584044602495 Si 1.893975443472081 7.694698868670154 13.461362065748148 Si 0.010810255421014 9.591178310200416 13.444157818127950 Si 3.884085175577535 7.666753951935654 11.549323431930656 Si 5.792583803637039 9.653342037189867 11.586506013693846 Si 5.721366104328371 7.706891261416190 13.515647681131027 Si 3.875657783369352 9.647233505320544 13.492132108761529 Si 7.677684514775011 7.680998075628126 11.581323008804917 Si 9.644534332545630 9.662563179558513 11.553540362162444 Si 9.604725279932410 7.722708770026363 13.495560252001731 Si 7.706772311334533 9.605176730385505 13.440496156447397 Si 11.543328328014551 7.718472396125677 11.576779376918349 Si 13.507125982472965 9.636988012628153 11.578320798046651 Si 13.513712755127925 7.712724362338045 13.447516938639335 Si 11.590907181231577 9.596199684060553 13.489713452281519 Si 15.377170522864676 7.736410837158238 11.567288029137673 Si 17.339910032213588 9.639910006859866 11.547380850264076 Si 17.346577434238636 7.738539903621263 13.466148401929576 Si 15.405226835890312 9.609076931420736 13.449232634203113 Si 0.023642752085615 11.563216170583084 11.561082525614461 Si 1.938996050169827 13.460930384329515 11.545139283047446 Si 1.945008322630907 11.552574228130197 13.445343427871716 Si 0.018660673429522 13.452734855727986 13.442780942612654 Si 3.828383550539791 11.530721792062634 11.484127882610771 Si 5.753233301031075 13.503288863277938 11.586224899333256 Si 5.742142630768448 11.573680991996614 13.450195648360570 Si 3.796172609821631 13.493622582781887 13.455303065192751 Si 7.712159543571225 11.529147546020766 11.518490092459835 Si 9.595201347869533 13.463380091195498 11.566063456286745 Si 9.632120004283403 11.589014521574144 13.477297666612523 Si 7.695079434419719 13.458999330847982 13.490088548947497 Si 11.525617103130893 11.544838976110189 11.526430366079628 Si 13.467981426313099 13.479981829670487 11.528710141463918 Si 13.482293791993490 11.539540719057388 13.454403067189851 Si 11.554232129499582 13.516355045549664 13.466804070645292 Si 15.377211125294204 11.556162925803482 11.588853391509952 Si 17.323502820779030 13.480083562394562 11.493014560164374 Si 17.301557758559269 11.529863231502505 13.422636838608199 Si 15.441819662635181 13.486137122531339 13.460981942934534 Si 0.028963054604835 15.435596370054785 11.529536909544545 Si 1.883804356018062 17.359025852390303 11.526091756964986 Si 1.906785963774178 15.391759971820877 13.491765107963657 Si 0.007735356218977 17.333691877302606 13.444742715878705 Si 3.875391391946103 15.437731096750145 11.599385970349664 Si 5.787301989706887 17.338289280512338 11.546846961451234 Si 5.794847518038122 15.373820686528889 13.531360086967203 Si 3.884268215473778 17.350078158524664 13.465895436907166 Si 7.667291838346859 15.430519124091745 11.600449282450235 Si 9.646376068410515 17.335797100244591 11.576348270041580 Si 9.621104130863721 15.380696948487595 13.494706795053972 Si 7.684298972952440 17.302002584954938 13.505710620945651 Si 11.591116433108063 15.398402920738022 11.502811945733802 Si 13.489493517370532 17.338616198073026 11.563852337647750 Si 13.515623675650028 15.371927824102467 13.509391742006473 Si 11.596787282448053 17.324281073645402 13.444318838548060 Si 15.375056275866703 15.375441024066903 11.554891995809168 Si 17.292895005445398 17.365660166516093 11.516506449022380 Si 17.317455636603885 15.406114115388176 13.476541842846457 Si 15.412401180187913 17.304669174469396 13.515405860362597 Si 0.022536264586242 0.012015425123259 15.407733240146360 Si 1.931264353305888 1.948187433630818 15.391876032417409 Si 1.912000452858785 0.007264876932815 17.327881498036614 Si 0.002328171395410 1.962428394451536 17.338760997711752 Si 3.858065254399436 0.038110565332650 15.396341097781557 Si 5.795840260711350 1.963871770424447 15.401046614219917 Si 5.765130057375464 0.003511622899609 17.301090356185316 Si 3.851269756207571 1.936177649273542 17.340205391502622 Si 7.664190319567190 0.011927213395223 15.366378909579828 Si 9.627149846288605 1.912958702253667 15.383162060268173 Si 9.626553927167794 0.033246152282795 17.314294836388903 Si 7.682271857062472 1.959129261894081 17.339325607033320 Si 11.596607942133000 0.032875807045761 15.379503639216574 Si 13.434645033598358 1.941073618367129 15.369169314002734 Si 13.535899182155774 0.016315307952640 17.335237316707651 Si 11.543473611778683 1.900467295253219 17.317115435188796 Si 15.402750962633556 0.034970445422238 15.377417542724181 Si 17.330933794322579 1.963470974735646 15.419161837203797 Si 17.346640561914914 0.032723861116398 17.311426745429447 Si 15.399889855392976 1.935696151286088 17.317670381552251 Si 0.016418459011634 3.813160211295805 15.383310884205864 Si 1.924047892438641 5.801722907517609 15.454655903412586 Si 1.938967026093586 3.822055512393906 17.335106722015450 Si 0.019507991740609 5.763948156289431 17.308032796350950 Si 3.891106561387005 3.876026301859649 15.428005330784275 Si 5.749895792891597 5.736210402761297 15.431903564305806 Si 5.814617488268753 3.882495947768350 17.319753364995197 Si 3.825350993981494 5.749200934587875 17.328610407027551 Si 7.727025012343229 3.845930636549777 15.387244616096138 Si 9.645412842457272 5.846467231479261 15.433260268635239 Si 9.642360885859105 3.841542691841502 17.352378382035941 Si 7.722045093352502 5.741052868337047 17.331364830928027 Si 11.527917803080673 3.832154050636268 15.366397492709389 Si 13.494655549297441 5.752513425208265 15.384004386179154 Si 13.506134005527416 3.833782005805686 17.342438244157425 Si 11.609214296854317 5.755651837966832 17.291671898215903 Si 15.388377267903053 3.814629564097027 15.413288905640524 Si 17.343460474460851 5.763510758258512 15.422126979428766 Si 17.361876711639724 3.824445232975581 17.294369221437837 Si 15.370862809222521 5.813956097084869 17.367273824348903 Si 0.027710067619803 7.666132852069608 15.412720922382473 Si 1.895327007031368 9.618110948095385 15.400687805718681 Si 1.942717014045309 7.692989543458630 17.351218884427080 Si 0.003740194050703 9.675253144153107 17.315926607712111 Si 3.872807613880273 7.728477514847523 15.415415229211986 Si 5.747571070223387 9.620313576250007 15.426167131552875 Si 5.770883006194707 7.705839598247998 17.331847393769134 Si 3.846765849558557 9.652894739570742 17.293845672066240 Si 7.688522793353235 7.737091730057633 15.374696614662541 Si 9.658160476156263 9.612120127207707 15.404154845509421 Si 9.644401772783244 7.702214070773346 17.346077812447309 Si 7.664669666438196 9.650530359019889 17.338040854730671 Si 11.558715239273560 7.694097486421825 15.414431292193344 Si 13.514576392272346 9.618564932603382 15.390082406371699 Si 13.448713427790633 7.740892838526249 17.328542212680919 Si 11.576901573187090 9.609226161261017 17.365944655216740 Si 15.399082126398412 7.700487933552362 15.404774779173215 Si 17.357159144380027 9.659557278176811 15.388813854941878 Si 17.337625241751354 7.674565805974243 17.357940097015575 Si 15.435607142743207 9.574173230588645 17.314510597395216 Si 0.005439054697039 11.576154353011125 15.397603054160790 Si 1.951498591694208 13.492985186484896 15.371794737024700 Si 1.956134461136937 11.546589792165108 17.311862540472656 Si 0.018627693619890 13.488042210566778 17.362971501540823 Si 3.823559498031702 11.532686395761941 15.377466731009884 Si 5.783494748759144 13.449801842975013 15.400598339813740 Si 5.763561615812653 11.521310371845548 17.334329646194448 Si 3.883320086146013 13.468863686168000 17.306321346284545 Si 7.727148742236221 11.563825343402915 15.405947934054989 Si 9.589366663443794 13.475039885214278 15.366299793830946 Si 9.628966252921906 11.583631825982634 17.364348734495259 Si 7.749216763144469 13.495644847538587 17.323353885086249 Si 11.517159984124021 11.567002524955273 15.371941995235799 Si 13.473874106034781 13.481107590773780 15.419138873386812 Si 13.501069982967350 11.557002216152751 17.365388927178550 Si 11.567427371731085 13.511830750041360 17.294885301224941 Si 15.436698916667387 11.543615814455707 15.386347018688681 Si 17.297727985853470 13.505817154482756 15.439989301522576 Si 17.333190797664766 11.508820512750885 17.296069365129167 Si 15.453085074399146 13.458341401441473 17.312685552523213 Si 0.007557613738149 15.366751382818530 15.370665877896323 Si 1.902654708131296 17.362176651177680 15.406923771615052 Si 1.948366276516275 15.406464107589546 17.297307882401309 Si 0.002968659110012 17.351437689756338 17.297649086311374 Si 3.841629193277713 15.382016708744956 15.366869588059764 Si 5.812585038593546 17.301724796611317 15.440108938549422 Si 5.788442828502655 15.373907466430019 17.330644485708554 Si 3.824506214225227 17.292643347731190 17.320748174051165 Si 7.703982730569663 15.396189371506958 15.416396116729063 Si 9.610996496675098 17.314938470555596 15.384833513241366 Si 9.660161029418488 15.416029179718892 17.342710818804441 Si 7.680311259315465 17.300557895503374 17.307580993185162 Si 11.521782627657615 15.405051243875331 15.445081254323522 Si 13.506454036099591 17.314714307400553 15.437518599267930 Si 13.451360040675612 15.408352290860257 17.317871909366918 Si 11.534080945874779 17.330546296084073 17.344928922902575 Si 15.400921926233430 15.442526153012055 15.376759043467857 Si 17.293894352750456 17.364274942213608 15.388323289195020 Si 17.362496224376144 15.389589746445592 17.345688846847526 Si 15.373258809512105 17.304047819752608 17.323683630529022